《數(shù)控機(jī)床位置檢測裝置》由會員分享，可在線閱讀，更多相關(guān)《數(shù)控機(jī)床位置檢測裝置（65頁珍藏版）》請在裝配圖網(wǎng)上搜索。

1、,,,,,,,單擊此處編輯母版標(biāo)題樣式,,單擊此處編輯母版文本樣式,,第二級,,第三級,,第四級,,第五級,,,,*,第四部分 數(shù)控機(jī)床的位置檢測裝置,第一節(jié),對數(shù)控機(jī)床位置檢測裝置的要求,數(shù)控裝置,檢測裝置,機(jī) 床,傳動裝置,伺服系統(tǒng),,,,伺服系統(tǒng)是機(jī)床的驅(qū)動部分，計算機(jī)輸出的控制信息通過伺服系統(tǒng)和傳動裝置變成機(jī)床運(yùn)動。位置檢測裝置是數(shù)控機(jī)床伺服系統(tǒng)的重要組成部分，其作用是檢測位移和速度，發(fā)送反饋信號，并與數(shù)控裝置發(fā)出的指令信號比較，若有偏差，則經(jīng)過放大后控制執(zhí)行部件向著消除偏差的方向運(yùn)動，直至偏差為零。,,,,,一 開環(huán)系統(tǒng)、半閉環(huán)系統(tǒng)、閉環(huán)系統(tǒng),1 開環(huán)系統(tǒng)

2、,,,,,,步距角：,對應(yīng)每一個指令脈沖，步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)過的角度。,,脈沖當(dāng)量：,對應(yīng)每一個指令脈沖工作臺移動的距離。那么， 工作臺相對刀具移動距離,=,脈沖當(dāng)量,*,指令脈沖數(shù),,具有結(jié)構(gòu)簡單、工作穩(wěn)定、調(diào)試方便、維修簡單、價格低廉等優(yōu)點(diǎn)，,沒有位置測量裝置，開環(huán)系統(tǒng)的加工精度不高。,,,一 開環(huán)系統(tǒng)、半閉環(huán)系統(tǒng)、閉環(huán)系統(tǒng),2 半閉環(huán)系統(tǒng),,,,,,,,,,半閉環(huán)系統(tǒng)的檢測裝置安裝到,驅(qū)動裝置(常用伺服電機(jī))或絲杠,的尾部。,,半,閉環(huán)環(huán)路內(nèi)不包括或只包括少量機(jī)械傳動環(huán)節(jié)，因此可獲得穩(wěn)定的控制性能，其系統(tǒng)的穩(wěn)定性雖不如開環(huán)系統(tǒng)，但比閉環(huán)要好。,,伺服電機(jī)

3、到工作臺之間傳動裝置這塊的誤差沒有得到補(bǔ)償，因此半閉環(huán)系統(tǒng)的精度不如閉環(huán)系統(tǒng)的高。,,它的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，造價低，安裝、,調(diào)試,與維修都很方便，,精度也較高。,,,一 開環(huán)系統(tǒng)、半閉環(huán)系統(tǒng)、閉環(huán)系統(tǒng),3 閉環(huán)系統(tǒng),,,,,,,,閉環(huán)系統(tǒng)的檢測裝置安裝到帶動刀具或工件移動的部件上，如支撐導(dǎo)軌和移動導(dǎo)軌上，它直接檢測的是刀具相對于工件移動的距離，因此它的加工精度較高。,,由于位置環(huán)內(nèi)的許多機(jī)械傳動環(huán)節(jié)的摩擦特性、剛性和間隙都是非線性的，故易造成系統(tǒng)的不穩(wěn)定，使閉環(huán)系統(tǒng)的設(shè)計、安裝和調(diào)試都有一定困難。且測量元件一般安裝到工作臺上，測量元件應(yīng)與導(dǎo)軌等長，這造成測量元件造價較高，使用維護(hù)較困難。,,

4、,二 數(shù)控機(jī)床對檢測裝置的要求,(1)滿足數(shù)控機(jī)床的精度和速度要求,,,從精度上講,,某些數(shù)控機(jī)床的定位精度已達(dá)到,±,0.0015,mm／300m,,一般數(shù)控機(jī)床精度要求在,±,0.002~0.01,mm／m,之間,,測量系統(tǒng)的分辨率在,0.001~0.0001,mm,之間,,從速度上講,,進(jìn)給速度已從,10~30,m／min,提高到,60~120,m／min,,主軸轉(zhuǎn)速也達(dá)到,10000,r／min，,有些高達(dá),100000,r/min,,因此要求檢測裝置必須滿足數(shù)控機(jī)床高精度和高速度的要求。,,,二 數(shù)控機(jī)床對檢測裝置的要求,,(2)工作可靠,,有較強(qiáng)的抗干擾能力，外界溫濕度的變化對

5、測量結(jié)果的影響要小。,,,(3)便于安裝和維護(hù),,測量裝置有一定的安裝精度要求，安裝精度要合理。考慮到檢測裝置的使用環(huán)境，整個檢測裝置要求有較好的防塵、防油霧、防切屑等措施。,,,三 檢測裝置的常用類型,分,,類,光電式,,電磁式,,,增量式,絕對式,增量式,絕對式,回,,轉(zhuǎn),,式,光電編碼器 圓光柵,編碼盤,旋轉(zhuǎn)變壓器,,圓盤感應(yīng)同步器,多極旋轉(zhuǎn)變壓器,,三速圓感應(yīng)同步器,直,,線,,式,計量光柵,編碼尺,,多通道透射光柵,直線感應(yīng)同步器,三速感應(yīng)同步器,表 常用測量裝置類型,,,三 檢測裝置的常用類型,（1）增量式,,原理：,被測物體每移動一個測量單位，測量裝置發(fā)出一個脈沖信號，對脈

6、沖計數(shù)并處理就可得到一個位移的增量值。任何一個對中點(diǎn)都可作為測量的起點(diǎn)。,,優(yōu)點(diǎn)：,檢測裝置結(jié)構(gòu)簡單，能做到較高精度,,缺點(diǎn)：,,由于測量裝置輸出的是脈沖，只能反應(yīng)有沒有移動，不能表示移動方向，因此必須有方向判別電路判別移動方向,,一旦計數(shù)有誤，此后結(jié)果全錯,,若發(fā)生故障,(,如斷電、斷刀等,),，事故排除后再也找不到正確位置,,,,三 檢測裝置的常用類型,（2）絕對式,,原理：,對于被測量的任意一點(diǎn)位置均由固定的零點(diǎn)標(biāo)起，每一個被測點(diǎn)都有一個相應(yīng)的測量值,,優(yōu)點(diǎn)：,測量裝置的輸出能夠代表移動件當(dāng)前的實(shí)際位置,(,坐標(biāo)值,),，移動的方向靠當(dāng)前值和歷史記憶取得，后續(xù)處理方便,,缺點(diǎn)：,結(jié)構(gòu)復(fù)

7、雜、制作精度沒有增量式的高,,,三 檢測裝置的常用類型,1．?dāng)?shù)字式測量和模擬式測量,,,數(shù)字式測量是將被測量單位量化以后用數(shù)字形式來表示的。數(shù)字測量的輸出信號一般是電脈沖，可以把它直接送到數(shù)控裝置(計算機(jī))進(jìn)行比較、處理。光柵位移測量裝置就是典型的檢測裝置。數(shù)字式測量的特點(diǎn)是：,,（1）被測量轉(zhuǎn)化成脈沖個數(shù)，便于顯示和處理；,,（2)測量精度取決于測量單位，與量程基本無關(guān)(當(dāng)然也有積累誤差)；,,（,3),測量裝置比較簡單，抗干擾能力強(qiáng)。,,,,模擬式測量是將被測量用連續(xù)的變量(如相位變化、電壓幅值變化)來表示的。在數(shù)控機(jī)床上，模擬式測量主要用于小量程的測量，例如感應(yīng)同步器的一個線距

8、內(nèi)的信號相位變化等。,,模擬式測量的特點(diǎn)是：,,（1)直接測量被測量，無須變換；,,（,2),在小量程內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)高精度測量，如旋轉(zhuǎn)變壓器、感應(yīng)同步器等,,,第二節(jié) 增量式光電編碼器和絕對式編碼盤,,一 增量式編碼器,1 2 3 4 5,7 6,,,,,,一 增量式光電編碼器,工作原理,增量式光電編碼器工作原理圖,,,,光電脈沖編碼器的工作原理,,當(dāng)圓光柵旋轉(zhuǎn)時，光線透過兩個光柵的線紋部分，形成明暗相間的條紋。光敏元件接收這些明暗相間的光信號，并轉(zhuǎn)換為交替變化的電信號。該信號為兩組近似于正弦波的電流信號A和B，A信號

9、和B信號相位相差90°，經(jīng)過放大和整形變成方波，如圖所示。通過兩個光柵的信號，還有一個“一轉(zhuǎn)脈沖”(一轉(zhuǎn)發(fā)出一個脈沖)，稱為Z相脈沖，該脈沖也是通過上述處理得來的。Z相脈沖用來產(chǎn)生機(jī)床的基準(zhǔn)點(diǎn)，該脈沖以差動形式Z和 (Z的反相)輸出。　　從圖可看出，根據(jù)信號A和信號B的發(fā)生順序，即可判斷光電編碼器軸的正反轉(zhuǎn)。若A相超前于B相，則為正轉(zhuǎn)；若B相超前于A相，則為反轉(zhuǎn)。數(shù)控系統(tǒng)正是利用這一相位關(guān)系來判斷方向的。,,,,,,在光電編碼器的里圈還有一條透光條紋Ｃ，每轉(zhuǎn)產(chǎn)生一個零位脈沖信號。在進(jìn)給電動機(jī)所用的光電編碼器上，零位脈沖用于精確確定機(jī)床的參考點(diǎn)，而在主軸電動機(jī)上，則可用于主軸準(zhǔn)停以及螺紋加工等

10、。,,,,,,,,,一 增量式光電編碼器,,光電輸出波形和信號處理線路的方塊圖,,,一 增量式光電編碼器,2 位置和轉(zhuǎn)速測量,,（1）位置測量,,,,增量式編碼器轉(zhuǎn)角測量電路原理圖,,,一 增量式光電編碼器,（2）轉(zhuǎn)速測量,,脈沖頻率法：在給定時間,t,內(nèi)，對編碼器的脈沖進(jìn)行計數(shù)，得一數(shù)值,N,1,，,設(shè)脈沖編碼器的每轉(zhuǎn)輸出脈沖為,N,，,則轉(zhuǎn)速,,,n,=（,N,1,/,N,）*（,60/,t,）r/min,,,,,一 增量式光電編碼器,脈沖周期法：在編碼器一個脈沖間隔內(nèi)，對通過的標(biāo)準(zhǔn)時鐘脈沖進(jìn)行計數(shù)，得一數(shù)值,N,2,，,設(shè)脈沖編碼器的每轉(zhuǎn)輸出脈沖為,N,，,T,為標(biāo)準(zhǔn)時鐘脈沖周

11、期，則轉(zhuǎn)速,,,n,=60/（2,N,2,N,,T,）r/min,,,,,二 編碼盤測量裝置,,碼盤角分辨率,θ,= 360,°,/ 2,n,C4,C3,C2,C1,,二進(jìn)制碼盤,葛萊碼盤,,,二 編碼盤測量裝置,工作原理：,黑的部分為導(dǎo)電部分表示,1,，白的部分為絕緣部分表示,0,，四個碼道都裝有電刷，最里一圈是公共極。由于四個碼道產(chǎn)生四位二進(jìn)制數(shù)，碼盤每轉(zhuǎn)一周產(chǎn)生,0000~1111,十六個二進(jìn)制數(shù)，編碼代表實(shí)際角位移，知道了編碼就知道了角位移。,,圖6-7 接觸式碼盤結(jié)構(gòu)及工作原理,,,第三節(jié) 光柵測量裝置,按光路分反射光柵和透射光柵,,反射光柵：,,優(yōu)點(diǎn)：,膨脹系數(shù)與機(jī)床材料

12、一致，安裝調(diào)整方便，可用鋼帶做成長達(dá)數(shù)米的長光柵，適于大位移測量的場合,,缺點(diǎn)：,為了使反射后的莫爾條紋反差較大，每,mm,內(nèi)線紋不宜過多，常用的有,4、10、25、40、50線/,mm,,透射光柵：,,優(yōu)點(diǎn)：,光電元件直接接受光照，信號幅值大，,信噪比好，,光電轉(zhuǎn)換器結(jié)構(gòu)簡單，如線性密度,200線/,mm,,缺點(diǎn),：,玻璃易破裂，,膨脹系數(shù)與機(jī)床材料不一致，影響測量精度，測量長度在,2,m,以內(nèi),,,,,第三節(jié) 光柵測量裝置,按其結(jié)構(gòu)形式分為長光柵和圓光柵,,長光柵：,測量直線位移,,圓光柵：,測量角位移,,按線紋密度分粗光柵和細(xì)光柵,,,,一 光柵測量的工作原理,,光柵測量,,1-標(biāo)尺

13、光柵 2-指示光柵,,3-光電接收器 4-光源,莫爾條紋示意圖,,W ≈ P /θ,,,,,在光源的照射下，交叉點(diǎn)附近的區(qū)域內(nèi)黑線重疊，透明區(qū)域變大，擋光效應(yīng)最弱，透光的累積使該區(qū)域出現(xiàn)亮帶；而距交叉點(diǎn)越遠(yuǎn)的區(qū)域，兩光柵不透明黑線的重疊部分越少，黑線的擋光效應(yīng)增強(qiáng)，該區(qū)域出現(xiàn)暗帶。,,這種明暗相間與光柵線紋幾乎垂直的條紋稱為莫爾條紋。莫爾條紋具有以下特點(diǎn)：,,（1）放大作用。當(dāng)兩光柵尺線紋之間的夾角,θ,很小時，莫爾條紋的節(jié)距,W,和柵距,P,之間的關(guān)系為,,,,(2)平均效應(yīng)。莫爾條紋由許多明暗相間的條紋組成，如100條／mm的光柵，10mm寬的莫爾條紋就由1000條線紋組成，這樣對個

14、別線紋的間距誤差就不敏感，這在很大程度上消除了柵距刻制不均勻造成的誤差。,,(3)信息變換作用。莫爾條紋的移動與柵距之間的移動成比例。當(dāng)光柵向左或向右移動一個柵距P時，莫爾條紋也相應(yīng)地向上或向下準(zhǔn)確地移動一個節(jié)距W。根據(jù)光柵柵距的位移和莫爾條紋位移的對應(yīng)關(guān)系，只要測量出莫爾條紋移過的距離，就可以得出光柵移動的微小距離。,,（4）光強(qiáng)分布規(guī)律。當(dāng)用平行光束照射光柵時，就會形成明、暗相間的莫爾條紋。由亮紋到暗紋，再由暗紋到亮紋的光強(qiáng)分布近似余弦函數(shù)。,,,3)信號處理,,光柵輸出的信號有兩種：一種是正弦波信號；另一種是方波信號。,,（1）倍頻處理。正弦波輸出有電流型和電壓型，對正弦波輸出

15、信號需經(jīng)過差動放大、整形及倍頻處理后得到脈沖信號。倍頻可提高光柵的分辨精度，如5倍頻、10倍頻等。如原光柵線紋為50條／mm，經(jīng)5倍頻處理后，相當(dāng)于將線紋密度提高到250條／mm。圖所示為,HEIDENHAIN,光柵電流型輸出信號經(jīng),5,倍頻處理后的信號波形。,,,,HEIDENHAIN光柵電流型輸出信號的波形,,(a),正弦信號,;(b),整形后的信號,;(c)5,倍頻處理后的信號,,,(2)方向判別。光柵輸出信號經(jīng)差動放大和信號處理后，獲得,P,A,、,P,B,脈沖信號，,P,A,和,P,B,的超前或滯后經(jīng)方向判別電路處理后，得到以高、低電平表示的方向信號，如圖所示。,,,二 光柵測量

16、裝置的數(shù)字變換線路,,,光柵測量系統(tǒng)簡圖,,,二 光柵測量裝置的數(shù)字變換線路,,,原理框圖 波形圖,,光柵信號4倍頻電路,,,三 讀數(shù)頭,,把光源、光柵、光電元件組合在一起，稱為讀數(shù)頭,,按光路分為分光式、直射式、反射式,讀數(shù)頭,,a）分光式 b）直射式 c）反光式,,,四 等倍透鏡系統(tǒng),,兩光柵間距很小，如安裝不準(zhǔn)確，就不能得到正確信號，因此在實(shí)際應(yīng)用中采用了等倍透鏡系統(tǒng)。,等倍透鏡系統(tǒng),,,第四節(jié) 磁柵測量裝置,,,磁柵位置檢測裝置是用磁性標(biāo)尺代替光柵，用

17、電磁方法計數(shù)磁波數(shù)目的一種測量方法。磁柵位置檢測裝置是由磁性標(biāo)尺、磁頭和檢測電路組成。,,,一 工作原理,,磁性標(biāo)尺是在非導(dǎo)磁材料的基體上，涂敷或鍍上一層很薄的磁膜(導(dǎo)磁材料)，在磁膜上利用錄磁原理，用錄磁磁頭記錄一定波長的矩形波或正弦波，以此作為測量的基準(zhǔn)刻度，磁化信號的節(jié)距(周期)一般有0.05、0.10、0.20、1mm等,,,二 磁頭,,1 讀取磁頭,,磁頭是進(jìn)行磁電轉(zhuǎn)換的變換器，它把反映空間位置的磁信號輸送到檢測電路中去。,,速度響應(yīng)型磁頭：,只有在磁頭和磁帶之間有一定相對運(yùn)動速度時，才能檢測出磁化信號，磁頭輸出電壓幅值與磁通變化率成比例，這種磁頭只能用于動態(tài)測量。如普通錄音機(jī)

18、,,速度響應(yīng)型磁頭,,,二 磁頭,,磁通響應(yīng)型磁頭：,根據(jù)數(shù)控機(jī)床的要求，為了在低速運(yùn)動和靜止時也能進(jìn)行位置檢測，必須采用磁通響應(yīng)型磁頭。,,磁通響應(yīng)型磁頭,,,二 磁頭,,勵磁繞組在一個周期內(nèi)可使鐵芯飽和兩次，鐵芯材料飽和后，磁阻很大，磁路被阻斷；鐵芯材料非飽和時，磁阻減小，磁路開通?？梢?，勵磁繞組的作用相當(dāng)于磁開關(guān)，只要有周期變化的勵磁電流存在，輸出繞組的磁路中磁通量產(chǎn)生周期變化，輸出繞組輸出電壓信號為,,E,0,輸出電壓幅值，,λ,磁化節(jié)距，,ω,0,激磁頻率的2倍頻，,x,位移,,,,二 磁頭,,2 多間隙磁通響應(yīng)型磁頭,,用一個磁通響應(yīng)型磁頭讀取磁柵的磁化信號，輸出信號往往很

19、微弱，且由于磁膜的非線性，往往難以實(shí)現(xiàn)。可將幾個磁頭串聯(lián)起來組成多間隙響應(yīng)型磁頭，以提高輸出信號幅度，提高測量分辨率及準(zhǔn)確性。,,,三 檢測電路,,鑒幅型檢測電路,,兩組磁頭通以同頻、同相、同幅值的勵磁電流，由于兩組磁頭的安裝位置相差,(,n,+l,／4),λ,(,n,為正整數(shù),),，因此檢波整形后的方波相差,90,。,鑒幅檢測電路,,,三 檢測電路,,鑒相型檢測電路,,兩磁頭的安裝距離相差,(,n,+l,／4),λ,。,兩組磁頭通以同頻、等幅但相位相差,π,／4,的勵磁交流電。兩組磁頭的輸出電壓為,,,e,1,、,e,2,在求和的線路中相加得,,,,,,,,三 鑒相檢測電路,,在鑒相電路

20、中，把它和基本方波的相位相比較，若相位不同，則在兩方波的上升沿之間插入頻率為,2,MHz,的脈沖。兩波相位相差越大，插入脈沖越多，兩波相位差為零，無插入脈沖，這樣就可撿測位移量的值。,,,,第五節(jié) 旋轉(zhuǎn)變壓器測量裝置,,一 旋轉(zhuǎn)變壓器的結(jié)構(gòu),定子繞組通過固定在殼體上的接線板直接引出。轉(zhuǎn)子繞組是通過滑環(huán)和電刷直接引出的。,,其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，體積小；缺點(diǎn)是可靠性差，壽命短。,,,一 旋轉(zhuǎn)變壓器的結(jié)構(gòu),定子繞組通過固定在殼體上的接線板直接引出。轉(zhuǎn)子繞組是通過附加變壓器二次繞組間接送出去的。,,其特點(diǎn)是提高了可靠性及使用壽命。但體積、重量、成本均有增加。,,,二 旋轉(zhuǎn)變壓器的組成及工作原理,

21、普通變壓器的工作原理是在一次繞組加上輸入電壓，則在二次繞組上輸出電壓為(,n,2,/,n,1,),U,1,。旋轉(zhuǎn)變壓器原理與之類似，只不過二次側(cè)繞組是旋轉(zhuǎn)的，則其輸出電壓就會隨其轉(zhuǎn)角的變化而變化，因而輸出電壓的大小是隨著轉(zhuǎn)角的變化而變化的。,,,二 旋轉(zhuǎn)變壓器的組成及工作原理,通常使用正余弦旋轉(zhuǎn)變壓器，其定子和轉(zhuǎn)子各有相互垂直的兩個繞組。定子繞組接受勵磁電壓，勵磁頻率400、500、1000、3000、5000Hz。在兩個定子繞組分別施加,E,A,和,E,B,，其中一個轉(zhuǎn)子繞組短接，由于電磁感應(yīng)，轉(zhuǎn)子中感應(yīng)電壓,E,=,k E,A,,sin,θ,+ k E,B,,cos,θ,k,為旋轉(zhuǎn)變壓器

22、電壓之比。,圖6-19 旋轉(zhuǎn)變壓器,,,,,,三 相位工作方式,兩個定子繞組通以同頻、同幅但相位相差,π,/2,的交流電壓，即,,,,則轉(zhuǎn)子繞組上的感應(yīng)電壓為,轉(zhuǎn)子輸出電壓的相位角和轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)角有嚴(yán)格的對應(yīng)關(guān)系。,,,四 幅值工作方式,兩個定子繞組通以同頻、同相位但幅值不同的交流電壓，即,,,,幅值分別為,u,m,,cos,θ,0,和 -,u,m,,sin,θ,0,則轉(zhuǎn)子繞組上的感應(yīng)電壓為,可見轉(zhuǎn)子輸出電壓的幅值隨轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)角而變化。,,,第六節(jié) 感應(yīng)同步器測量裝置,,,,,工作原理及組成,感應(yīng)同步器測量裝置分為直線式和旋轉(zhuǎn)式兩種。,圖6-22 直線感應(yīng)同步器,,,工作原理及組成,定尺感應(yīng)電

23、壓與定尺、滑尺之間相對位置關(guān)系,,,1)相位工作方式,,給滑尺的正弦繞組和余弦繞組分別通以頻率相同、幅值相同，但相位差90°的勵磁電壓，即,,u,s,=,U,m,sin,ωt,,,u,c,=,U,m,sin(,ωt,+π/2)=,U,m,cos,ωt,當(dāng)滑尺移動,X,距離時，定尺繞組中的感應(yīng)電壓為,,u,d,=,kU,m,sin(,ωt,-,θ,)=,kU,m,sin(,ωt,-2π,X,/,τ,),式中，,U,m,為勵磁電壓幅值；,k,為電磁耦合系數(shù)；,θ,為電氣相位角；,,X,為滑尺移動距離；,τ,為節(jié)距。,,,2）幅值工作方式,,給滑尺的正弦繞組和余弦繞組分別通以相位相同、頻率相同，但幅值不同的勵磁電壓，即,,式中，,θ,1,為電氣給定角。,,當(dāng)滑尺移動時，定尺上的感應(yīng)電壓為,,u,d,=,kU,m,sin(,θ,1,–,θ,)=,kU,m,sin,ω,t,sin,Δ,θ,,,,當(dāng)Δ,θ,很小時，定尺上的感應(yīng)電壓可近似表示為,,u,d,=,kU,m,sin,ωt,Δ,θ,,又因?yàn)楠?,Δ,θ,=2πΔ,X,/,τ,,則,,u,d,=,kU,m,(2π/,τ,)Δ,X,sin,ωt,,式中,Δ,X,為滑尺位移增量。,,由此可以看出，當(dāng)位移增量Δ,X,很小時，感應(yīng)電壓的幅值和Δ,X,成正比，因此，可以通過測量,u,d,的幅值來測定位移量Δ,X,的大小。,,,