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機電學院機電學院20112011屆畢業(yè)設計答辯屆畢業(yè)設計答辯超精密三坐標測量儀整機機構(gòu)設計超精密三坐標測量儀整機機構(gòu)設計 專專 業(yè)：機械設計制造及其自動化業(yè)：機械設計制造及其自動化 學學 生：張朝輝生：張朝輝 指導教師：趙則祥教授指導教師：趙則祥教授2011.5.302011.5.3020112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯匯報內(nèi)容匯報內(nèi)容一、課題背景一、課題背景二、總體設計方案分析二、總體設計方案分析三、總體結(jié)構(gòu)設計三、總體結(jié)構(gòu)設計四、主要零部件設計和選擇四、主要零部件設計和選擇五、總結(jié)五、總結(jié)20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯一、課題背景一、課題背景 1.1 課題來源課題來源 為了響應教育部的號召，實施大學本為了響應教育部的號召，實施大學本科教改計劃，科教改計劃，北京微納精密機械有限公司北京微納精密機械有限公司與與中原工學院中原工學院聯(lián)合實施聯(lián)合實施“卓越工程師卓越工程師”的的培養(yǎng)計劃。本課題來自北京微納精密機械培養(yǎng)計劃。本課題來自北京微納精密機械有限公司，在學校和公司的商討后，確定有限公司，在學校和公司的商討后，確定了我的課題：超精密三坐標測量儀整機機了我的課題：超精密三坐標測量儀整機機構(gòu)設計。構(gòu)設計。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯n 促進超精密光學、機械制造技術(shù)快速的發(fā)促進超精密光學、機械制造技術(shù)快速的發(fā)展，填補我國相應領域的技術(shù)空白展，填補我國相應領域的技術(shù)空白n 提高我國產(chǎn)品質(zhì)量和市場競爭力以及我國提高我國產(chǎn)品質(zhì)量和市場競爭力以及我國測量儀器的性價比水平測量儀器的性價比水平1.2 課題意義課題意義20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯1.3 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 隨隨著著近近20年年科科學學技技術(shù)術(shù)的的迅迅速速發(fā)發(fā)展展,對對儀儀器器精精度度要要求求出出現(xiàn)現(xiàn)了了數(shù)數(shù)量量級級的的變變化化。從從精精密密測測量量(0.5m 0.05m)，發(fā)發(fā) 展展 到到 超超 精精 密密 測測 量量(0.05m0.005m),近近年年來來又又提提出出納納米米精精度度測測量量(5 n m 0.0 5 n m)的的 要要 求求。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 當今世界上超精密三坐標測量儀在質(zhì)量和當今世界上超精密三坐標測量儀在質(zhì)量和性能方面首推性能方面首推德國蔡司（德國蔡司（ZEISS）公司和公司和萊茨萊茨（LEITZ）公司。公司。到目前為止到目前為止ZEISS已有多項專利技術(shù)，從而已有多項專利技術(shù)，從而使使ZEISS公司在坐標測量技術(shù)上遠遠領先于其它公司在坐標測量技術(shù)上遠遠領先于其它公司。其生產(chǎn)的三坐標測量儀既有橋式測量儀，公司。其生產(chǎn)的三坐標測量儀既有橋式測量儀，也有龍門式、懸臂式測量儀，既有生產(chǎn)型測量儀，也有龍門式、懸臂式測量儀，既有生產(chǎn)型測量儀，也有計量型測量儀。也有計量型測量儀。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 圖圖1-1 DuraMax三坐標測量儀三坐標測量儀 在在國國內(nèi)內(nèi)ZEISS三三坐坐標標測測量量儀儀在在航航空空、航航天天、汽汽車車、電電子子、機機械械等等多多個個行行業(yè)業(yè)中中得得到到廣廣泛泛地地使使用用。圖圖1-1是是ZEISS最最新新的的DuraMax三三坐坐標標測測量量儀儀系系列列，代代表表著著當當今今測測量量儀儀行行業(yè)業(yè)的的 尖尖 端端 技技 術(shù)術(shù)。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 德國德國LEITZ公司憑借其在高精度測量領域積公司憑借其在高精度測量領域積累的世界級測量技術(shù)以及豐富的應用理論知識，累的世界級測量技術(shù)以及豐富的應用理論知識，通過高性能，高精確度的通過高性能，高精確度的PMM-C三坐標測量儀三坐標測量儀與功能強大的工業(yè)級計量軟件與功能強大的工業(yè)級計量軟件QUIND-OS的結(jié)合，的結(jié)合，不斷解決來自工業(yè)各個領域的高精度和復雜幾何不斷解決來自工業(yè)各個領域的高精度和復雜幾何形狀的計量需求。形狀的計量需求。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 圖圖1 1-2 2為為L LE EI IT TZ Z最最新新的的三三坐坐標標系系列列r re ef fe er re en nc ce e測測量量儀儀系系 列列，和和Z ZE EI IS SS S的的D Du ur ra aM Ma ax x三三坐坐標標測測量量儀儀系系列列一一樣樣，在在全全球球三三坐坐標標行行業(yè)業(yè)中中，隸隸屬屬最最尖尖端端技技術(shù)術(shù)。圖圖1-2 reference1-2 reference測量儀測量儀 20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯圖1-3 英國IMS公司手動式CMMIMP 圖1-4 德國Zeiss公司的小型CMEclipse550 20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯圖圖1-5 美國美國B&S公司的掃描測量機公司的掃描測量機 Chameleon CMM 圖圖1-6 德國德國SIOS公司的納米定位與測量公司的納米定位與測量NMM20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯二、總體設計方案分析二、總體設計方案分析 2.1 精密測量的關(guān)鍵技術(shù)精密測量的關(guān)鍵技術(shù) 1）直線導軌直線導軌 從精度角度看，空氣導軌是現(xiàn)在最好的從精度角度看，空氣導軌是現(xiàn)在最好的導軌。雖然它沒有液體靜壓導軌的剛性大，導軌。雖然它沒有液體靜壓導軌的剛性大，但氣浮導軌優(yōu)點也很明顯，如無需進行油溫但氣浮導軌優(yōu)點也很明顯，如無需進行油溫控制，對環(huán)境沒有污染。此外，納米級精度控制，對環(huán)境沒有污染。此外，納米級精度儀器的負荷和行程沒有那么大，所以應優(yōu)先儀器的負荷和行程沒有那么大，所以應優(yōu)先考慮考慮空氣導軌空氣導軌。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 2）傳動系統(tǒng)傳動系統(tǒng) 傳統(tǒng)的傳動方法為傳統(tǒng)的傳動方法為滾珠絲杠傳動滾珠絲杠傳動，精密儀器，精密儀器一般用一般用C0級滾珠絲杠級滾珠絲杠，利用閉環(huán)控制目前最高，利用閉環(huán)控制目前最高可達到可達到0.01m的定位精度。但在進行非球面等的定位精度。但在進行非球面等輪廓曲線跟蹤時輪廓曲線跟蹤時，滾珠絲杠的精度及其在運動滾珠絲杠的精度及其在運動中的微小振動都會對系統(tǒng)的靜態(tài)特性與動態(tài)特性中的微小振動都會對系統(tǒng)的靜態(tài)特性與動態(tài)特性產(chǎn)生影響產(chǎn)生影響。摩擦驅(qū)動摩擦驅(qū)動可以實現(xiàn)無反向間隙的傳可以實現(xiàn)無反向間隙的傳動動，由于結(jié)構(gòu)上比較簡單，因而彈性變形因素，由于結(jié)構(gòu)上比較簡單，因而彈性變形因素大為減少大為減少，所以一直被認為是一種非常適合精，所以一直被認為是一種非常適合精密的傳動系統(tǒng)。密的傳動系統(tǒng)。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 3）尺寸測量技術(shù)尺寸測量技術(shù) 尺寸測量技術(shù)在精密領域尺寸測量主要有尺寸測量技術(shù)在精密領域尺寸測量主要有2種技術(shù)：一是種技術(shù)：一是激光干涉技術(shù)激光干涉技術(shù)，二是，二是光柵技術(shù)光柵技術(shù)。激光干涉儀分辨率高，測量范圍大，測量精度激光干涉儀分辨率高，測量范圍大，測量精度高，但使用困難，特別是高精度測量，激光波高，但使用困難，特別是高精度測量，激光波長受溫度、濕度、壓力的影響比較大，因此使長受溫度、濕度、壓力的影響比較大，因此使用過程中對環(huán)境要求很苛刻。用過程中對環(huán)境要求很苛刻。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 從從分分辨辨率率和和精精度度上上看看，光光柵柵技技術(shù)術(shù)可可以以和和激激光光干干涉涉技技術(shù)術(shù)相相媲媲美美，對對環(huán)環(huán)境境的的要要求求相相對對較較低低，可可以以滿滿足足納納米米精精度度的的使使用用要要求求，特特別別是是相相位位光光柵柵，是是 一一 種種 非非 常常 有有 前前 途途 的的 精精 測測 量量 工工 具具。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯圖圖2-1 LIP581敞開式直線光柵尺敞開式直線光柵尺20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯2.2 總體布局總體布局 20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯其主要技術(shù)指標要求如下：其主要技術(shù)指標要求如下：1）X軸，最大行程：軸，最大行程：800 mm，直線度：直線度：0.2 m/100 mm，光柵反饋分辨率：光柵反饋分辨率：0.1m；2）Y軸，最大行程：軸，最大行程：600 mm，直線度：直線度：0.2 m/100 mm，光柵反饋分辨率：光柵反饋分辨率：0.1m；3）Z軸，最大行程：軸，最大行程：400mm，直線度：直線度：0.2 m/100 mm，光柵反饋分辨率：光柵反饋分辨率：0.1m；4）驅(qū)動：伺服電機驅(qū)動摩擦輪）驅(qū)動：伺服電機驅(qū)動摩擦輪 傳動；傳動；5）導軌形式：超精密氣體靜壓）導軌形式：超精密氣體靜壓 導軌；導軌；6）承重）承重2000kg。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯2.3 床身材料選用床身材料選用 床身要支撐整機的重量，它應具有良好的床身要支撐整機的重量，它應具有良好的剛度和強度，可以采用不同材料，比如優(yōu)質(zhì)耐剛度和強度，可以采用不同材料，比如優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵、花崗巖、人造花崗巖等。磨鑄鐵、花崗巖、人造花崗巖等。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵 鑄鐵是制造床身的傳統(tǒng)材料，它的優(yōu)點是鑄鐵是制造床身的傳統(tǒng)材料，它的優(yōu)點是工藝性好。選用耐磨性好，熱膨脹系數(shù)低，對工藝性好。選用耐磨性好，熱膨脹系數(shù)低，對振動衰減能力強，并經(jīng)時效處理的優(yōu)質(zhì)合金鑄振動衰減能力強，并經(jīng)時效處理的優(yōu)質(zhì)合金鑄鐵作精密儀器的床身，可以得到滿意的結(jié)果。鐵作精密儀器的床身，可以得到滿意的結(jié)果。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 花崗巖花崗巖 花崗巖現(xiàn)在已是制造精密測量儀和精密機花崗巖現(xiàn)在已是制造精密測量儀和精密機床的床身的熱門材料，這是因為花崗巖比鑄鐵床的床身的熱門材料，這是因為花崗巖比鑄鐵長期尺寸穩(wěn)定性好，熱膨脹系數(shù)低，對振動的長期尺寸穩(wěn)定性好，熱膨脹系數(shù)低，對振動的衰減能力強，硬度高、耐磨并且不會生銹等。衰減能力強，硬度高、耐磨并且不會生銹等。用花崗巖作機架時，一般都用整體方塊，鉆孔用花崗巖作機架時，一般都用整體方塊，鉆孔埋入螺母以便和其它件連接。埋入螺母以便和其它件連接。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 人造花崗巖人造花崗巖 人造花崗巖是由花崗巖碎粒用樹脂粘結(jié)而人造花崗巖是由花崗巖碎粒用樹脂粘結(jié)而成。用不同粒度的花崗巖組合可提高人造花崗成。用不同粒度的花崗巖組合可提高人造花崗巖的體積比，使人造花崗巖有優(yōu)良的性能，不巖的體積比，使人造花崗巖有優(yōu)良的性能，不僅可鑄造成形，吸濕性低，并對振動的衰減能僅可鑄造成形，吸濕性低，并對振動的衰減能力加強。力加強。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 考慮到測量儀當今制造業(yè)中的使用特點、使考慮到測量儀當今制造業(yè)中的使用特點、使用環(huán)境、精度以及效率要求，考慮到測量儀對精用環(huán)境、精度以及效率要求，考慮到測量儀對精度的要求是第一位的，而對速度要求一般；由于度的要求是第一位的，而對速度要求一般；由于價值高，一般配備專用的工作環(huán)境，環(huán)境較好。價值高，一般配備專用的工作環(huán)境，環(huán)境較好。其移動部件的選材，需要兼顧密度和剛性；而對其移動部件的選材，需要兼顧密度和剛性；而對于固定部件，則對密度于固定部件，則對密度/剛性比的要求比較寬松，剛性比的要求比較寬松，一般通過加大截面尺寸提高剛性，故固定部件的一般通過加大截面尺寸提高剛性，故固定部件的材料可選擇陶瓷或花崗石，所以本次設計的測量材料可選擇陶瓷或花崗石，所以本次設計的測量儀采用花崗巖為床身材料。國內(nèi)的泰山青是比較儀采用花崗巖為床身材料。國內(nèi)的泰山青是比較優(yōu)秀的花崗巖。優(yōu)秀的花崗巖。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯2.4 導軌的設計導軌的設計 在精密加工與測量領域，進行直線運動的機械元在精密加工與測量領域，進行直線運動的機械元部件導軌主要有滑動導軌、滾動導軌、液體靜壓導軌部件導軌主要有滑動導軌、滾動導軌、液體靜壓導軌和空氣靜壓導軌。和空氣靜壓導軌?；瑒訉к壔瑒訉к壘哂薪Y(jié)構(gòu)簡單、緊湊、剛性高、停止時具有結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、剛性高、停止時的穩(wěn)定性高和熱穩(wěn)定性高及價格低等優(yōu)點，缺點是由的穩(wěn)定性高和熱穩(wěn)定性高及價格低等優(yōu)點，缺點是由于其導軌與支承結(jié)構(gòu)直接接觸，摩擦力較大而且動摩于其導軌與支承結(jié)構(gòu)直接接觸，摩擦力較大而且動摩擦系數(shù)和靜摩擦系數(shù)的差值較大，有爬行，定位精度擦系數(shù)和靜摩擦系數(shù)的差值較大，有爬行，定位精度有限，低速時運行的平滑度較其他導軌差一些。有限，低速時運行的平滑度較其他導軌差一些。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 滾動導軌滾動導軌結(jié)構(gòu)簡單，已實現(xiàn)標準化，是目結(jié)構(gòu)簡單，已實現(xiàn)標準化，是目前使用較多的一種導軌，但精度比滑動導軌和靜前使用較多的一種導軌，但精度比滑動導軌和靜壓導軌低。壓導軌低。液體靜壓液體靜壓相對于氣體靜壓導軌具有載荷量大、相對于氣體靜壓導軌具有載荷量大、剛度高，阻尼高，對振動的衰減好，缺點是目前剛度高，阻尼高，對振動的衰減好，缺點是目前靜壓導軌的大部分設計只是依賴于簡單的工程計靜壓導軌的大部分設計只是依賴于簡單的工程計算或者實際經(jīng)驗，缺乏一套成熟的理論支持。采算或者實際經(jīng)驗，缺乏一套成熟的理論支持。采用液體靜壓導軌時，還存在設備復雜和油污染的用液體靜壓導軌時，還存在設備復雜和油污染的問題，成本也非常高。問題，成本也非常高。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯空氣靜壓導軌空氣靜壓導軌主要有如下特點主要有如下特點:1）由于空氣的粘性系數(shù)為油的由于空氣的粘性系數(shù)為油的1/50以下，而且粘度對以下，而且粘度對溫度和壓力的變化不敏感，空氣靜壓導軌的摩擦力非常溫度和壓力的變化不敏感，空氣靜壓導軌的摩擦力非常小且近似為常數(shù)。小且近似為常數(shù)。2）采用空氣靜壓潤滑支承，在運動過程中導軌不與支采用空氣靜壓潤滑支承，在運動過程中導軌不與支承體直接接觸，基準面摩損小，因此精度高而且使用壽承體直接接觸，基準面摩損小，因此精度高而且使用壽命長。命長。3）分布于導軌及支承面之間的分布于導軌及支承面之間的5一一15m的空氣膜對的空氣膜對部件缺陷具有平均效應，容易得到高精度。部件缺陷具有平均效應，容易得到高精度。4）爬行少，機械摩損小，噪聲低。爬行少，機械摩損小，噪聲低。5）發(fā)熱量少，工作溫度范圍寬，熱變形非常小。發(fā)熱量少，工作溫度范圍寬，熱變形非常小。6）無環(huán)境污染。無環(huán)境污染。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 凡能同時承受軸向、徑向或其它方向作用凡能同時承受軸向、徑向或其它方向作用力的氣體支撐裝置均稱為力的氣體支撐裝置均稱為氣體靜壓組合裝置氣體靜壓組合裝置?？諝忪o壓導軌是典型的氣體靜壓組合裝置。根空氣靜壓導軌是典型的氣體靜壓組合裝置。根據(jù)工作臺的移動量、載荷量和精度要求等的不據(jù)工作臺的移動量、載荷量和精度要求等的不同，一般有如下四種形式同，一般有如下四種形式20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯1）平面封閉型導軌平面封閉型導軌 這種形式的導軌，因工作臺導軌面產(chǎn)生的撓度較小，可取得這種形式的導軌，因工作臺導軌面產(chǎn)生的撓度較小，可取得高精度、高剛性、大負載量，最適用于作為精密加工機床和測量高精度、高剛性、大負載量，最適用于作為精密加工機床和測量儀等的長導軌。儀等的長導軌。2）圓柱封閉型導軌圓柱封閉型導軌 這種結(jié)構(gòu)的導軌結(jié)構(gòu)簡單，導桿的圓度、圓柱度和導向孔的這種結(jié)構(gòu)的導軌結(jié)構(gòu)簡單，導桿的圓度、圓柱度和導向孔的間距等精度完全由機械加工決定，全部負載由導柱承受，容易產(chǎn)間距等精度完全由機械加工決定，全部負載由導柱承受，容易產(chǎn)生撓度，故除了用于立式外，常用于輕載、短導軌。生撓度，故除了用于立式外，常用于輕載、短導軌。3）重量平衡式導軌重量平衡式導軌 這種導軌結(jié)構(gòu)簡單，加工方便。但是軸承剛度低，適用于負這種導軌結(jié)構(gòu)簡單，加工方便。但是軸承剛度低，適用于負載變化小的場合。載變化小的場合。4）真空負壓平衡式導軌真空負壓平衡式導軌 這種導軌與重量平衡式導軌是同一型式，適用于工作臺重量這種導軌與重量平衡式導軌是同一型式，適用于工作臺重量輕或不能加重的場合，使真空負壓和靜壓保持的同時，由維持固輕或不能加重的場合，使真空負壓和靜壓保持的同時，由維持固定的導軌間隙。定的導軌間隙。20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯 根據(jù)本次測量儀根據(jù)本次測量儀的設計要求氣靜壓導的設計要求氣靜壓導軌型式采用平面封閉軌型式采用平面封閉式，圖為橫梁的氣浮式，圖為橫梁的氣浮分布。分布。橫梁的氣浮分布橫梁的氣浮分布20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯三、總體結(jié)構(gòu)設計三、總體結(jié)構(gòu)設計20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯摩擦桿驅(qū)動摩擦桿驅(qū)動20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯鋼帶傳動鋼帶傳動20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯氣浮塊氣浮塊20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯燕尾形氣浮導軌燕尾形氣浮導軌20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯同步齒形帶傳動同步齒形帶傳動20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯氣缸平衡氣缸平衡Z軸重量軸重量20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯鉆孔埋入螺母以便和其它件連接鉆孔埋入螺母以便和其它件連接20112011屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯屆機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計答辯請各位老師和同學請各位老師和同學多提寶貴意見多提寶貴意見ThankThank you!you!