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1、 皮秒飛秒激光器 高功率皮秒 / 飛秒激光器開創(chuàng)應(yīng)用新天地 用超短脈沖激光實(shí)現(xiàn)冷消融、冷切割 和冷鉆孔，是二十多年來人們一直期望能夠在工業(yè)應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)的一個(gè)愿景。在過去十年間進(jìn)行的一些早期實(shí)驗(yàn)中，人們用鈦藍(lán)寶石放大器產(chǎn)生超快激光，這些實(shí)驗(yàn)已經(jīng)證明了超短激光脈沖在精密機(jī)械加工領(lǐng)域所擁有的巨大潛能。但是對于精密機(jī)械加工而言，到底多短的脈沖才能滿足精密加工的要求呢 , 當(dāng)激光脈沖作用到材料上時(shí)會(huì)發(fā)生怎樣的反應(yīng) , 對脈沖與材料的作用時(shí)間范圍有何要求 , 作用原理、作用時(shí)間、能量密度 以金屬對激光脈沖的吸收為例，其從根本上說是能量從激

2、光脈沖轉(zhuǎn)移到金屬材料的電子的一個(gè)能量轉(zhuǎn)移過程。對于持續(xù)時(shí)間為納秒級(jí)的脈沖而言，電子與所處晶格之間會(huì)發(fā)生一個(gè)溫度平衡過程，并且最終開始融化材料，直到部分蒸發(fā)。 在這個(gè)過程中，脈沖越短，能量轉(zhuǎn)移到電子的速度越快。在理想條件下，如果脈沖足夠短，那么在電子與晶格之間便沒有足夠的時(shí)間產(chǎn)生溫度平衡。接下來，“熱電子” ( 相對于冷晶格而言 ) 有兩種方式與晶格作用 : 在一個(gè)特征時(shí)間后，來自電子的熱量開始向周圍的晶格擴(kuò)散。這種電子 - 聲子弛豫時(shí)間是物質(zhì)的一種屬性，其典型值為 1~10ps。在大致相同的時(shí)間范圍內(nèi)，但稍有些延遲，熱電子和晶格之間發(fā)生了突然的能量轉(zhuǎn)移，從而導(dǎo)致相位爆炸，即激活體的蒸

3、發(fā)。 從上述解釋可以得出以下兩個(gè)基本結(jié)論 : 1、激光脈沖的持續(xù)時(shí)間必須足夠短，以防止電子與晶格之間發(fā)生溫度平衡過 程。對于金屬和大多數(shù)其他材料而言，均要求脈沖持續(xù)時(shí)間在 1~10ps 之間甚至更 短。 2、由于在熱擴(kuò)散和消融之間有一個(gè)時(shí)間延遲，因此始終會(huì)存有殘余熱量，即 使是在脈沖最短的情況下。 因此，冷加工必須定義為在最小的熱擴(kuò)散情況下進(jìn)行加工，這要求脈沖持續(xù)時(shí)間在 1~10ps 之間甚至更短。 雖然皮秒 / 飛秒激光脈沖較短的持續(xù)時(shí)間是冷加工的一個(gè)必要條件，但是光有足夠短的脈沖還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。如果熱電

4、子因?yàn)檫^高的激光能量密度而被“過度加 熱”，那么熱擴(kuò)散效應(yīng)將較為明顯，整個(gè)加工過程則會(huì)轉(zhuǎn)變?yōu)闊徇^程。一般來講，大約 1J/cm2 的能量密度，是用皮秒 / 飛秒激光脈沖進(jìn)行消融加工、而不會(huì)產(chǎn)生能夠測量得到的熱效應(yīng)的最佳能量臨界點(diǎn)，即此時(shí)具有最佳的低熱穿透深度。 線性吸收與非線性吸收 然而要實(shí)現(xiàn)最佳能量臨界點(diǎn)并非易事。除了上述提到的決定熱影響的因素外，光學(xué)穿透深度決定了激光脈沖的哪個(gè)部分在什么深度被吸收。 對于溫和消融而言，光穿透深度應(yīng)該在 1µm 的區(qū)域甚至更淺，這主要有三個(gè)原因 : 1、光穿透深度決定消融深度。深度太大的消融將不再被視為溫

5、和消融，因?yàn)? 其將導(dǎo)致粗糙的表面和邊緣，特別是對于硬而脆的材料而言，還會(huì)有微裂紋產(chǎn)生。 2、若光穿透深度過大，消融過程將變得效率低下，因?yàn)榇蠖鄶?shù)激光脈沖可能 不能被吸收，能量浪費(fèi)較大。 3、針對基底的選擇性消融材料 ( 如薄膜太陽能電池的絕緣體上的薄膜刻圖 ) ， 光的穿透深度過大可能造成基底材料的損害。 飛秒脈沖和皮秒脈沖的線性吸收所產(chǎn)生的影響往往被忽視，因?yàn)槊}沖的峰值功 率非常高，以至于貫穿多光子過程的非線性吸收相對于線性吸收來講占據(jù)了主導(dǎo)地 位。如果上述情況的脈沖持續(xù)時(shí)間和能量密度的邊界條件都得以滿足，那么這種說

6、 法往往會(huì)產(chǎn)生誤導(dǎo)。 為了直觀地說明這一點(diǎn)，圖 1 給出了硅對能量密度為 1J/cm2 的脈沖的吸收曲 線。 對于持續(xù)時(shí)間為 6ps 甚至是更寬的脈沖，線性吸收都絕對超過非線性吸收占 據(jù)了主導(dǎo)地位。即使脈沖持續(xù)時(shí)間為 500 fs ，這種狀況也不會(huì)改變 : 非線性吸仍然 非常低，以至于無法達(dá)到想要的 1μm級(jí)的光穿透深度。 圖 1 硅對能量密度為 1J/cm2 的激光脈沖的吸收曲線 對于脈沖持續(xù)時(shí)間為 6ps 的脈沖 ( 左圖 ) ，線性吸收超過了非線性吸收占據(jù)主導(dǎo)地位。即使持續(xù)時(shí)間為 500fs( 右圖

7、 ) 的脈沖，其非線性吸收也非常，以至于無法達(dá)到想要的 1μm級(jí)的光學(xué)穿透深度。 選擇一個(gè)紫外波長，使理論上的最佳性能與實(shí)踐中的 ( 如用于硅片切割 ) 相同。 出于某種目的，在加工硅片中，使用綠光波長可能就足以滿足要求。 具有適當(dāng)能量密度與波長的飛秒脈沖及皮秒脈沖，適合用于那些要求熱影響非常小的材料加工應(yīng)用。此外，對于皮秒脈沖的持續(xù)時(shí)間而言，產(chǎn)生這些脈沖的技術(shù)方法可以大大簡化。無需啁啾脈沖放大 (CPA)的直接二極管泵浦和放大 ( 功率調(diào) 整 ) ，對于超短脈沖技術(shù)在工業(yè)市場的成功，是非常必需的。事實(shí)上，對于工業(yè)微 加工領(lǐng)域一種具有成本效益的應(yīng)用而言

8、，必須將平均輸出功率增加到 50W甚至更高。 光纖與碟片的結(jié)合 20 世紀(jì) 70 年代棒狀激光器 ( 開始是燈泵浦后來是二極管泵浦 ) 問世。在超越高平均功率對光束質(zhì)量限制的同時(shí)，棒狀激光器、二極管泵浦碟片激光器技術(shù)均在 20 世紀(jì) 90 年代獲得了長足發(fā)展，使其成為了工業(yè)領(lǐng)域千瓦級(jí)連續(xù)應(yīng)用最可靠的技 術(shù)選擇。 光纖激光器技術(shù)和碟片激光器技術(shù)比傳統(tǒng)的棒狀激光器技術(shù)更為優(yōu)越，因?yàn)樗? 們采用了比激光激活體更大的散熱面，使 TEM00連續(xù)運(yùn)作的功率水平能達(dá)到 500W 甚至更高。在同等的亮度下，細(xì)小的光纖芯徑使得光纖激光器內(nèi)的激光強(qiáng)度要遠(yuǎn)

9、遠(yuǎn) 高于碟片激光器。 然而，當(dāng)放大皮秒脈沖和飛秒脈沖時(shí)，高光強(qiáng)會(huì)導(dǎo)致非線性效應(yīng)，如自相位調(diào) 制或拉曼散射，這需要在超快光纖放大器中增加復(fù)雜的啁啾脈沖放大，或?qū)⒖色@得 的最大脈沖能量限制在 6μJ甚至更低。用碟片激光器技術(shù)作為皮秒脈沖的放大 器，能夠?qū)崿F(xiàn)高峰值功率 ( 高達(dá) 100MW)和低光強(qiáng)，并且不會(huì)產(chǎn)生非線性效應(yīng)。 為了實(shí)現(xiàn)具有高脈沖能量 ( 高達(dá) 250μJ) 和高平均功率 ( 高達(dá) 100W)的皮秒激光 器，需要使用具有以下獨(dú)特配置的主振功率放大器 : 一個(gè)基于電信組件的被動(dòng)鎖模 光纖激光器，作

10、為一個(gè)單片集成的、具有成本效益的、可靠的光源，用于低功率和 低脈沖能量皮秒脈沖的產(chǎn)生。 利用碟片激光器將光纖激光器的輸出功率放大 5 個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到紅外功率超過 100W，綠光功率達(dá)到 60W，脈沖頻率范圍 200~800kHz，無需使用復(fù)雜 的啁啾脈沖放大器。即使在這些功率水平，也能實(shí)現(xiàn) M2<1.3 的卓越光束質(zhì) 量。此外，對于激光器的每個(gè)可選的參數(shù)組合，其輸出光束質(zhì)量均能保持上述水 平。 到達(dá)工件的功率 利用超快激光實(shí)現(xiàn)精細(xì)加工，最主要的任務(wù)是操縱激光束，并將激光功率轉(zhuǎn)換 成最大的生產(chǎn)效率和質(zhì)量。整個(gè)加工

11、過程需要充分考慮工件的幾何特征以及加工精 度等要求，構(gòu)建最終的加工系統(tǒng)。該系統(tǒng)將需要一套的光學(xué)元件，如掃描儀、 F- Theta 透鏡、聚焦元件、波片、穿孔光學(xué)元件，以及許多其他元件。 整個(gè)加工過程還需要考慮線性或旋轉(zhuǎn)加工。無論是最先進(jìn)的線性加工，還是掃 描儀，都沒有動(dòng)態(tài)應(yīng)用超過 1MHz的脈沖頻率，盡管激光技術(shù)可能為這方噴油嘴鉆 孔 生產(chǎn)節(jié)油、低排放的發(fā)動(dòng)機(jī)，是汽車行業(yè)面臨的一個(gè)重大挑戰(zhàn)，解決這個(gè)問題 的關(guān)鍵是實(shí)現(xiàn)更加清潔的燃料燃燒，這個(gè)問題可以通過優(yōu)化燃油噴嘴來實(shí)現(xiàn)。 用高功率皮秒激光器鉆孔噴油嘴，

12、產(chǎn)生了非常尖銳的邊緣，孔內(nèi)沒有毛刺或熔 化，表面非常光滑，從而能實(shí)現(xiàn)最優(yōu)化的燃料噴霧。此外，噴油嘴的錐度可以從正 值、零值到負(fù)值，為優(yōu)化噴射過程提供了一定的自由度。 50W的平均功率與高達(dá) 250μJ的脈沖能量相結(jié)合，能夠?qū)崿F(xiàn)高速、高質(zhì)量的鉆孔  ( 見圖  2) 。 圖 2 用高功率皮秒激光器和螺旋鉆孔光學(xué)元件進(jìn)行噴油嘴的鉆孔，  產(chǎn)生的無 毛刺和光滑的孔 半導(dǎo)體晶圓切割 目前，從一塊硅片上分離出計(jì)算機(jī)芯片的最先進(jìn)的方法是用金剛石鋸切割。然而薄硅片非常易碎，這回也是金剛石鋸切割所面

13、臨的一大挑戰(zhàn)。由于存在機(jī)械接觸，晶圓在鋸割的過程中必須非常小心謹(jǐn)慎，以避免破壞晶圓或是在切割邊緣產(chǎn)生破損。 皮秒激光器與高速和精密線性加工相結(jié)合，可作為一種非接觸式工具實(shí)現(xiàn)比金 剛石鋸更快速的晶圓切割。使用皮秒脈沖激光器的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是 : 其能實(shí)現(xiàn)更高的 切割質(zhì)量以及可以忽略的熱影響區(qū)，這樣切割邊緣將具有更高的強(qiáng)度，這對于晶圓 在下一個(gè)處理步驟中保持良好的機(jī)械負(fù)荷非常重要 (見圖 3) 圖 3 用皮秒脈沖激光器切割半導(dǎo)體晶圓，不但能提高生產(chǎn)量，  還能改善切割 質(zhì)量，并且切割邊緣具有更大的強(qiáng)度 心血管支架切

14、割 心血管支架制造商正在試圖利用高分子材料的優(yōu)勢，例如可吸收性。使用連續(xù)光纖激光器或固體激光器實(shí)現(xiàn)的最先進(jìn)的激光聚變切割，只適用于切割金屬支架，并且會(huì)產(chǎn)生融化和毛刺，這將需要昂貴的后續(xù)處理過程，同時(shí)也降低了產(chǎn)量。 選擇適當(dāng)?shù)牟ㄩL、切割元件和旋轉(zhuǎn)加工，皮秒激光器能實(shí)現(xiàn)與熔融切割相匹敵的切割速度，并在切割質(zhì)量方面具有明顯優(yōu)勢，能將后續(xù)處理降低到最低程度，進(jìn)而提高生產(chǎn)量。此外，相同的皮秒激光器可用于切割聚合物及 其他非金屬支架，能實(shí)現(xiàn)較高的切割速度與切割質(zhì)量，使其成為用于醫(yī)療設(shè)備制造的一種具有潛力的切割工具 ( 見圖 4) 。 圖 4 用于

15、心血管支架和其他醫(yī)療設(shè)備的主要材料 適當(dāng)?shù)牟ㄩL、切割元件和旋轉(zhuǎn)加工，能使皮秒激光器實(shí)現(xiàn)高速切割，并且能獲得較高的高分子材料切割質(zhì)量，這些材料是開發(fā)出來用于心血管支架和其他醫(yī)療設(shè)備的主要材料。 顯示器玻璃切割 顯示器制造商正在尋找新的切割解決方案，要求切割后玻璃的邊緣具有較高的強(qiáng)度。此外，顯示行業(yè)的發(fā)展趨勢正在向超薄玻璃和化學(xué)硬化覆層玻璃發(fā)展，并且需要靈活的形狀以實(shí)現(xiàn)時(shí)尚設(shè)計(jì)。 與硅類似，玻璃是一種脆性硬質(zhì)材料。最先進(jìn)的顯示器玻璃切割是通過機(jī)械劃線實(shí)現(xiàn)的。這種方法產(chǎn)生的切割邊緣通常會(huì)有裂縫和碎屑，并且切割邊緣的強(qiáng)度較差，這使得邊緣打磨成為一個(gè)必不可少的后續(xù)步驟。打磨步驟的必要性不僅限制了玻璃結(jié)構(gòu)的靈活性，而且也限制了玻璃的厚度。 經(jīng)過多年的應(yīng)用開發(fā)，皮秒激光器已經(jīng)在移動(dòng)顯示器的批量生產(chǎn)中實(shí)現(xiàn)了較大突破 ( 見圖 5) ，不僅切割邊緣質(zhì)量有了提高，而且還實(shí)現(xiàn)靈活的幾何形狀。皮秒激光器已經(jīng)成為切割超薄玻璃以及硬化玻璃的一種功能強(qiáng)大的工具。 圖 5 皮秒激光器能用于切割多種玻璃，包括超薄玻璃和用于移動(dòng)顯示器和平板電腦的硬化玻璃