金屬熱處理及材料改性



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1、第六章第六章 金屬熱處理及材料改性金屬熱處理及材料改性 熱處理熱處理:是指將鋼在固態(tài)下加熱、保溫和冷卻,以改是指將鋼在固態(tài)下加熱、保溫和冷卻,以改變鋼的組織結(jié)構(gòu),獲得所需要性能的一種工藝變鋼的組織結(jié)構(gòu),獲得所需要性能的一種工藝.l為簡(jiǎn)明表示熱處理為簡(jiǎn)明表示熱處理的基本工藝過程,的基本工藝過程,通常用溫度通常用溫度時(shí)間時(shí)間坐標(biāo)繪出坐標(biāo)繪出熱處理工熱處理工藝曲線藝曲線。 根據(jù)加熱、冷卻方式及鋼組織性能變化特點(diǎn)不同,將根據(jù)加熱、冷卻方式及鋼組織性能變化特點(diǎn)不同,將熱處理工藝分類如下:熱處理工藝分類如下:其他熱處理其他熱處理普通熱處理普通熱處理表面熱處理表面熱處理熱處理熱處理退火退火正火正火淬火淬火回
2、火回火真空熱處理真空熱處理形變熱處理形變熱處理激光熱處理激光熱處理控制氣氛熱處理控制氣氛熱處理表面淬火表面淬火感應(yīng)加熱、火焰加熱、感應(yīng)加熱、火焰加熱、電接觸加熱等電接觸加熱等化學(xué)熱處理化學(xué)熱處理滲碳、氮化、碳氮滲碳、氮化、碳氮共滲、滲其他元素等共滲、滲其他元素等第一節(jié)第一節(jié) 鋼在加熱時(shí)的轉(zhuǎn)變鋼在加熱時(shí)的轉(zhuǎn)變 加熱是熱處理的第一道工序。加熱分兩種:一種是在加熱是熱處理的第一道工序。加熱分兩種:一種是在A1以下加熱,不發(fā)生相變;另一種是以下加熱,不發(fā)生相變;另一種是在臨界點(diǎn)以上加在臨界點(diǎn)以上加熱,目的是獲得均勻的奧氏體組織,稱熱,目的是獲得均勻的奧氏體組織,稱奧氏體化奧氏體化。 鋼坯加熱鋼坯加熱l
3、一、一、奧氏體的形成過程奧氏體的形成過程l(一)基本過程(一)基本過程l奧氏體化也是形核和長(zhǎng)大奧氏體化也是形核和長(zhǎng)大的過程,的過程,分為四步?,F(xiàn)以分為四步?,F(xiàn)以共析鋼為例說明:共析鋼為例說明: 第一步第一步 奧氏體晶核形成:奧氏體晶核形成:首先在首先在 與與Fe3C相界形核。相界形核。 第二步第二步 奧氏體晶核長(zhǎng)大:奧氏體晶核長(zhǎng)大: 晶核通過碳原子的擴(kuò)散向晶核通過碳原子的擴(kuò)散向 和和Fe3C方向長(zhǎng)大。方向長(zhǎng)大。 第三步第三步 殘余殘余Fe3C溶解溶解: 鐵素體的成分鐵素體的成分、結(jié)構(gòu)更接近于結(jié)構(gòu)更接近于奧氏體,因而先消失。殘余的奧氏體,因而先消失。殘余的Fe3C隨保溫時(shí)間延長(zhǎng)繼隨保溫時(shí)間延長(zhǎng)繼
4、續(xù)溶解直至消失。續(xù)溶解直至消失。 第四步第四步 奧氏體成分均勻奧氏體成分均勻化:化:Fe3C溶解后,其所溶解后,其所在部位碳含量仍很高,在部位碳含量仍很高,通過長(zhǎng)時(shí)間保溫使奧氏通過長(zhǎng)時(shí)間保溫使奧氏體成分趨于均勻。體成分趨于均勻。溫度,溫度,共析鋼奧氏體化共析鋼奧氏體化曲線(曲線(875退火)退火)共析鋼奧氏體化過程共析鋼奧氏體化過程 (二)影響珠光體向奧氏體轉(zhuǎn)變的因素(二)影響珠光體向奧氏體轉(zhuǎn)變的因素 1 1、溫度、溫度 T原子擴(kuò)散能力原子擴(kuò)散能力,A中中C的濃度梯度的濃度梯度,A形成速形成速度度 2、C含量含量 亞共析鋼亞共析鋼C ,F(xiàn)和和Fe3C界面總量界面總量,有利于加速,有利于加速A形
5、成形成 3、P粗細(xì)粗細(xì) P組織組織,A形成速度形成速度,層片狀較粒狀,層片狀較粒狀P截面截面易形易形成成A二、二、奧氏體晶粒長(zhǎng)大及其影響因素奧氏體晶粒長(zhǎng)大及其影響因素 1、奧氏體晶粒長(zhǎng)大奧氏體晶粒長(zhǎng)大 奧氏體化剛結(jié)束時(shí)的奧氏體化剛結(jié)束時(shí)的晶粒度稱晶粒度稱起始晶粒度起始晶粒度,此時(shí)晶粒細(xì)小均勻。此時(shí)晶粒細(xì)小均勻。 隨加熱溫度升高或保隨加熱溫度升高或保溫時(shí)間延長(zhǎng),奧氏體溫時(shí)間延長(zhǎng),奧氏體晶粒將進(jìn)一步長(zhǎng)大,晶粒將進(jìn)一步長(zhǎng)大,這也是一個(gè)自發(fā)的過程。奧氏這也是一個(gè)自發(fā)的過程。奧氏體晶粒長(zhǎng)大過程與再結(jié)晶晶粒長(zhǎng)大過程相同。體晶粒長(zhǎng)大過程與再結(jié)晶晶粒長(zhǎng)大過程相同。 溫來判斷。溫來判斷。 晶粒度為晶粒度為1-4
6、 級(jí)的是級(jí)的是本質(zhì)粗晶粒鋼本質(zhì)粗晶粒鋼, 5-8 級(jí)的是級(jí)的是本質(zhì)細(xì)晶粒鋼本質(zhì)細(xì)晶粒鋼。前者晶粒長(zhǎng)大傾向大,后者。前者晶粒長(zhǎng)大傾向大,后者晶粒長(zhǎng)大傾向小。晶粒長(zhǎng)大傾向小。 l在給定溫度下奧氏體的在給定溫度下奧氏體的晶粒度稱晶粒度稱實(shí)際晶粒度。實(shí)際晶粒度。l加熱時(shí)奧氏體晶粒的長(zhǎng)加熱時(shí)奧氏體晶粒的長(zhǎng)大傾向稱大傾向稱本質(zhì)晶粒度本質(zhì)晶粒度。l通常將鋼加熱到通常將鋼加熱到940 10奧氏體化后,設(shè)法奧氏體化后,設(shè)法把奧氏體晶粒保留到室把奧氏體晶粒保留到室 2、影響奧氏體晶粒長(zhǎng)大的因素、影響奧氏體晶粒長(zhǎng)大的因素 加熱溫度和保溫時(shí)間加熱溫度和保溫時(shí)間: 加熱溫加熱溫度高度高、保溫時(shí)間長(zhǎng)保溫時(shí)間長(zhǎng), 晶粒粗大
7、晶粒粗大. 加熱速度加熱速度: 加熱速度越快加熱速度越快,過熱過熱度越大度越大, 形核率越高形核率越高, 晶粒越細(xì)晶粒越細(xì).l合金元素:合金元素:l阻礙奧氏體晶粒長(zhǎng)大的元素阻礙奧氏體晶粒長(zhǎng)大的元素: Ti、V、Nb、Ta、Zr、W、Mo、Cr、Al等等碳化物和氮碳化物和氮化物形成元素?;镄纬稍?。析出顆粒析出顆粒對(duì)黃銅晶對(duì)黃銅晶界的釘扎界的釘扎Nb/%奧氏體晶粒尺寸奧氏體晶粒尺寸/mNb、Ti對(duì)對(duì)奧氏體晶粒的影響奧氏體晶粒的影響 促進(jìn)奧氏體晶粒長(zhǎng)大的元素:促進(jìn)奧氏體晶粒長(zhǎng)大的元素:Mn、P、C、N。 原始組織原始組織: 平衡狀態(tài)的組織有利于獲得細(xì)晶粒。平衡狀態(tài)的組織有利于獲得細(xì)晶粒。 奧氏體
8、晶粒粗大,冷卻后的組織也粗大,降低鋼的奧氏體晶粒粗大,冷卻后的組織也粗大,降低鋼的常溫力學(xué)性能,尤其是塑性。因此加熱得到細(xì)而均常溫力學(xué)性能,尤其是塑性。因此加熱得到細(xì)而均勻的奧氏體晶粒是熱處理的關(guān)鍵問題之一。勻的奧氏體晶粒是熱處理的關(guān)鍵問題之一。箱式可控氣氛多用爐箱式可控氣氛多用爐真空熱處理爐真空熱處理爐第二節(jié)第二節(jié) 過冷奧氏體轉(zhuǎn)變產(chǎn)物的組織過冷奧氏體轉(zhuǎn)變產(chǎn)物的組織形態(tài)與性能形態(tài)與性能 冷卻是熱處理更重要的工序。冷卻是熱處理更重要的工序。 處于臨界點(diǎn)處于臨界點(diǎn)A1以下的奧氏體稱以下的奧氏體稱過冷奧氏體過冷奧氏體。過冷奧過冷奧氏體是非穩(wěn)定組織,遲早要發(fā)生轉(zhuǎn)變。氏體是非穩(wěn)定組織,遲早要發(fā)生轉(zhuǎn)變。隨
9、過冷度不隨過冷度不同,過冷奧氏體將發(fā)生同,過冷奧氏體將發(fā)生珠光體轉(zhuǎn)變、貝氏體轉(zhuǎn)變和珠光體轉(zhuǎn)變、貝氏體轉(zhuǎn)變和馬氏體轉(zhuǎn)變馬氏體轉(zhuǎn)變?nèi)N類型轉(zhuǎn)變。三種類型轉(zhuǎn)變。 現(xiàn)以共析鋼為例說明:現(xiàn)以共析鋼為例說明: 一、珠光體的組織形態(tài)及性能一、珠光體的組織形態(tài)及性能 過冷奧氏體在過冷奧氏體在 A1到到 550間將轉(zhuǎn)間將轉(zhuǎn)變?yōu)橹楣怏w類型組織變?yōu)橹楣怏w類型組織,它是,它是鐵素鐵素體與滲碳體片層相間的機(jī)械混合體與滲碳體片層相間的機(jī)械混合珠光體珠光體索氏體索氏體托氏體托氏體物物,根據(jù)片,根據(jù)片層厚薄不同層厚薄不同,又細(xì)分為又細(xì)分為珠珠光體光體、索氏索氏體體和和托氏體托氏體. 珠光體:珠光體: 形成溫度為形成溫度為A1
10、-650,片層較厚,片層較厚,500倍光鏡下可辨倍光鏡下可辨,用符號(hào),用符號(hào)P表示表示. 索氏體索氏體 形成溫度為形成溫度為650-600,片層較薄,片層較薄,800-1000倍光鏡下倍光鏡下可辨,用符號(hào)可辨,用符號(hào)S 表示。表示。 托氏體托氏體 形成溫度為形成溫度為600-550,片層極薄,電鏡下可辨,用,片層極薄,電鏡下可辨,用符號(hào)符號(hào)T 表示。表示。 二二、貝氏體的組織形態(tài)及貝氏體的組織形態(tài)及性能性能 過冷奧氏體在過冷奧氏體在550- 230 (Ms)間將轉(zhuǎn)變?yōu)殚g將轉(zhuǎn)變?yōu)樨愂象w類型組織,貝氏貝氏體類型組織,貝氏體用符號(hào)體用符號(hào)B表示。表示。 根據(jù)其組織形態(tài)不同,根據(jù)其組織形態(tài)不同,貝氏體
11、貝氏體又分為又分為上貝氏體上貝氏體(B上上)和和下貝氏體下貝氏體(B下下).上貝氏體上貝氏體下貝氏體下貝氏體 上貝氏體上貝氏體 形成溫度為形成溫度為550-350。 在光鏡下呈在光鏡下呈羽毛狀羽毛狀. 在電鏡下為在電鏡下為不連續(xù)不連續(xù)棒狀的滲碳體分布棒狀的滲碳體分布于自奧氏體晶界向于自奧氏體晶界向晶內(nèi)平行生長(zhǎng)的鐵晶內(nèi)平行生長(zhǎng)的鐵素體條之間。素體條之間。光鏡下光鏡下電鏡下電鏡下 下貝氏體下貝氏體 形成溫度為形成溫度為350-Ms。 在光鏡下呈在光鏡下呈竹葉狀竹葉狀。光鏡下光鏡下電鏡下電鏡下l在電鏡下為細(xì)片狀碳在電鏡下為細(xì)片狀碳化物分布于鐵素體針化物分布于鐵素體針內(nèi),并與鐵素體針長(zhǎng)內(nèi),并與鐵素體針
12、長(zhǎng)軸方向呈軸方向呈55-60角。角。 上貝氏體強(qiáng)度與塑性都較低,無實(shí)用價(jià)值。上貝氏體強(qiáng)度與塑性都較低,無實(shí)用價(jià)值。 下貝氏體除了強(qiáng)度、硬度較高外,塑性、韌性也較下貝氏體除了強(qiáng)度、硬度較高外,塑性、韌性也較好,即具有良好的綜合力學(xué)性能,是生產(chǎn)上常用的好,即具有良好的綜合力學(xué)性能,是生產(chǎn)上常用的強(qiáng)化組織之一。強(qiáng)化組織之一。 上貝氏體上貝氏體貝氏體組織的透射電鏡形貌貝氏體組織的透射電鏡形貌下貝氏體下貝氏體 三、馬氏體類型組三、馬氏體類型組織形態(tài)與性能織形態(tài)與性能 馬氏體的形態(tài)分馬氏體的形態(tài)分板板條條和和針狀針狀兩類。兩類。 板條馬氏體板條馬氏體 立體形態(tài)為細(xì)長(zhǎng)的立體形態(tài)為細(xì)長(zhǎng)的扁棒狀扁棒狀 在光鏡下
13、板條馬氏在光鏡下板條馬氏體為一束束的細(xì)條體為一束束的細(xì)條組織。組織。光鏡下光鏡下電鏡下電鏡下 每束內(nèi)條與條之間尺每束內(nèi)條與條之間尺寸大致相同并呈平行寸大致相同并呈平行排列,一個(gè)奧氏體晶排列,一個(gè)奧氏體晶粒內(nèi)可形成幾個(gè)取向粒內(nèi)可形成幾個(gè)取向不同的馬氏體束。不同的馬氏體束。 在電鏡下,板條內(nèi)的在電鏡下,板條內(nèi)的亞結(jié)構(gòu)主要是高密度亞結(jié)構(gòu)主要是高密度的位錯(cuò),的位錯(cuò), =1012/cm2,又稱又稱位錯(cuò)馬氏體位錯(cuò)馬氏體。SEMTEM 針狀馬氏體針狀馬氏體 立體形態(tài)為雙凸透鏡形的立體形態(tài)為雙凸透鏡形的片狀。片狀。顯微組織為顯微組織為針狀針狀。 在電鏡下,亞結(jié)構(gòu)主要是在電鏡下,亞結(jié)構(gòu)主要是孿晶孿晶,又稱,又稱
14、孿晶馬氏體孿晶馬氏體。電鏡下電鏡下電鏡下電鏡下光鏡下光鏡下 馬氏體的形態(tài)主要馬氏體的形態(tài)主要取決于其含碳量取決于其含碳量 C%小于小于0.2%時(shí),時(shí),組組織幾乎全部是織幾乎全部是板條馬板條馬氏體氏體。 C%大于大于1.0%C時(shí)時(shí)幾幾乎全部是乎全部是針狀馬氏體針狀馬氏體. C%在在0.21.0%之間之間為為板條與針狀的混合板條與針狀的混合組織組織。馬氏體形態(tài)與含碳量的關(guān)系馬氏體形態(tài)與含碳量的關(guān)系0.45%C0.2%C1.2%C45鋼正常淬火組織鋼正常淬火組織 先形成的馬氏體片橫貫整個(gè)奧氏體晶粒,但不能穿先形成的馬氏體片橫貫整個(gè)奧氏體晶粒,但不能穿過晶界和孿晶界。過晶界和孿晶界。后形成的馬氏體片不
15、能穿過先形后形成的馬氏體片不能穿過先形成的馬氏體片,所以越是后形成的馬氏體片越細(xì)小成的馬氏體片,所以越是后形成的馬氏體片越細(xì)小.l原始奧氏體晶粒原始奧氏體晶粒細(xì),轉(zhuǎn)變后的馬細(xì),轉(zhuǎn)變后的馬氏體片也細(xì)。氏體片也細(xì)。l當(dāng)最大馬氏體片當(dāng)最大馬氏體片細(xì)到光鏡下無法細(xì)到光鏡下無法分辨時(shí),該馬氏分辨時(shí),該馬氏體稱體稱隱晶馬氏體隱晶馬氏體. 馬氏體的性能馬氏體的性能 高硬度高硬度是馬氏體性是馬氏體性能的主要特點(diǎn)。能的主要特點(diǎn)。 馬氏體的硬度主要馬氏體的硬度主要取決于其含碳量。取決于其含碳量。 含碳量增加,其硬含碳量增加,其硬度增加。度增加。l當(dāng)含碳量大于當(dāng)含碳量大于0.6%時(shí),其硬度趨于平緩。時(shí),其硬度趨于平
16、緩。l合金元素對(duì)馬氏體硬度的影響不大。合金元素對(duì)馬氏體硬度的影響不大。馬氏體硬度、韌性與含碳量的關(guān)系馬氏體硬度、韌性與含碳量的關(guān)系C% 馬氏體強(qiáng)化的主要原因是過飽和碳引起的固溶強(qiáng)化。馬氏體強(qiáng)化的主要原因是過飽和碳引起的固溶強(qiáng)化。此外,馬氏體轉(zhuǎn)變產(chǎn)生的組織細(xì)化也有強(qiáng)化作用。此外,馬氏體轉(zhuǎn)變產(chǎn)生的組織細(xì)化也有強(qiáng)化作用。 馬氏體的塑性和韌性主要取決于其亞結(jié)構(gòu)的形式。馬氏體的塑性和韌性主要取決于其亞結(jié)構(gòu)的形式。針針狀馬氏體脆性大,狀馬氏體脆性大,板條馬氏體具有較好的塑性和韌性板條馬氏體具有較好的塑性和韌性.針狀馬氏體針狀馬氏體板條馬氏體板條馬氏體馬氏體的透射電鏡形貌馬氏體的透射電鏡形貌過冷奧氏體轉(zhuǎn)變產(chǎn)
17、物(共析鋼)過冷奧氏體轉(zhuǎn)變產(chǎn)物(共析鋼) 轉(zhuǎn)變轉(zhuǎn)變類型類型轉(zhuǎn)變轉(zhuǎn)變產(chǎn)物產(chǎn)物形成溫形成溫度,度, 轉(zhuǎn)變轉(zhuǎn)變機(jī)制機(jī)制顯微組織特征顯微組織特征HRC獲得獲得工藝工藝珠珠光光體體PA1650擴(kuò)擴(kuò)散散型型粗片狀,粗片狀,F(xiàn)、Fe3C相間分布相間分布5-20退火退火S650600細(xì)片狀,細(xì)片狀,F(xiàn)、Fe3C相間分布相間分布20-30正火正火T600550極細(xì)片狀,極細(xì)片狀,F(xiàn)、Fe3C相間分布相間分布30-40等溫等溫處理處理貝貝氏氏體體B上上550350半擴(kuò)半擴(kuò)散型散型羽毛狀,短棒狀羽毛狀,短棒狀Fe3C分布于分布于過飽和過飽和F條之間條之間40-50等溫等溫處理處理B下下350MS竹葉狀,細(xì)片狀竹葉狀
18、,細(xì)片狀Fe3C分布于分布于過飽和過飽和F針上針上50-60等溫等溫淬火淬火馬馬氏氏體體M針針MSMf無擴(kuò)無擴(kuò)散型散型針狀針狀60-65淬火淬火M*板條板條MSMf板條狀板條狀50淬火淬火 過冷奧氏體的轉(zhuǎn)變方式有過冷奧氏體的轉(zhuǎn)變方式有等溫轉(zhuǎn)變等溫轉(zhuǎn)變和和連續(xù)冷卻轉(zhuǎn)變連續(xù)冷卻轉(zhuǎn)變兩種。兩種。 兩種冷卻方式兩種冷卻方式示意圖示意圖1等溫冷卻等溫冷卻2連續(xù)冷卻連續(xù)冷卻第二節(jié)第二節(jié) 過冷奧氏體轉(zhuǎn)變曲線圖過冷奧氏體轉(zhuǎn)變曲線圖 過冷奧氏體的等溫轉(zhuǎn)過冷奧氏體的等溫轉(zhuǎn)變圖變圖是是表示奧氏體急表示奧氏體急速冷卻到臨界點(diǎn)速冷卻到臨界點(diǎn)A1 以以下在各不同溫度下的下在各不同溫度下的保溫過程中轉(zhuǎn)變量與保溫過程中轉(zhuǎn)變量
19、與轉(zhuǎn)變時(shí)間的關(guān)系曲線轉(zhuǎn)變時(shí)間的關(guān)系曲線.又稱又稱C 曲線、曲線、S 曲線曲線或或TTT曲線。曲線。一、過冷奧氏體的等溫轉(zhuǎn)變圖一、過冷奧氏體的等溫轉(zhuǎn)變圖(Time-Temperature-Transformation diagram) 1、C曲線的建立曲線的建立 以共析鋼為例:以共析鋼為例: 取一批小試樣取一批小試樣并進(jìn)行奧氏體化并進(jìn)行奧氏體化. 將試樣分組淬將試樣分組淬入低于入低于A1 點(diǎn)的不點(diǎn)的不同溫度的鹽浴中同溫度的鹽浴中,隔一定時(shí)間取一隔一定時(shí)間取一試樣淬入水中。試樣淬入水中。 測(cè)定每個(gè)試樣的轉(zhuǎn)變測(cè)定每個(gè)試樣的轉(zhuǎn)變量,確定各溫度下轉(zhuǎn)變量,確定各溫度下轉(zhuǎn)變量與轉(zhuǎn)變時(shí)間的關(guān)系。量與轉(zhuǎn)變時(shí)間的
20、關(guān)系。 將各溫度下轉(zhuǎn)變開始將各溫度下轉(zhuǎn)變開始時(shí)間及終了時(shí)間標(biāo)在溫時(shí)間及終了時(shí)間標(biāo)在溫度度時(shí)間坐標(biāo)中,并分時(shí)間坐標(biāo)中,并分別連線。別連線。 轉(zhuǎn)變開始點(diǎn)的連線稱轉(zhuǎn)變開始點(diǎn)的連線稱轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)變開始線變開始線。轉(zhuǎn)變終了點(diǎn)。轉(zhuǎn)變終了點(diǎn)的連線稱的連線稱轉(zhuǎn)變終了線轉(zhuǎn)變終了線。2、過冷奧氏體轉(zhuǎn)變產(chǎn)物的形成過程、過冷奧氏體轉(zhuǎn)變產(chǎn)物的形成過程(1) 珠光體的形成過程珠光體的形成過程在在C曲線曲線“鼻尖鼻尖”上部為上部為P相變區(qū),相變區(qū),P形成伴隨形成伴隨兩個(gè)過程兩個(gè)過程同時(shí)進(jìn)同時(shí)進(jìn)行行碳和鐵原子的擴(kuò)散碳和鐵原子的擴(kuò)散生成高碳生成高碳Fe3C和低碳和低碳F晶格重構(gòu)晶格重構(gòu)由面心立方由面心立方A轉(zhuǎn)變?yōu)轶w心立方轉(zhuǎn)變?yōu)轶w心立方
21、F和復(fù)雜晶格和復(fù)雜晶格Fe3C(2) 貝氏體的形成過程貝氏體的形成過程C曲線曲線下部區(qū)域?yàn)橄虏繀^(qū)域?yàn)锽相變區(qū)相變區(qū)。B相變時(shí)相變時(shí)只發(fā)生碳原子擴(kuò)散,鐵原只發(fā)生碳原子擴(kuò)散,鐵原子不擴(kuò)散子不擴(kuò)散,過冷,過冷A貧碳區(qū)、孕育貧碳區(qū)、孕育F晶核、晶核、F含含C,C從從F向向A擴(kuò)擴(kuò)散形成散形成Fe3C。(3)馬氏體的形成過程)馬氏體的形成過程M相變是非擴(kuò)散性的相變是非擴(kuò)散性的,因冷速過冷度極大,碳原子無擴(kuò)散能力,因冷速過冷度極大,碳原子無擴(kuò)散能力,故故A將直接轉(zhuǎn)變成一種含碳過飽和的將直接轉(zhuǎn)變成一種含碳過飽和的固溶體固溶體M 3、影響、影響C 曲線的因素曲線的因素 成分的影響成分的影響 含碳量的影響含碳量的
22、影響:共析鋼的過冷奧氏體最穩(wěn)定,:共析鋼的過冷奧氏體最穩(wěn)定,C曲曲線最靠右。線最靠右。Ms 與與Mf 點(diǎn)隨含碳量增加而下降。點(diǎn)隨含碳量增加而下降。 與共析鋼相比,亞共析鋼和過共析鋼與共析鋼相比,亞共析鋼和過共析鋼C曲線的上部各曲線的上部各多一條先共析相的析出線。多一條先共析相的析出線。 CrCr對(duì)對(duì)C C曲線的影響曲線的影響 合金元素的合金元素的影響影響 除除Co 外外, 凡溶入凡溶入奧氏體的合金元奧氏體的合金元素都使素都使C 曲線右曲線右移。移。l除除Co和和Al 外外,所有合金元所有合金元素都使素都使Ms 與與Mf 點(diǎn)下降。點(diǎn)下降。推桿式電阻爐推桿式電阻爐 奧氏體化條件的影響奧氏體化條件的
23、影響 奧氏體化溫度提高和保溫時(shí)間延長(zhǎng),使奧氏體成分奧氏體化溫度提高和保溫時(shí)間延長(zhǎng),使奧氏體成分均勻、晶粒粗大、未溶碳化物減少,增加了過冷奧均勻、晶粒粗大、未溶碳化物減少,增加了過冷奧氏體的穩(wěn)定性,使氏體的穩(wěn)定性,使C 曲線右移。曲線右移。 使用使用C 曲線時(shí)應(yīng)注意奧氏體化條件及晶粒度的影響曲線時(shí)應(yīng)注意奧氏體化條件及晶粒度的影響. 二、過冷奧氏體連續(xù)轉(zhuǎn)變曲線圖二、過冷奧氏體連續(xù)轉(zhuǎn)變曲線圖 也稱也稱CCT圖圖,可用,可用金相金相、膨脹膨脹和和磁性法磁性法測(cè)得測(cè)得 用膨脹法測(cè)定:用膨脹法測(cè)定:將一組試將一組試樣經(jīng)奧氏體化后用不同冷速樣經(jīng)奧氏體化后用不同冷速連續(xù)冷卻,用高速膨脹儀測(cè)連續(xù)冷卻,用高速膨脹
24、儀測(cè)出轉(zhuǎn)變開始和終了的溫度、出轉(zhuǎn)變開始和終了的溫度、時(shí)間,并記錄最終所得組織時(shí)間,并記錄最終所得組織及硬度。將及硬度。將同性質(zhì)轉(zhuǎn)變開始同性質(zhì)轉(zhuǎn)變開始點(diǎn)與終了點(diǎn)連成曲線,點(diǎn)與終了點(diǎn)連成曲線,便成便成CCT圖。圖。Vk為臨界冷速為臨界冷速VkVk共析鋼的共析鋼的CCT曲線曲線第四節(jié)第四節(jié) 鋼的退火與正火鋼的退火與正火 機(jī)械零件的一般加工工藝為:機(jī)械零件的一般加工工藝為:毛坯(鑄、鍛)毛坯(鑄、鍛)預(yù)預(yù) 備熱處理備熱處理機(jī)加工機(jī)加工最終熱處理。最終熱處理。l退火與正火主要用于退火與正火主要用于預(yù)備熱處理,預(yù)備熱處理,只有當(dāng)只有當(dāng)工件性能要求不高時(shí)工件性能要求不高時(shí)才作為最終熱處理。才作為最終熱處理。
25、 一、退火一、退火 將鋼加熱至適當(dāng)溫將鋼加熱至適當(dāng)溫度保溫,然后緩慢度保溫,然后緩慢冷卻冷卻 (爐冷爐冷) 的熱處的熱處理工藝叫做理工藝叫做退火退火。 1、退火目的、退火目的l調(diào)整硬度,便于切削加工。適合加工的硬度為調(diào)整硬度,便于切削加工。適合加工的硬度為170-250HB。l 消除內(nèi)應(yīng)力,防止加工中變形。消除內(nèi)應(yīng)力,防止加工中變形。l 細(xì)化晶粒,為最終熱處理作組織準(zhǔn)備。細(xì)化晶粒,為最終熱處理作組織準(zhǔn)備。 真空退火爐真空退火爐 2、退火工藝、退火工藝 退火的種類很多,常用的有退火的種類很多,常用的有完全退火、等溫退火、完全退火、等溫退火、球化退火、擴(kuò)散退火、去應(yīng)力退火、再結(jié)晶退火。球化退火、擴(kuò)
26、散退火、去應(yīng)力退火、再結(jié)晶退火。 完全退火完全退火l將工件加熱到將工件加熱到Ac3+3050保保溫后緩冷的退溫后緩冷的退火工藝,主要火工藝,主要用于亞共析鋼用于亞共析鋼 . 等溫退火等溫退火 亞共析鋼加熱到亞共析鋼加熱到Ac3+3050, 共析共析、過共析鋼加熱過共析鋼加熱到到Ac1+3050,保溫后快冷到,保溫后快冷到Ar1以下的某一溫度以下的某一溫度下停留,待相變完成后出爐空冷。等溫退火可縮短下停留,待相變完成后出爐空冷。等溫退火可縮短工件在爐內(nèi)停留時(shí)間,更適合于孕育期長(zhǎng)的合金鋼工件在爐內(nèi)停留時(shí)間,更適合于孕育期長(zhǎng)的合金鋼. 高速鋼等溫退火與普通退火的比較高速鋼等溫退火與普通退火的比較 球
27、化退火球化退火 球化退火球化退火是將鋼中滲碳體球狀化的退火工藝。是將鋼中滲碳體球狀化的退火工藝。l它是將工件加熱到它是將工件加熱到Ac1+ 30-50 保溫后保溫后緩冷,或者加熱后冷緩冷,或者加熱后冷卻到略低于卻到略低于 Ar1 的溫的溫度下保溫,使珠光體度下保溫,使珠光體中的滲碳體球化后出中的滲碳體球化后出爐空冷。主要用于共爐空冷。主要用于共析、過共析鋼。析、過共析鋼。 球化退火的組織為鐵素體基球化退火的組織為鐵素體基體上分布著顆粒狀滲碳體的體上分布著顆粒狀滲碳體的組織,稱組織,稱球狀珠光體球狀珠光體, 用用P球球表示。表示。球狀珠光體球狀珠光體l對(duì)于有網(wǎng)狀二次滲碳體的對(duì)于有網(wǎng)狀二次滲碳體的
28、過共析鋼,球化退火前應(yīng)過共析鋼,球化退火前應(yīng)先進(jìn)行正火,以消除網(wǎng)狀先進(jìn)行正火,以消除網(wǎng)狀. 二、正火二、正火 正火是將正火是將亞共析鋼亞共析鋼加熱到加熱到Ac3+30 50,共析鋼共析鋼加熱加熱到到Ac1+3050,過共析鋼過共析鋼 加熱到加熱到Accm+30 50保溫保溫 后后空冷空冷的工藝。的工藝。 正火比退火冷卻速度大。正火比退火冷卻速度大。 1、正火后的組織:、正火后的組織: 0.6%C時(shí),組織為時(shí),組織為F+S; 0.6%C時(shí),組織為時(shí),組織為S 。 正火溫度正火溫度 2、正火的目的、正火的目的 對(duì)于低、中碳鋼對(duì)于低、中碳鋼(0.6C%),目的與退火的相同。,目的與退火的相同。 對(duì)于
29、過共析鋼,用于消除網(wǎng)狀二次滲碳體,為球?qū)τ谶^共析鋼,用于消除網(wǎng)狀二次滲碳體,為球化退火作組織準(zhǔn)備?;嘶鹱鹘M織準(zhǔn)備。 普通件最終熱處普通件最終熱處理。理。l要改善切削性能,要改善切削性能,低碳鋼用正火,中低碳鋼用正火,中碳鋼用退火或正火碳鋼用退火或正火,高碳鋼用球化退火高碳鋼用球化退火.熱處理與硬度關(guān)系熱處理與硬度關(guān)系合適切削加工硬度合適切削加工硬度第五節(jié)第五節(jié) 鋼的淬火鋼的淬火 淬火淬火是將鋼加熱到臨界點(diǎn)以上,保溫后以大于是將鋼加熱到臨界點(diǎn)以上,保溫后以大于Vk速速 度冷卻,使奧氏體轉(zhuǎn)變度冷卻,使奧氏體轉(zhuǎn)變?yōu)轳R氏體的熱處理工藝為馬氏體的熱處理工藝.l淬火是應(yīng)用最廣的熱處淬火是應(yīng)用最廣的熱處理
30、工藝之一。理工藝之一。l淬火目的是為獲得馬氏淬火目的是為獲得馬氏體組織,提高鋼的性能體組織,提高鋼的性能.真空淬火爐真空淬火爐一、一、鋼的淬火工藝鋼的淬火工藝 1、碳鋼、碳鋼 亞共析鋼亞共析鋼 淬火溫度為淬火溫度為Ac3+30-50。亞共析鋼淬火組織:亞共析鋼淬火組織: 0.5%C時(shí)為時(shí)為M; 0.5%C時(shí)為時(shí)為M+A。過高。過高T,則,則M粗大,過低粗大,過低T,組織中出現(xiàn),組織中出現(xiàn)F,硬度不足,強(qiáng)度不高,硬度不足,強(qiáng)度不高 共析鋼共析鋼淬火溫度為淬火溫度為Ac1+30-50;淬火組織為;淬火組織為M+A。 過共析鋼過共析鋼淬火溫度淬火溫度: Ac1+30-50.溫度高于溫度高于Accm,
31、則奧氏體晶粒粗大、含碳量高,淬火后馬氏體,則奧氏體晶粒粗大、含碳量高,淬火后馬氏體晶粒粗大、晶粒粗大、A量增多。使鋼硬度、耐磨性下降,脆性、變形開裂量增多。使鋼硬度、耐磨性下降,脆性、變形開裂傾向增加。傾向增加。淬火組織淬火組織: M+Fe3C顆粒顆粒+A。(預(yù)備組織為預(yù)備組織為P球球) 2、合金鋼、合金鋼 由于多數(shù)合金元素由于多數(shù)合金元素(Mn、P除外除外)對(duì)奧氏體晶粒長(zhǎng)大對(duì)奧氏體晶粒長(zhǎng)大有阻礙作用,因而合金鋼淬火溫度比碳鋼高。有阻礙作用,因而合金鋼淬火溫度比碳鋼高。 亞共析鋼淬火溫度為亞共析鋼淬火溫度為Ac3+ 50100。 共析鋼、過共析鋼淬火溫度為共析鋼、過共析鋼淬火溫度為Ac1+50
32、100。 鋼坯加熱鋼坯加熱二、淬火介質(zhì)二、淬火介質(zhì) 理想的冷卻曲線應(yīng)只在理想的冷卻曲線應(yīng)只在C曲線鼻尖處快冷,而在曲線鼻尖處快冷,而在Ms附近盡量緩冷,以達(dá)到既獲得馬氏體組織,又減小附近盡量緩冷,以達(dá)到既獲得馬氏體組織,又減小理想淬火曲線示意圖理想淬火曲線示意圖MsMf 內(nèi)應(yīng)力的目的。但目前內(nèi)應(yīng)力的目的。但目前還沒有找到理想的淬火還沒有找到理想的淬火介質(zhì)。介質(zhì)。l常用淬火介質(zhì)是水和油常用淬火介質(zhì)是水和油.l水的冷卻能力強(qiáng),但低水的冷卻能力強(qiáng),但低溫卻能力太大,只使用溫卻能力太大,只使用于形狀簡(jiǎn)單的碳鋼件。于形狀簡(jiǎn)單的碳鋼件。 油在低溫區(qū)冷卻能力較理想,但高溫區(qū)冷卻能力太油在低溫區(qū)冷卻能力較理想
33、,但高溫區(qū)冷卻能力太小,使用于合金鋼和小尺寸的碳鋼件。小,使用于合金鋼和小尺寸的碳鋼件。 熔鹽作為淬火介質(zhì)稱鹽浴,冷卻能力在水和油之間熔鹽作為淬火介質(zhì)稱鹽浴,冷卻能力在水和油之間,用于形狀復(fù)雜件的分級(jí)淬火和等溫淬火。用于形狀復(fù)雜件的分級(jí)淬火和等溫淬火。 聚乙烯醇、硝鹽水溶液等也是工業(yè)常用的淬火介質(zhì)聚乙烯醇、硝鹽水溶液等也是工業(yè)常用的淬火介質(zhì).三、淬火方法三、淬火方法 采用不同的淬火方法采用不同的淬火方法可彌補(bǔ)介質(zhì)的不足??蓮浹a(bǔ)介質(zhì)的不足。 1、單液淬火法、單液淬火法 加熱工件在一種介質(zhì)加熱工件在一種介質(zhì)中連續(xù)冷卻到室溫的中連續(xù)冷卻到室溫的淬火方法。淬火方法。 操作簡(jiǎn)單,易實(shí)現(xiàn)自操作簡(jiǎn)單,易實(shí)現(xiàn)
34、自動(dòng)化。動(dòng)化。各種淬火方法示意圖各種淬火方法示意圖1單液淬火法單液淬火法2雙液淬火法雙液淬火法3分級(jí)淬火法分級(jí)淬火法4等溫淬火法等溫淬火法 2、雙液淬火法、雙液淬火法 工件先在一種冷卻能力工件先在一種冷卻能力強(qiáng)的介質(zhì)中冷,卻躲過強(qiáng)的介質(zhì)中冷,卻躲過鼻尖后,再在另一種冷鼻尖后,再在另一種冷卻能力較弱的介質(zhì)中發(fā)卻能力較弱的介質(zhì)中發(fā)生馬氏體轉(zhuǎn)變的方法。生馬氏體轉(zhuǎn)變的方法。如水淬油冷,油淬空冷如水淬油冷,油淬空冷. 優(yōu)點(diǎn)是冷卻理想,缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)是冷卻理想,缺點(diǎn)是不易掌握。用于形狀是不易掌握。用于形狀復(fù)雜的碳鋼件及大型合金鋼件。復(fù)雜的碳鋼件及大型合金鋼件。 3、分級(jí)淬火法、分級(jí)淬火法 在在Ms附近的鹽浴或堿
35、浴中淬火,待內(nèi)外溫度均勻后附近的鹽浴或堿浴中淬火,待內(nèi)外溫度均勻后再取出緩冷。再取出緩冷。l可減少內(nèi)應(yīng)力,用于小尺可減少內(nèi)應(yīng)力,用于小尺寸工件。寸工件。鹽浴爐鹽浴爐 4、等溫淬火法、等溫淬火法 將工件在稍高于將工件在稍高于 Ms 的鹽浴的鹽浴或堿浴中保溫足夠長(zhǎng)時(shí)間,或堿浴中保溫足夠長(zhǎng)時(shí)間,從而獲得下貝氏體組織的淬從而獲得下貝氏體組織的淬火方法?;鸱椒?。 經(jīng)等溫淬火零件具有良好的經(jīng)等溫淬火零件具有良好的綜合力學(xué)性能,淬火應(yīng)力小綜合力學(xué)性能,淬火應(yīng)力小. 適用于形狀復(fù)雜及要求較高適用于形狀復(fù)雜及要求較高的小型件。的小型件。(一)淬透性的概念(一)淬透性的概念M量和硬度隨量和硬度隨深度的變化深度的變
36、化 淬透性淬透性是指鋼在淬火時(shí)獲得淬硬層深度的能力。其是指鋼在淬火時(shí)獲得淬硬層深度的能力。其大小是用規(guī)定條件下淬硬層深度來表示。大小是用規(guī)定條件下淬硬層深度來表示。l淬硬層深度淬硬層深度是指由是指由工件表面到半馬氏工件表面到半馬氏體區(qū)體區(qū)(50%M + 50%P)的深度。的深度。l淬硬性淬硬性是指鋼淬火是指鋼淬火后所能達(dá)到的最高后所能達(dá)到的最高硬度,即硬化能力硬度,即硬化能力.四四 、鋼的淬透性和淬硬性鋼的淬透性和淬硬性(二)(二)淬透性與淬硬層深度的關(guān)系淬透性與淬硬層深度的關(guān)系 同一材料的淬硬層深度與工件尺寸、冷卻介質(zhì)有關(guān)。同一材料的淬硬層深度與工件尺寸、冷卻介質(zhì)有關(guān)。工件尺寸小、介質(zhì)冷卻能
37、力強(qiáng),淬硬層深。工件尺寸小、介質(zhì)冷卻能力強(qiáng),淬硬層深。 淬透性與工件尺寸、冷卻介質(zhì)無關(guān)。淬透性與工件尺寸、冷卻介質(zhì)無關(guān)。它只用于不同它只用于不同材材料之間的比較,是通過尺寸、冷卻介質(zhì)相同時(shí)的淬硬料之間的比較,是通過尺寸、冷卻介質(zhì)相同時(shí)的淬硬層深度來確定的。層深度來確定的。 (三)影響淬透性的因素(三)影響淬透性的因素 鋼的淬透性取決于臨界冷鋼的淬透性取決于臨界冷卻速度卻速度Vk, Vk越小,淬越小,淬透性越高。透性越高。 Vk取決于取決于C曲線的位置,曲線的位置,C 曲線越靠右,曲線越靠右,Vk越小。越小。l因而凡是影響因而凡是影響C曲線的因素都是影響淬透性的因素曲線的因素都是影響淬透性的因素
38、.即即除除Co 外,凡溶入奧氏體的合金元素都使鋼的淬外,凡溶入奧氏體的合金元素都使鋼的淬透性提高;奧氏體化溫度高、保溫時(shí)間長(zhǎng)也使鋼的透性提高;奧氏體化溫度高、保溫時(shí)間長(zhǎng)也使鋼的淬透性提高。淬透性提高。 (四)(四)淬透性的測(cè)定及其表示方法淬透性的測(cè)定及其表示方法 1、淬透性的測(cè)定常用、淬透性的測(cè)定常用末端淬火法末端淬火法示,示,J 表示末端表示末端淬透性,淬透性,d 表示表示半馬氏體區(qū)到水半馬氏體區(qū)到水冷端的距離,冷端的距離,HRC 為半馬氏為半馬氏體區(qū)的硬度。體區(qū)的硬度。 2、淬透性的表示方法、淬透性的表示方法 用淬透性曲線表示用淬透性曲線表示dHRCJ即用即用 表表五、鋼的淬火變形和開裂五
39、、鋼的淬火變形和開裂(1)熱應(yīng)力和相變應(yīng)力熱應(yīng)力和相變應(yīng)力 熱應(yīng)力熱應(yīng)力工件在加熱和冷卻時(shí),各部位存在溫差,導(dǎo)致膨工件在加熱和冷卻時(shí),各部位存在溫差,導(dǎo)致膨脹和冷縮不同所引起的應(yīng)力脹和冷縮不同所引起的應(yīng)力 相變應(yīng)力相變應(yīng)力相變前后比容不同,溫差不同相變不同時(shí),則相變前后比容不同,溫差不同相變不同時(shí),則引起應(yīng)力引起應(yīng)力(2)變形的基本規(guī)律變形的基本規(guī)律 P100 表表6-4(3)減少變形的措施減少變形的措施 合理選擇鋼材與正確設(shè)計(jì)零件合理選擇鋼材與正確設(shè)計(jì)零件 正確鍛造和預(yù)備熱處理正確鍛造和預(yù)備熱處理 采用合理的熱處理工藝采用合理的熱處理工藝第六節(jié)第六節(jié) 鋼的回火鋼的回火 回火回火是指將淬火鋼加
40、熱是指將淬火鋼加熱到到A1以下的某溫度保溫以下的某溫度保溫后冷卻的工藝。后冷卻的工藝。 一、回火的目的一、回火的目的 1、減少或消除淬火內(nèi)、減少或消除淬火內(nèi)應(yīng)力應(yīng)力, 防止變形或開裂防止變形或開裂.l2、獲得所需要的力學(xué)性能、獲得所需要的力學(xué)性能。淬火鋼一般硬度高,脆。淬火鋼一般硬度高,脆性大,回火可調(diào)整硬度、韌性。性大,回火可調(diào)整硬度、韌性。螺桿表面的螺桿表面的淬火裂紋淬火裂紋 3、穩(wěn)定尺寸、穩(wěn)定尺寸。淬火淬火M和和A都是非平衡組織,有自發(fā)都是非平衡組織,有自發(fā)向平衡組織轉(zhuǎn)變的傾向?;鼗鹂墒瓜蚱胶饨M織轉(zhuǎn)變的傾向?;鼗鹂墒筂與與A轉(zhuǎn)變?yōu)槠胶廪D(zhuǎn)變?yōu)槠胶饣蚪咏胶獾慕M織,防止使用時(shí)變形?;蚪咏胶?/p>
41、的組織,防止使用時(shí)變形。 4、對(duì)于某些高淬透性的鋼對(duì)于某些高淬透性的鋼,空冷即可淬火,如采用,空冷即可淬火,如采用 回火軟化既能回火軟化既能降低硬度降低硬度,又,又能能縮短軟化周期縮短軟化周期。l未經(jīng)淬火的鋼回火無意義,未經(jīng)淬火的鋼回火無意義,而淬火鋼不回火在放置使用而淬火鋼不回火在放置使用過程中易變形或開裂。過程中易變形或開裂。鋼經(jīng)鋼經(jīng)淬火后應(yīng)立即進(jìn)行回火。淬火后應(yīng)立即進(jìn)行回火。二、回火時(shí)組織轉(zhuǎn)變二、回火時(shí)組織轉(zhuǎn)變 1、馬氏體的分解、馬氏體的分解 100回火時(shí),鋼回火時(shí),鋼的組織無變化。的組織無變化。 100-200加熱時(shí),加熱時(shí),馬氏體將發(fā)生分解馬氏體將發(fā)生分解,從馬氏體中析出從馬氏體中析
42、出 -碳化物碳化物( - FeXC),使馬氏體過飽和度降低。使馬氏體過飽和度降低。析出的析出的碳化物以細(xì)片狀分布在馬氏體基體上,這種組織稱碳化物以細(xì)片狀分布在馬氏體基體上,這種組織稱回火馬氏體回火馬氏體,用,用M回回表示。表示。透射電鏡下的回火馬氏體形貌透射電鏡下的回火馬氏體形貌回火馬氏體回火馬氏體 在光鏡下在光鏡下M回回為黑色,為黑色,A為白色。為白色。 0.2%C 時(shí),不析出碳化物。只發(fā)生碳在位錯(cuò)附近的時(shí),不析出碳化物。只發(fā)生碳在位錯(cuò)附近的偏聚。偏聚。 2、殘余奧氏體分解殘余奧氏體分解l200-300時(shí)時(shí), 由于由于馬氏體分解,奧氏馬氏體分解,奧氏體所受的壓力下降體所受的壓力下降, Ms
43、上升,上升,A 分解分解為為 - 碳化物碳化物和和過飽和鐵素體過飽和鐵素體,即,即M回回。 衡成分衡成分, 內(nèi)應(yīng)力大量消除,內(nèi)應(yīng)力大量消除,M回回轉(zhuǎn)變?yōu)樵诒3竹R氏體轉(zhuǎn)變?yōu)樵诒3竹R氏體形態(tài)的鐵素體基體上分布著細(xì)粒狀形態(tài)的鐵素體基體上分布著細(xì)粒狀Fe3C組織,稱回組織,稱回火托氏體,用火托氏體,用T回回表示。表示。l發(fā)生于發(fā)生于250-400,此時(shí),此時(shí), -碳化物溶碳化物溶解于解于F中,并從鐵中,并從鐵素體中析出素體中析出Fe3C。l到到350, 馬氏體含馬氏體含碳量降到鐵素體平碳量降到鐵素體平回火托氏體回火托氏體l3、 -碳化物轉(zhuǎn)變?yōu)樘蓟镛D(zhuǎn)變?yōu)镕e3C回火索氏體回火索氏體 4、Fe3C聚集長(zhǎng)
44、大和鐵素體多邊形化聚集長(zhǎng)大和鐵素體多邊形化l400以上以上, Fe3C開開始聚集長(zhǎng)大。始聚集長(zhǎng)大。l450 以上鐵素體以上鐵素體發(fā)生多邊形化,由發(fā)生多邊形化,由針片狀變?yōu)槎噙呅吾樒瑺钭優(yōu)槎噙呅?l這種在多邊形鐵素這種在多邊形鐵素體基體上分布著顆體基體上分布著顆粒狀粒狀Fe3C的組織稱回火索氏體,用的組織稱回火索氏體,用S回回表示。表示。 三、回火脆性三、回火脆性 淬火鋼的韌性并淬火鋼的韌性并不總是隨溫度升不總是隨溫度升高而提高。高而提高。 在某些溫度范圍在某些溫度范圍內(nèi)回火時(shí),會(huì)出內(nèi)回火時(shí),會(huì)出現(xiàn)沖擊韌性下降現(xiàn)沖擊韌性下降的現(xiàn)象,稱的現(xiàn)象,稱回火回火脆性脆性。 1、第一類回火脆性、第一類回火脆
45、性 又稱又稱不可逆回火脆性不可逆回火脆性。是指淬火鋼在是指淬火鋼在250-350回火回火時(shí)出現(xiàn)的脆性時(shí)出現(xiàn)的脆性。l這種回火脆性是不可這種回火脆性是不可逆的,只要在此溫度逆的,只要在此溫度范圍內(nèi)回火就會(huì)出現(xiàn)范圍內(nèi)回火就會(huì)出現(xiàn)脆性,目前尚無有效脆性,目前尚無有效消除辦法。消除辦法。l回火時(shí)應(yīng)避開這一溫回火時(shí)應(yīng)避開這一溫度范圍。度范圍。 2、第二類回火脆性、第二類回火脆性 又稱又稱可逆回火脆性可逆回火脆性。是指是指淬火鋼在淬火鋼在500-650范圍內(nèi)范圍內(nèi)回火后緩冷時(shí)出現(xiàn)的脆性回火后緩冷時(shí)出現(xiàn)的脆性. 回火后快冷不出現(xiàn),是可回火后快冷不出現(xiàn),是可逆的。逆的。 防止辦法:防止辦法: 回火后快冷?;鼗?/p>
46、后快冷。l 加入合金元素加入合金元素W (約約1%)、 Mo(約約0.5%)。該法更該法更適用于大截面的零部件。適用于大截面的零部件。 四、回火種類四、回火種類 根據(jù)鋼的回火溫度范圍,可將回火分為三類。根據(jù)鋼的回火溫度范圍,可將回火分為三類。 淬火加高溫回火的熱處理稱作淬火加高溫回火的熱處理稱作調(diào)質(zhì)處理調(diào)質(zhì)處理,簡(jiǎn)稱,簡(jiǎn)稱調(diào)調(diào)質(zhì)質(zhì).廣泛用于各種結(jié)構(gòu)件如軸廣泛用于各種結(jié)構(gòu)件如軸、齒輪等熱處理。也可作、齒輪等熱處理。也可作為要求較高精密件、量具為要求較高精密件、量具等預(yù)備熱處理。等預(yù)備熱處理。 適用于各種高碳適用于各種高碳鋼、滲碳件及表鋼、滲碳件及表面淬火件。面淬火件。 應(yīng)用應(yīng)用獲得良好的綜合力學(xué)
47、性能獲得良好的綜合力學(xué)性能,即在保持較高的強(qiáng)度同即在保持較高的強(qiáng)度同時(shí),具有良好的塑性和韌時(shí),具有良好的塑性和韌性性。 提高提高 e及及 s,同時(shí)使工件具有同時(shí)使工件具有一定韌性一定韌性 。在保留高硬度、在保留高硬度、高耐磨性的同時(shí)高耐磨性的同時(shí),降低內(nèi)應(yīng)力,降低內(nèi)應(yīng)力。 回火目的回火目的S回回 T回回 M回回 回火組織回火組織500-650350-500150-250 回火溫度回火溫度 高溫回火高溫回火 中溫回火中溫回火 低溫回火低溫回火 適用于適用于彈簧熱處理彈簧熱處理第七節(jié)第七節(jié) 鋼的表面處理和化學(xué)熱處理鋼的表面處理和化學(xué)熱處理一、鋼的表面熱處理一、鋼的表面熱處理 表面熱處理表面熱處理是
48、指在不改變鋼或零件表面的化學(xué)成分是指在不改變鋼或零件表面的化學(xué)成分及心部組織情況下,利用快速加熱將表層奧氏體化及心部組織情況下,利用快速加熱將表層奧氏體化后進(jìn)行淬火以強(qiáng)化零件表面的熱處理方法。后進(jìn)行淬火以強(qiáng)化零件表面的熱處理方法。感應(yīng)加熱感應(yīng)加熱感應(yīng)加熱感應(yīng)加熱表面淬火表面淬火示意圖示意圖 1、表面淬火常用加熱方法表面淬火常用加熱方法 感應(yīng)加熱感應(yīng)加熱: 利用交變電利用交變電流在工件表面感應(yīng)巨大渦流在工件表面感應(yīng)巨大渦流,使工件表面迅速加熱流,使工件表面迅速加熱的方法。的方法。 感應(yīng)加熱分為:感應(yīng)加熱分為: 高頻感應(yīng)加熱高頻感應(yīng)加熱 頻率為頻率為250-300KHz,淬硬層深度淬硬層深度0.5
49、-2mm傳動(dòng)軸連續(xù)淬傳動(dòng)軸連續(xù)淬火感應(yīng)器火感應(yīng)器感應(yīng)加熱表面淬火齒輪的截面圖感應(yīng)加熱表面淬火齒輪的截面圖 中頻感應(yīng)加熱中頻感應(yīng)加熱 頻 率 為頻 率 為 2 5 0 0 -8000Hz,淬硬層,淬硬層深度深度2-10mm。各種感應(yīng)器各種感應(yīng)器中頻感應(yīng)加熱表面淬火的機(jī)車凸輪軸中頻感應(yīng)加熱表面淬火的機(jī)車凸輪軸 工頻感應(yīng)加熱工頻感應(yīng)加熱頻率為頻率為50Hz,淬硬淬硬層深度層深度10-15 mm各種感應(yīng)器各種感應(yīng)器感應(yīng)穿透加熱感應(yīng)穿透加熱 2、 火焰加熱火焰加熱: 利用乙炔火焰利用乙炔火焰直接加熱工件表面的方法。直接加熱工件表面的方法。成成本低,但質(zhì)量不易控制。本低,但質(zhì)量不易控制。 3、 激光熱處理
50、激光熱處理: 利用高能量利用高能量密度的激光對(duì)工件表面進(jìn)行加密度的激光對(duì)工件表面進(jìn)行加熱的方法。熱的方法。效率高,質(zhì)量好。效率高,質(zhì)量好?;鹧婕訜岜砻娲慊鹗疽鈭D火焰加熱表面淬火示意圖激光表面熱處理激光表面熱處理火焰加熱表面淬火火焰加熱表面淬火二、鋼的化學(xué)熱處理二、鋼的化學(xué)熱處理 它是將零件放在一定的活性介質(zhì)中加熱和保溫,使它是將零件放在一定的活性介質(zhì)中加熱和保溫,使介質(zhì)中的活性原子滲入零件表層,從而介質(zhì)中的活性原子滲入零件表層,從而改變表層的改變表層的化學(xué)成份、組織和性能化學(xué)成份、組織和性能的工藝方法。的工藝方法。 根據(jù)滲入元素不同,化學(xué)熱處理分為根據(jù)滲入元素不同,化學(xué)熱處理分為滲碳、碳氮共滲
51、碳、碳氮共滲、滲滲、滲S、B、金屬、金屬等等 1、鋼在奧氏體狀態(tài)的化學(xué)熱處理、鋼在奧氏體狀態(tài)的化學(xué)熱處理 (1)滲碳)滲碳 是向鋼的表面滲入碳原子過程,滲碳使工件表面是向鋼的表面滲入碳原子過程,滲碳使工件表面C,具有高硬度和耐磨性,心部塑性、韌性,具有高硬度和耐磨性,心部塑性、韌性氣體滲氣體滲C法法固體滲固體滲C法法液體滲液體滲C法法(高溫氰化)(高溫氰化)900-950 氣體滲劑氣體滲劑煤油煤油甲醇甲醇+丙酮丙酮900-950 固體滲劑固體滲劑碳粒碳粒+ +碳酸碳酸(BaCO3,Na2CO3)木炭粉木炭粉NaCl+KCl+Na2CO3化學(xué)反應(yīng)中有氰鹽化學(xué)反應(yīng)中有氰鹽氰化鹽浴爐氰化鹽浴爐 (2
52、)碳氮共滲)碳氮共滲 向鋼的表面同時(shí)滲入碳、氮的過程,也稱向鋼的表面同時(shí)滲入碳、氮的過程,也稱氰化氰化。早期是在含有。早期是在含有氰鹽的鹽浴中進(jìn)行,表面硬度高,滲層較深,硬度變化平緩,氰鹽的鹽浴中進(jìn)行,表面硬度高,滲層較深,硬度變化平緩,具有良好的耐磨性和較小的表面脆性。具有良好的耐磨性和較小的表面脆性。常用常用中溫氣體碳氮共滲中溫氣體碳氮共滲T 700-880滲劑滲劑煤油煤油+氨氣氨氣煤氣煤氣+氨氣氨氣甲醇甲醇+丙烷丙烷+氨氨三乙醇胺或三乙醇胺三乙醇胺或三乙醇胺+20%尿素尿素T 滲層的碳量滲層的碳量 N 滲層厚度滲層厚度優(yōu)點(diǎn):優(yōu)點(diǎn):加熱加熱 變形下降變形下降 生產(chǎn)周期短,滲層耐磨性生產(chǎn)周期
53、短,滲層耐磨性 疲勞強(qiáng)度疲勞強(qiáng)度 抗壓強(qiáng)度抗壓強(qiáng)度 兼有一定的抗蝕能力兼有一定的抗蝕能力 低溫氣體碳氮共滲低溫氣體碳氮共滲(氣體軟氮化)(氣體軟氮化) T570 處理時(shí)間短處理時(shí)間短 滲劑:尿素滲劑:尿素 具有一定韌性,不易發(fā)生剝落現(xiàn)象具有一定韌性,不易發(fā)生剝落現(xiàn)象(3)滲硼)滲硼將工件置入滲將工件置入滲B介質(zhì)中,加熱至介質(zhì)中,加熱至800-1000,保溫,保溫1-6h,滲,滲B介質(zhì)分解活性介質(zhì)分解活性B原子滲入表面層,形成原子滲入表面層,形成Fe2B和和FeB,也有單一,也有單一的的Fe2B滲層。滲層。滲劑:滲劑:57-58%B4C,40%Al2O3,2-3%NH4Cl具有較高的耐磨性和良好
54、的耐熱性,滲具有較高的耐磨性和良好的耐熱性,滲B后可調(diào)質(zhì)處理。后可調(diào)質(zhì)處理。 2、鋼在鐵素體狀態(tài)下的化學(xué)熱處理、鋼在鐵素體狀態(tài)下的化學(xué)熱處理 在在TAc1,無基本相變前提下,將一種或多種元素滲入無基本相變前提下,將一種或多種元素滲入鋼件表層,鋼件表層,改變表面成分、組織與結(jié)構(gòu),達(dá)到耐磨改變表面成分、組織與結(jié)構(gòu),達(dá)到耐磨、減磨、抗疲勞、耐腐蝕、減磨、抗疲勞、耐腐蝕。 (1)滲)滲N 滲滲N是在是在TA1下使活性下使活性N原子滲入工件表面的化學(xué)熱原子滲入工件表面的化學(xué)熱處理處理 滲劑:滲劑:氨氣,氨氣, 2NH33H2+2N T: 550-570,保溫時(shí)間保溫時(shí)間20-50h,滲層,滲層0.6-0
55、.7mm,變,變形很小形很小 (2)離子)離子N化化 在低于一個(gè)大氣壓的滲在低于一個(gè)大氣壓的滲N氣氛中利用工件(陰極)和氣氛中利用工件(陰極)和陽極之間產(chǎn)生的輝光放電進(jìn)行滲陽極之間產(chǎn)生的輝光放電進(jìn)行滲N的工藝。的工藝。常在真空常在真空爐內(nèi)進(jìn)行爐內(nèi)進(jìn)行 T:550, 時(shí)間時(shí)間10-12h,滲層,滲層0.3mm,HRC 61 (3)滲)滲S 鋼鐵表面形成鋼鐵表面形成FeS薄膜,可達(dá)到降低摩擦系數(shù),抗咬薄膜,可達(dá)到降低摩擦系數(shù),抗咬合性合性 低溫電解滲低溫電解滲S T:150-250,滲劑:硫氰酸鹽(,滲劑:硫氰酸鹽(KCNS、NaCNS) 硫硫N共滲共滲 T:520-600,滲劑:無氰熔鹽中,滲劑
56、:無氰熔鹽中第八節(jié)第八節(jié) 熱處理技術(shù)條件及工序位置熱處理技術(shù)條件及工序位置一、熱處理技術(shù)條件的標(biāo)準(zhǔn)一、熱處理技術(shù)條件的標(biāo)準(zhǔn) 熱處理零件在圖樣上熱處理零件在圖樣上硬度(技術(shù)條件)硬度(技術(shù)條件) 滲滲C C標(biāo)準(zhǔn)滲標(biāo)準(zhǔn)滲C C層深度、滲層深度、滲C C部位、淬火和回火后硬度部位、淬火和回火后硬度 表面淬火零件表面淬火零件淬硬部位、淬硬層深度和硬度淬硬部位、淬硬層深度和硬度 硬度標(biāo)準(zhǔn)硬度標(biāo)準(zhǔn):HBHB為為30-4030-40個(gè)單位,個(gè)單位,HRCHRC為為5 5個(gè)左右(范個(gè)左右(范圍)圍) 熱處理技術(shù)條件熱處理技術(shù)條件:工藝名稱,如調(diào)質(zhì)、淬火、回火、:工藝名稱,如調(diào)質(zhì)、淬火、回火、高頻感應(yīng)加熱高頻感
57、應(yīng)加熱二、熱處理工序位置的安排二、熱處理工序位置的安排預(yù)備熱處理預(yù)備熱處理最終熱處理最終熱處理 1、預(yù)備熱處理、預(yù)備熱處理 作用作用:消除前一工序所造成的某些缺陷(內(nèi)應(yīng)力、:消除前一工序所造成的某些缺陷(內(nèi)應(yīng)力、晶粒粗大、組織不勻),為后續(xù)工序準(zhǔn)備條件晶粒粗大、組織不勻),為后續(xù)工序準(zhǔn)備條件 位置位置:安排在毛坯生成之后,切削加工之前,或粗:安排在毛坯生成之后,切削加工之前,或粗加工之后,精加工之前加工之后,精加工之前 退火、正火的工序位置退火、正火的工序位置 為消除毛坯的內(nèi)應(yīng)力、細(xì)化晶粒、均勻組織、改善為消除毛坯的內(nèi)應(yīng)力、細(xì)化晶粒、均勻組織、改善切削加工性能和為最終熱處理作準(zhǔn)備切削加工性能和
58、為最終熱處理作準(zhǔn)備安排在毛坯安排在毛坯生成之前生成之前 調(diào)質(zhì)的工序位置調(diào)質(zhì)的工序位置粗加工之后、半精加工之前粗加工之后、半精加工之前 目的是提高零件的綜合力學(xué)性能,為后續(xù)表面淬火目的是提高零件的綜合力學(xué)性能,為后續(xù)表面淬火作組織準(zhǔn)備作組織準(zhǔn)備 下料下料鍛造鍛造正火(退火)正火(退火)精加工(留等量)精加工(留等量)調(diào)質(zhì)調(diào)質(zhì)半精加工半精加工 2、最終熱處理、最終熱處理安排在磨削之前、半精加工之后安排在磨削之前、半精加工之后 淬火的工序位置淬火的工序位置a、整體淬火零件加工路線、整體淬火零件加工路線 下料下料鍛造鍛造退火(或正火)退火(或正火)粗、半精加工(留磨粗、半精加工(留磨量)量)淬火淬火回
59、火(低中溫)回火(低中溫)磨削磨削b、表面淬火零件(經(jīng)預(yù)先調(diào)質(zhì))加工路線、表面淬火零件(經(jīng)預(yù)先調(diào)質(zhì))加工路線 滲滲C淬火的工序位置淬火的工序位置 下料下料鍛造鍛造正火正火粗、半精加工(留磨量、局部不粗、半精加工(留磨量、局部不滲滲C處留防滲余量)處留防滲余量)滲滲C淬火淬火低溫回火低溫回火磨削磨削切去防滲切去防滲C余量余量淬火淬火低溫回低溫回火火磨削磨削 滲滲N的工序位置的工序位置盡量靠后盡量靠后 由于由于T 變形變形 氮化層硬而薄,滲氮化層硬而薄,滲N后不進(jìn)行磨削加工后不進(jìn)行磨削加工,個(gè)別的精磨和超精磨,個(gè)別的精磨和超精磨下料下料鍛造鍛造退火退火粗加工粗加工調(diào)質(zhì)調(diào)質(zhì)半精加工半精加工去應(yīng)去應(yīng)力
60、退火力退火粗磨粗磨滲滲N精磨和超精磨精磨和超精磨 三、熱處理工藝應(yīng)用舉例三、熱處理工藝應(yīng)用舉例 P108 例:連桿螺栓例:連桿螺栓 材料材料:40Cr鋼鋼 熱處理?xiàng)l件熱處理?xiàng)l件:263-322HBS 組織組織:回火索氏體,不許有塊狀鐵素體:回火索氏體,不許有塊狀鐵素體 工藝路線工藝路線:下料:下料鍛造鍛造退火(或正火)退火(或正火)粗加工粗加工調(diào)質(zhì)調(diào)質(zhì)精加工精加工第九節(jié)第九節(jié) 高聚物的改性高聚物的改性一、化學(xué)改性一、化學(xué)改性又稱結(jié)構(gòu)改性又稱結(jié)構(gòu)改性 1、共聚改性、共聚改性 指由指由2種或種或2種以上的單體通過共聚反應(yīng)而制得共聚物種以上的單體通過共聚反應(yīng)而制得共聚物 它和由同樣單體通過均聚反應(yīng)制
61、得的均聚物相比,由它和由同樣單體通過均聚反應(yīng)制得的均聚物相比,由于分子鏈的結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,引入新的結(jié)構(gòu)單元,從而于分子鏈的結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,引入新的結(jié)構(gòu)單元,從而改變了高聚物的性能改變了高聚物的性能 2、交聯(lián)改性、交聯(lián)改性 指使高聚物線型或支鏈型分子間,彼此交聯(lián)起來形成指使高聚物線型或支鏈型分子間,彼此交聯(lián)起來形成空間網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)空間網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)一、物理改性一、物理改性 1、摻雜改性、摻雜改性共混改性共混改性 指在高聚物中摻入低分子化合物或不同種類的高聚物指在高聚物中摻入低分子化合物或不同種類的高聚物,可以改善其性能,可以改善其性能 2、填充、增強(qiáng)改性、填充、增強(qiáng)改性 指為了滿足各種應(yīng)用領(lǐng)域?qū)π阅艿囊?,?/p>
62、需要加入指為了滿足各種應(yīng)用領(lǐng)域?qū)π阅艿囊?,常需要加入各種填充材料,以彌補(bǔ)樹脂本身性能的不足,從而改各種填充材料,以彌補(bǔ)樹脂本身性能的不足,從而改善高聚物的性能善高聚物的性能填充改性填充改性 增強(qiáng)改性增強(qiáng)改性指在高聚物中填充各種增強(qiáng)材料,以提高指在高聚物中填充各種增強(qiáng)材料,以提高機(jī)械強(qiáng)度,改善力學(xué)性能。機(jī)械強(qiáng)度,改善力學(xué)性能。3、復(fù)合改性、復(fù)合改性 高聚物可以和各種材料,如金屬、木材、水泥、高聚物可以和各種材料,如金屬、木材、水泥、橡膠以及各種纖維等復(fù)合。這種以熱塑性或熱固橡膠以及各種纖維等復(fù)合。這種以熱塑性或熱固性塑性為基體材料,與其它材料復(fù)合,從而改善性塑性為基體材料,與其它材料復(fù)合,從而
63、改善其性能的方法。其性能的方法。第十節(jié)第十節(jié) 材料的復(fù)合強(qiáng)化材料的復(fù)合強(qiáng)化 復(fù)合材料復(fù)合材料兩種以上宏觀材料組成的新材料兩種以上宏觀材料組成的新材料 性能改善性能改善:強(qiáng)度、剛度、耐腐蝕性、耐磨性、密度、強(qiáng)度、剛度、耐腐蝕性、耐磨性、密度、疲勞壽命、高溫力學(xué)性能、絕熱性與隔音性疲勞壽命、高溫力學(xué)性能、絕熱性與隔音性 顆粒增強(qiáng)顆粒增強(qiáng)承受主要載荷是基體承受主要載荷是基體 纖維增強(qiáng)纖維增強(qiáng)承受主要載荷是纖維承受主要載荷是纖維第十節(jié)第十節(jié) 表面處理新技術(shù)表面處理新技術(shù) 近年來,金屬材料表面處理新技術(shù)得到了迅速發(fā)展近年來,金屬材料表面處理新技術(shù)得到了迅速發(fā)展,開發(fā)出許多新的工藝方法,這里只介紹主要的幾
64、,開發(fā)出許多新的工藝方法,這里只介紹主要的幾種。種。 全方位離子注入與沉積設(shè)備全方位離子注入與沉積設(shè)備一、熱噴涂技術(shù)一、熱噴涂技術(shù) 將熱噴涂材料加熱至熔化或半熔化狀態(tài),用高壓氣將熱噴涂材料加熱至熔化或半熔化狀態(tài),用高壓氣流使其霧化并噴射于工件表面形成涂層的工藝稱為流使其霧化并噴射于工件表面形成涂層的工藝稱為熱噴涂熱噴涂。l利用熱噴涂技術(shù)可改善材利用熱噴涂技術(shù)可改善材料的耐磨性、耐蝕性、耐料的耐磨性、耐蝕性、耐熱性及絕緣性等。熱性及絕緣性等。l廣泛用于包括航空航天、廣泛用于包括航空航天、原子能、電子等尖端技術(shù)原子能、電子等尖端技術(shù)在內(nèi)的幾乎所有領(lǐng)域。在內(nèi)的幾乎所有領(lǐng)域。等離子熱噴涂等離子熱噴涂二
65、、氣相沉積技術(shù)二、氣相沉積技術(shù) 氣相沉積技術(shù)氣相沉積技術(shù)是指將含有沉積元素的氣相物質(zhì),通是指將含有沉積元素的氣相物質(zhì),通過物理或化學(xué)的方法沉積在材料表面形成薄膜的一過物理或化學(xué)的方法沉積在材料表面形成薄膜的一種新型鍍膜技術(shù)。種新型鍍膜技術(shù)。l根據(jù)沉積過程的原理根據(jù)沉積過程的原理不同,氣相沉積技術(shù)不同,氣相沉積技術(shù)可分為可分為物理氣相沉積物理氣相沉積(PVD) 和和化學(xué)氣相沉化學(xué)氣相沉積積(CVD)兩大類。兩大類。 1、物理氣相沉積(、物理氣相沉積(PVD) 物理氣相沉積是指在真空條件下,物理氣相沉積是指在真空條件下,用物理的方法,用物理的方法, 使材料汽化成原子、分使材料汽化成原子、分子或電離
66、成離子,并通子或電離成離子,并通過氣相過程,在材料表過氣相過程,在材料表面沉積一層薄膜的技術(shù)。面沉積一層薄膜的技術(shù)。l物理沉積技術(shù)主要包括物理沉積技術(shù)主要包括真空蒸鍍、濺射鍍、離真空蒸鍍、濺射鍍、離子鍍子鍍?nèi)N基本方法。三種基本方法。磁控濺射鍍膜設(shè)備磁控濺射鍍膜設(shè)備 物理氣相沉積具有適用的基體材料和膜層材料廣泛物理氣相沉積具有適用的基體材料和膜層材料廣泛;工藝簡(jiǎn)單、省材料、無污染;獲得的膜層膜基附;工藝簡(jiǎn)單、省材料、無污染;獲得的膜層膜基附著力強(qiáng)、膜層厚度均勻、致密、針孔少等優(yōu)點(diǎn)。著力強(qiáng)、膜層厚度均勻、致密、針孔少等優(yōu)點(diǎn)。 廣泛用于機(jī)械、航空航天、電子、光學(xué)和輕工業(yè)等廣泛用于機(jī)械、航空航天、電子、光學(xué)和輕工業(yè)等離子鍍產(chǎn)品離子鍍產(chǎn)品領(lǐng)域制備耐磨、領(lǐng)域制備耐磨、耐蝕、耐熱、導(dǎo)耐蝕、耐熱、導(dǎo)電、絕緣、光學(xué)、電、絕緣、光學(xué)、磁性、壓電、滑磁性、壓電、滑潤(rùn)、超導(dǎo)等薄膜。潤(rùn)、超導(dǎo)等薄膜。 2、化學(xué)氣相沉積、化學(xué)氣相沉積(CVD) 化學(xué)氣相沉積是指在一定溫度下,混合氣體與基體化學(xué)氣相沉積是指在一定溫度下,混合氣體與基體CVD設(shè)備設(shè)備表面相互作用而在基表面相互作用而在基體表面形成金屬或化體表面形成金屬
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