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1、目 錄,ESD知識(shí)介紹,目 錄,認(rèn)識(shí)靜電---靜電現(xiàn)象,,,日常生活中有哪些 靜電現(xiàn)象？,靜電無處不在 ESD=Electrostatic Discharge,ESD是20世紀(jì)中期以來形成的以研究靜電的產(chǎn)生、危害及靜電防護(hù)等的學(xué)科。,認(rèn)識(shí)靜電---對(duì)靜電的感知,人體能夠感覺到靜電時(shí)一般電壓超過2000V。靜電不易感知的原因：電量小，放電時(shí)間短,,靜電(Electrostatic) 就是物質(zhì)表面電子不均衡分布引起的一種電荷，通常是由兩種物體先接觸后再分離而產(chǎn)生的。,認(rèn)識(shí)靜電---靜電概念,認(rèn)識(shí)靜電---靜電產(chǎn)生的途徑,認(rèn)識(shí)靜電---摩擦起電,認(rèn)識(shí)靜電---決定摩擦電壓的因素,材料不同摩擦電壓明顯

2、不同。 環(huán)境溫度濕度對(duì)摩擦電壓也有顯著影響.,,認(rèn)識(shí)靜電---摩擦起電(常見例子),認(rèn)識(shí)靜電---傳導(dǎo)帶電,一個(gè)不帶電的物體接觸帶電的物體會(huì)通過傳導(dǎo)帶上相同的電荷(電荷分享),認(rèn)識(shí)靜電---感應(yīng)帶電,,,接近,認(rèn)識(shí)靜電---真空離子轟擊,真空濺射; 真空預(yù)清洗等類似工藝 常見氬離子(Ar+)轟擊,,認(rèn)識(shí)靜電---靜電和直流/交流電區(qū)別,目 錄,靜電危害---對(duì)微電子工業(yè)造成的損失,EOS: Electrical Over Stress,過電應(yīng)力,ESD是過電應(yīng)力的一種形式.是指元器件承受的電流或電壓應(yīng)力超過其允許的最大范圍,靜電在多個(gè)領(lǐng)域造成嚴(yán)重危害。石油化工,航空航天,微電子工業(yè), 印刷,紡

3、織等.,靜電危害---對(duì)電子器件IC的破壞,即使是相當(dāng)小的靜電放電也可能損壞電子器件,ESD damage,,,Field failure,HBM simulation failure,,Bipolar IC,典型癥狀:融化或者擊穿,靜電危害---硬盤磁頭破壞,Class0 level ESD極度敏感元件: 硬盤讀寫磁頭,5V靜電放電就可以徹底摧毀它.,典型癥狀:短路或者電介質(zhì)擊穿,靜電危害---ESD破壞分類,硬性失效(hard damage)和潛在性失效(latent damage)是靜電危害中最重要的兩種現(xiàn)象; 硬性失效容易判斷檢測(cè); 潛在性失效難以判斷,部分流入下一工序/成品/消費(fèi)者手

4、上.,目 錄,,,靜電源,,生產(chǎn)過程中的靜電來源,目 錄,,,,,,,,,靜電的防護(hù),靜電防護(hù)工作是一項(xiàng)長(zhǎng)期的系統(tǒng)工程, 任何環(huán)節(jié)的失誤或疏漏, 都將導(dǎo)致靜電防護(hù)工作的失敗, 甚至災(zāi)難性的后果.,靜電防護(hù)---ESD工作站,,,,將靜電/噪聲電流通過接地線或接地裝置傳導(dǎo)泄放到大地, 維持工作站等電位要求.,基 本 原 理,靜電防護(hù)---接地,做法： 建立機(jī)器設(shè)備接地系統(tǒng) 使用靜電導(dǎo)電或靜電耗散材料并接入ESD接地系統(tǒng) 人體佩戴手腕帶，并接入ESD接地系統(tǒng) 人體穿防靜電衣服及靜電鞋 防靜電地板(如果必要),靜電防護(hù)---中和（離子化）,利用尖端放電或者射線, 在空氣產(chǎn)生正負(fù)離子，中和靜電。,絕緣

5、體或不易接地的金屬導(dǎo)體,做法： 離子風(fēng)機(jī)、離子風(fēng)槍、離子棒,靜電防護(hù)---濕度控制,基本原理： 增加濕度減少靜電的產(chǎn)生, 降低摩擦電壓, 減少靜電累積.,做法： 控制濕度在4065%(結(jié)合實(shí)際狀況) 關(guān)注有無對(duì)產(chǎn)品/機(jī)器設(shè)備/夾具的腐蝕,靜電防護(hù)--- 工業(yè)安全,防止意外漏電等情況： 安全電流：10mA 限流電阻：1M 漏電斷電保護(hù)器,其他安全考慮： 出現(xiàn)危險(xiǎn)時(shí)容易脫開 無腐蝕，無刺激等,ESDS器件警示標(biāo)志,ESDS保護(hù)標(biāo)志,共同接地點(diǎn)標(biāo)志,靜電防護(hù)---ESD標(biāo)志和標(biāo)注,接地點(diǎn)標(biāo)志 （一般用于設(shè)備）,可能含高電壓的EPA標(biāo)志,防靜電區(qū)（EPA）標(biāo)志,靜電防護(hù)---ESD標(biāo)志和標(biāo)注,可回收使

6、用標(biāo)志，常用于包裝上,早期的靜電敏感器件標(biāo)志，現(xiàn)在還有少數(shù)產(chǎn)品在用,警示標(biāo)帶，可用于多種區(qū)域,靜電防護(hù)---ESD標(biāo)志和標(biāo)注,,培訓(xùn)大綱與人員培訓(xùn),防靜電工藝和設(shè)計(jì)文件,規(guī)章制度和操作規(guī)程,靜電防護(hù)---培訓(xùn)及宣傳,,建立管理體系 (文件)/(小組)/(支持),定期審核和檢查 (內(nèi)部的)/(客戶的)/(第三方的),ESD標(biāo)準(zhǔn)更新 (來自客戶的要求)/(來自產(chǎn)品的要求) (行業(yè)的要求),靜電防護(hù)---管理體系,靜電檢測(cè)---ESD測(cè)量項(xiàng)目,人體接地狀況; 地板檢測(cè)及其性能監(jiān)測(cè); 工廠整體接地方案監(jiān)測(cè); 機(jī)器接地狀況; 關(guān)鍵工序噪聲電壓/電流監(jiān)測(cè); 非金屬材料檢測(cè)及其性能監(jiān)測(cè); 產(chǎn)品包裝材料檢測(cè);

7、 離子風(fēng)機(jī)評(píng)估及其定期監(jiān)測(cè); 溫度濕度監(jiān)測(cè).,目 錄,手腕帶,* 所有與靜電釋放敏感產(chǎn)品和設(shè)施有直接接觸的人員在加工中或在成品處理中必須佩戴腕帶； * 作業(yè)員在每班開始前必須用腕帶測(cè)試儀檢查其連續(xù)使用性,并在ESD日檢表上作記錄。發(fā)現(xiàn)有不合格的須立即進(jìn)行更換，直到檢測(cè)合格為止。,防靜電服,屏蔽作用: 防止衣物產(chǎn)生的靜電場(chǎng) 通過與身體的接觸，將靜電通過人體手腕帶防靜電鞋泄放到大地,防靜電服的技術(shù)要求： 布片之間相互導(dǎo)通 與人體有效接觸 覆蓋內(nèi)部衣物,防靜電鞋,每天在人體綜合阻值測(cè)量?jī)x上檢測(cè)穿戴后能否達(dá)到要求 洗滌后，或被酒精丙酮等溶劑浸漬后檢測(cè)電阻值是否符合要求 腳束帶、防靜電鞋套佩戴時(shí)導(dǎo)電帶一

8、定要通過緊貼皮膚與人體連接,離子風(fēng)機(jī),離子風(fēng)機(jī)是通過離子化空氣,產(chǎn)生正、負(fù)離子，中和物體表面的靜電，從而達(dá)到防止并消除靜電危害。 分類: 直流式和交流式, 以及射線等幾種.,防靜電臺(tái)墊,耗散層表面電阻為106109/sq， 導(dǎo)電層表面電阻為103105/sq 衰減時(shí)間為小于0.1秒,防靜電臺(tái)墊是用來降低/隔離普通桌面對(duì)產(chǎn)品ESD影響;使用時(shí)必須正確可靠接地。,防靜電包裝袋,屏蔽袋、防潮袋最安全的包裝袋,導(dǎo)電袋，一般為永久性防靜電材料,暫時(shí)性防靜電材料制成的包裝袋，需要定期評(píng)估,注意：防靜電包裝袋應(yīng)標(biāo)注防靜電標(biāo)志，以示區(qū)別！,防靜電產(chǎn)品---靜電椅,系統(tǒng)電阻：106108 ,附錄: ESD重要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)及組織,ESD Sensitivity Roadmap,ESD現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試數(shù)據(jù),庫倫計(jì)測(cè)量導(dǎo)體電量:1.48nC,2.7V噪聲電壓, 來自馬達(dá),Thank you very much!,www. dgwsi. com,