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1、光電技術應用 EL ECTRO - OPTIC TECHNOLOGY APPLICATION 第25卷第3期 2010年6月 Vol. 25 ?No. 3 June. 2010 光電器件與材料? 王俠,歐陽竣，李蘇 (中國電子科技隼團公司第三十四研究所?廣西桂林541004) :將半導體激光二級管(LD)發(fā)出的光更髙效地注入到光纖中是光纖激光器與光纖放大器研究的先決條件半導體 激光二級管包括二極管單管、條形巴、二維堆棧和二極管陣列等?其各自的耦合技術之間有聯(lián)系也有區(qū)別?分析介紹了有代表 性的柱狀楔形法、V型槽法、微透鎮(zhèn)法竽二極管單管與光纖的耦合技術:光纖束耦合法、光束整形

2、法等二極管條形巴與光纖的 耦合技術:以及二極管二維堆棧和二極管陣列與光纖的耦臺技術等各種光纖耦合技術?比較了這些方法之間的共通點.供今 后的研究人員選擇利參號. :激光二極管：光纖耦合：光纖束:光纖列陣:V型槽:預準直 :TN313+.4 : A :1673 ? 1255(2010)03 ? 0026 ? 07 Coupling Technology of LD and Optical Fiber WAN G Xia .OU YAN G Hong ,LI Su f China Electronics Technology Group Corporation NO. 34 th Res

3、earch Institute 9 Guilin 541004. China ) Abstract injecting light from laser diode (LD) into fiber is the precondition of researching fiber optical laser and fiber optical amplifier? Single-tube diode , LD bar, LD two-dimensional stack and LD array all belong to LD , their coupling technologies are

4、 different and related. This paper introduces and analyzes the representative LD tubes coupling technology such as cylindrical wedge method . V-groove method t micro-lens method; LD bars coupling technology such as optical fiber bundle coupling method , beam shaping method : and coupling technology

5、of LD 2D stack and LD array with optical fiber. The common points of these methods are compared for the choice and reference of future researchers? Key \wrds daser diode (LD) ; fiber coupling ; fiber bundle: fiber array ; V-grooves; pr(r colli mating 1994-2010 China Academic Journal Electronic Pu

6、blishing House. All rights reserved, 光電技術應用 EL ECTRO - OPTIC TECHNOLOGY APPLICATION 第25卷第3期 2010年6月 Vol. 25 ?No. 3 June. 2010 1994-2010 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved, 光電技術應用 EL ECTRO - OPTIC TECHNOLOGY APPLICATION 第25卷第3期 2010年6月 Vol

7、. 25 ?No. 3 June. 2010 :2010- 05 - 07 :廣西自然科學基金項目資助(2O1OGXNSFAO13I31) :王俠(1981-八女?工程師?江蘇澡陽人.雙學士學位.研究方向為光通信技術?光纖激光黯和光纖放大器? 光纖和能與光纖配套使用的激光器是構建光通 信系統(tǒng)和光纖激光器系統(tǒng)的先決條件?半導體激光 器?特別是半導體激光二極管(LD)可直接作為光通 信用光源?也可作為激光器、放大器的泵浦源在激光 工程研究領域有著十分重要的地位?隨著光纖激光 器輸出功率的進一步提高，一個高功率光纖激光系 統(tǒng)往往需要多個LD提供足夠的泵浦功率?于是?將 LD發(fā)出的光

8、高效地耦合進光纖，以及將眾多的泵 浦光束高效地合成一束已成為光纖激光器研究的重 要問題?引起了國內(nèi)外激光器研究者及制造商的重 視?光纖耦合技術包括LD與輸出尾纖的耦合技 術”和“泵浦激光器尾纖與光纖激光器光纖的耦合技 術”等?相對來說LD與輸出尾纖的耦合技術”方法 更多?形式更靈活?有些技術稍加延伸就可推廣應用 在“泵浦激光器尾纖與光纖激光器光纖”的耦合中. 因此,文中論述的重點放在"LD與輸出尾纖的耦合 技術”上?如無特殊強調(diào)，文中一律以“光纖耦合技 術”代之. 半導體激光二極管(LD)包括二極管單管 (Tube)、條形巴(Bar) x二維堆棧(Stack)以及二極管 1994-20

9、10 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved, 第3期 壬俠竽:半導體澈光一極管的光纖輻合技術 29 陣列(Array)等?隨著光纖激光器和光纖放大器研究 的不斷深入和制作工藝的不斷提高.各種更新穎的 想法和更先進的光纖耦合技術層出不窮，文中細致 比較了國內(nèi)外各種光纖耦合技術的研究現(xiàn)狀.總結 尋找出各種光纖耦合技術之間的規(guī)律?供今后的研 究人員選擇和參考. 1二極管單管與光纖的耦合技術 二極管單管結構相對簡單?功率較小，發(fā)光元 基本上只有一個?但同樣存在光束質(zhì)量差?快軸、慢

10、 軸發(fā)散性差異大等問題?要想高效的將二極管單管 的出射激光耦合進光纖，仍需采用一些特殊技術. 1.1 為提髙光纖耦合技術的耦合效率和失配容忍 度.可用帶柱狀楔形微透鏡的多模光纖與大功率單 片式LD進行耦合.有關實驗表明.該方法可得到最 高為87.06%的耦合效率⑴. 柱狀楔形光纖微透鏡是近年出現(xiàn)的一種新型光 纖微透鏡?首先在光纖端頭通過研磨和拋光等機械 加工得到楔形角?然后在楔角頂端繼續(xù)通過研磨加 工得到柱狀微透鏡柱狀楔形光纖微透鏡通過楔角 和柱狀透鏡的組合來對發(fā)散角比較大的半導體激光 光束快軸方向整形?激光光束慢軸方向發(fā)散角較小. 滿足正弦值小于數(shù)值孔徑的限制?對這個方向上的 出射光束

11、不必整形即可順利耦合?圖1所示為柱狀 楔形微透鏡光纖與LD耦合系統(tǒng)結構示意圖. 與此原理類似的耦合方法還包括球狀光纖耦合 法㈢和傘狀光纖耦合法等這類耦合方法的工 作原理都是増大光纖對激光的接收角?就目前的文 獻資料來看?柱狀楔形微透鏡光纖耦合法的耦合效 率最高?同時?該方法經(jīng)仔細設計還有望用于寬發(fā)射 域半導體激光器及高功率二極管Bar條與光纖的耦 合系統(tǒng)中. 1.2 V 不同于柱狀楔形微透鏡光纖耦合法?VSP(V? groove side-pumping)技術是一種側面耦合系統(tǒng).有 資料顯示法國Keopsys公司利用該技術結合雙包層 有源光纖?已實現(xiàn)了 20 W的光纖激光輸出.其

12、原理 如圖2所示:在雙包層光纖的內(nèi)包層上加工出V型 結構?使激光二極管發(fā)射的泵浦光從側面垂直入射 后?經(jīng)V型槽側面反射進入內(nèi)包層中傳播. 2 V 該方法應用靈活?可將多個二極管激光器耦合 在同一根光纖上,有利干實現(xiàn)高功率激光輸出?但該 方法也存在如下缺點： (1) 加工工藝較為復雜:光纖內(nèi)包層直徑一般都 很小,需要特殊工具加工出V型槽結構?切割成形 后還需要對加工表面進行拋光處理?技術難度大. (2) 對激光二極管的對準精度要求很高:微小的 誤差都會嚴重影響泵浦耦合效率?不僅調(diào)試困難?而 且環(huán)境適應性差. (3) 單元泵浦功率一般只有瓦級.采用這種技術 研制的光纖激光器功率也

13、校小. 可能正是基于以上因素?這種耦合方法國內(nèi)采 用的并不多. 1.3 圖3所示為一種多LD單管與單根光纖的耦合 結構圖?其工作原理是先用一組準直器(collimators) 將每個LD單管發(fā)出的光束在快軸方向上進行預壓 縮?再用一組反射鏡(lsl mirrors)將準直后的激光束 按一定角度反射到反射鏡2上(2nd mirror) ?使這 10條光束排列成如圖4所示的緊密結構的類圓形 光束.之后再由一組透鏡(Focusing lens)將這組光束 聚焦耦合到一根光纖中去. 此結構簡單明了 .便于理解和實現(xiàn)?其設計思胳 還可被用在二極管條形巴與光纖的耦合技術以及二 極管陣列與光纖的耦合

14、技術中?但此類耦合方法仍 然存在耦合效率不穩(wěn)定?系統(tǒng)調(diào)節(jié)復雜等問題?下文 將進行詳細分析. 19 >? X/ (15O/2MJ m 1 X(). 087 2r,<1 mirror Focusing len^ Output fiber I11 mirrors collimators 1.1) chips 3 4 LD 5 (Bar) 19x3. 14 X7AlmXO.Q87_4O2 42 0. 97Qu m ~ 針對這種情況?以下各種二極管條形巴與輸出 尾纖的耦合技術應運而生 2二極管條形巴（Bar）與光纖的耦合 2. 1 技術 大功率二極管Bar條的光束質(zhì)

15、量很差.在2個 方向上的發(fā)散性差異也很大?通常由19個（或49 個）發(fā)光元組成?每個發(fā)光元面積為150M m XI p m , 發(fā)光元間距為500# m（即陣列總長為I cm）.出射激 光在快軸方向上的發(fā)散角＜40,慢軸方向上的發(fā)散 角v 10.圖5所示為一個典型的輸出功率數(shù)十瓦的 Bar，它由19個發(fā)光元組成.其光束質(zhì)量為 只 XH1/2丿cm/ XH10/2丿/180 XI/ _ 3. 14 X5 mm X0. 087 970 mm =，4H 這樣差的光束質(zhì)量，不僅無法直接應用.而且無 法用簡單的透鏡耦合法直接耦合到一根直徑小于4 mm.NA =0.22的光纖中（若要用簡單的透鏡耦

16、合 法直接將Bar條發(fā)出的光耦合進一根光纖.必須滿 足；今NA.丿 需要注意的是?上述計算中包含了 LD發(fā)光元 之間的間隙對光束質(zhì)量的影響?如果剔除間隙的影 響?則有 圖6所示為早期采用的一種光纖束的耦合方 法?目前有過文獻報道的采用該方法的單位包括中 科院半導體所^Coherent和SDL等. 6 光纖束耦合法是在輸入端將耦合光纖排列成具 有固定周期的光纖列陣?使列陣中的光纖一一對應 于組成Bar的數(shù)十個LD發(fā)光元，在經(jīng)過快軸成像 之后?將每個發(fā)光元的光耦合進一根光纖.在輸出 端?以上數(shù)十根光纖將排列成圓形的光纖束（排列原 則與2. 3節(jié)光束的排列原則一樣.都是要排成一個 密

17、結構”）?必要時還可在光纖束的輸出端進一步對 接另一根單芯光纖.但這就要求有很好的對接光學 系統(tǒng).目前已在Coherent和SDL的產(chǎn)品中發(fā)現(xiàn)有進 一步的對接操作. 光纖束耦合法的優(yōu)點是思路簡單明了 ?剔除了 LD發(fā)光元之間的間隙對整體光束質(zhì)量的影響，耦 合效率高?缺點是光纖束的直徑、或對接的光纖的芯徑通常會比較粗?光纖輸出亮度的極限低.若要得到 更小的輸出截面.單根光纖的芯徑就必須很細.因 此.Bar的數(shù)十個LD發(fā)光元在慢軸方向上常常也 必須單個地聚焦進光纖?若能結合2. I節(jié)中提到的 柱狀楔形光纖耦合法、球狀光纖耦合法等二極管單 管與光纖的耦合技術?提高每一個發(fā)光元與對應光 纖的耦合效

18、率?則光纖束法的整體耦合效率還可有 較大幅度的提高?根據(jù)中科院長春光機所①、吉林 大學⑹以及河南大學⑺2006年的相關文獻報道?利 用微球透鏡光纖列陣技術的光纖束耦合法可將最大 耦合效率提高到80 %以上. 其中中科院長春光機所的做法是將19根芯徑 均為200 m的光纖的端面分別焙融拉錐成具有相 同直徑的微球透鏡?利用V形槽精密排列，排列周 期等于二極管Bai■條各發(fā)光單元的周期?將微球透 鏡光纖列陣直接對準二極管Bar條的19個發(fā)光單 元?精密調(diào)節(jié)兩者之間的距離，使耦合輸出功率達到 最大?通過微球透鏡光纖列陣從各個方向壓縮激光 束的發(fā)散角?有效實現(xiàn)對激光束的整形和壓縮?中科 院長春光機所通

19、過該方法用數(shù)值孔徑為0. 16的光 纖實現(xiàn)了 30 W的激光輸出.最大耦合效率大于 80 %.圖7和圖8分別是他們所使用的微球透鏡光 纖結構示意圖以及二極管Bar條與微球透鏡光纖列 陣耦合結構簡圖. 7 河南大學的做法是用一段直徑為600M m的裸 石英光纖代替柱透鏡對LD輸出光束進行準直整 形?再用微球透鏡光纖對光束進行聚焦后直接實現(xiàn) 和光纖耦合?耦合效率也在80 %左右.圖9為其實 驗裝置示意圖. 微球透 一極管 ()1 (- Bar條 裸石 1~五維 英光纖 調(diào)芳價 9 廠商 規(guī)格 單根最大 輸入功率/ W 轉換效率/ %

20、 回波損料 /dB 輸入光纖參數(shù) 纖芯直徑/包層直徑/ m 輸出光纖參數(shù) 纖芯直徑/包層直徑川m SIFAM 3 XI 15 >90 >40 105/125 125 或 200 7 XI 15 >90 >40 105/125 125 或 200 7 XI 10 >90 45 105/125 125 ITF 7 XI 10 >93 45 105/125 20/400 7 XI 25 >93 45 200/220 20/400 Nufern 7 XI 50 >93 9 ■ 200/220 20/400

21、 19 XI 15 >93 ? 105/125 20/400 深圳朗光 7 XI 15 9 9 ■ 105/125 200/ 230 光纖束耦合法結構簡單明了 ?便于理解和實現(xiàn). 其耦合輸入端和輸出端應用的光纖列陣和光纖束的 設計思路還分別被二極管陣列與光纖的耦合技術以 及多根光纖和一根光纖的耦合技術所借鑒?比如?現(xiàn) 有部分高功率N XI的光纖耦合器(Combiner)就是 將多根光纖排列成如圖6所示的密結構.再采用熔 融拉錐法(fused biconical tiiper .簡稱FBT)將其拉制 成與后繼光纖匹配的幾何尺寸?制成N XI的光纖 耦合器?實

22、現(xiàn)將多根光纖的輸出光耦合到一根光纖 中的目的耦合效率已達到90 %以上?具有很髙的 實用價值?表1列出了部分在國內(nèi)出售的高功率光 纖耦合器情況. 2.2 光束整形法的思路如圖10所示?首先對Bar條 的光束在快軸和慢軸方向上分別準直準直后的光 束為一線狀光束.再通過光束整形器把這一線狀光 束切割成”條，并重新排列成一個預定的分布?晉 如矩形、方形、圓形、橢圓形等.經(jīng)過重排后的光束在 聚焦性能上將得到極大地改善? 因子將縮小” 倍?因此對光纖芯徑的要求也將減小“倍,可以用 一個透鏡聚焦耦合到一根纖細的光纖中去?經(jīng)驗表 明.如果在慢軸準直中使用透鏡陣列以減少畸變, M2因子還可以有效地減小.

23、 和光纖束耦合法相比較?光束整形法的優(yōu)點是 可以實現(xiàn)更細光纖芯徑的耦合?因而實現(xiàn)更高的亮 度?假設Bar條在快軸和慢軸方向上M2因子分別 為MiL和Ml、、’.則理論上.線性光束可以切割的條 數(shù)”最大可達到. ”2= f-r，通?！眓uQ19. 10 Bar 圖11所示為經(jīng)過光束整形后的光束圖樣?光束 整形法通常可分為兩步重排整形法和一步重排整形 法. 11 2.2. 1 要把線形光束分割、排列成矩形分布，首先是把 線形光束分裂成“份?在一個方向上實現(xiàn)不等量的 移動，稱為第一次車排:再在另一個方向上實現(xiàn)不等 量的移動?實現(xiàn)第二次重排.如圖12中2個箭頭所 示的過程.

24、 典型的兩步重排整形法是梯形鏡法(step-mir ror).如圖13所示?線形光束先由數(shù)個微小鏡片分  Emia^ion from the diodr laaer 1.5 mm ? mrad . 38 Fnm^ iprad 500 mm ? mrad _ ▲ ■ Eiation after 臨戕鄧num) iation r4Nm 13 x 1.5 ipm ? mrad =20 mm ? mrad 1 mm axis inciciont radation (fast axiR collimated) 13 割并反射,實現(xiàn)第一次光束重排?重排

25、后的光束再經(jīng) 過第二次反射?實現(xiàn)第二次重排?第一次重排的結果 是分割后的數(shù)節(jié)光束在一個方向上實現(xiàn)不同量的平 移:第二次重排的結果是實現(xiàn)另一個方向上不同量 的平移?最終得到如圖12中的整形后的輸出圖案. JOLD等大多數(shù)公司提供的產(chǎn)品里使用的都是梯形 鏡.另外，屬于2次重排整形法的還有棱鏡組法 (Prisnrgroup)般的耦合效率在70 %左右. 2.2.2 在上述的兩步重排法里，一方面結構復雜，不利 干小型化和模塊化:另一方面?由于每一次反射都損 失一些光能量?致使整形后的效率受到影響.因此? 近期發(fā)展起來的一種一步重排整形法相比之下顯得 很有特色，下文將介紹2種常見的一步重排整形法.

26、 (1)45。傾斜柱透鏡陣列旋轉整形法 由于傾斜的柱透鏡成像可以實現(xiàn)旋轉功能?如 圖14a中所示.可以證明?如果柱透鏡的旋轉角為 5則像的旋轉的角度為2 G使用45。放置的柱透鏡. 一個水平的線狀物所成的像為一個垂直的線狀 A B . 在此思路的啟示下.Limo公司設計制造了如圖 14b所示的45。傾斜的柱透鏡陣列?水平分布的Bar 條在快軸準直后，每個發(fā)光元對應45傾斜的柱透 1994-2010 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved, 第3期 壬俠辱:半導體激光一極管的光

27、纖幡合技術 31 ir Emitters of LD Bar Cyiindrieal lenn array tilted at 45 K-HrrH!H <-(i ra

28、形重排.但排列 出的光不再是準直光?而是在垂直方向上發(fā)散的一 個矩形分布在Limo的實際產(chǎn)品中?首先使用一個 柱透鏡在垂直方向上進行準直?之后再使用2個柱 透鏡分別在水平和垂直方向上聚焦?最終實現(xiàn)了與 光纖的耦合. 與此類似的一步重排整形法還有Apollo公司 使用的體光柵整形法?在該方法中Apollo公司使用 了具有專利權的體光柵取代了 Limo公司的傾斜柱 透鏡陣列?實現(xiàn)了單個二極管條形巴的光束整形. （2）折射整形法 利用折射整形法?不僅可以排列出光纖耦合所 需要的矩形分布?還可以排列出圓形、橢圓形等其他 分布?同時具有體積小、結構緊湊、損耗小的優(yōu)點. 另外.一次重排實現(xiàn)光束整形

29、的還有雙反射器 另一種整形原理.即折射整形法?根據(jù)折射原理? 光束以一定的角度入射到透明介質(zhì)（如玻璃等）中時, 方向將發(fā)生改變?如果此介質(zhì)是平行介質(zhì)，光束穿過 后傳播方向不變?但在入射面內(nèi)位置將發(fā)生移動?如 圖15a所示.不同的移動量可以通過不同的入射角和 介質(zhì)長度來控制?采用多層透明介質(zhì)即可實現(xiàn)光束的 重排.圖15b所示為一個整形模塊的剖面圖. ft （Two-reflector）等.因為原理類似.這里就不再展 開描述. 3二維堆棧（Stack）與光纖的耦合技術 一般來說.Bar條的連續(xù)功率局限在百瓦數(shù)量 級?為了得到更大功率的激光輸出?就必須采用二維 堆棧的組裝技術? LD二維堆棧

30、的結構如圖16所示. 多個條形巴平行放置?相鄰Ba「之間的間隔一般在 1.5?2.0 mm之間?主要是由于散熱的局限?無法 更近.目前市場上的產(chǎn)甜中條形巴的數(shù)目從2個到 25個不等?連續(xù)輸出功率可達1 000 W. 16 二維堆棧在快軸方向上由多條條形巴組成（如典 型的25條）.因此?其在快軸上的光參積（發(fā)光尺寸和 發(fā)散角之乘積.Bcanr ParameterPmduct .BPP）至少要 増大25倍在圖17a所示的耦合法中.首先將每條巴 分別用柱面透鏡進行了快軸準直?然后使用一個大面 枳柱面微透鏡列陣進行慢軸準直?為了消除巴之間的 不發(fā)光面積的影響，還使用了一個光束整形鏡（Bea

31、m shaper 1）剔除每條準直光之間的間隙一 束壓縮. 處理之后的光束形狀如圖17b所示?其快慢軸方向上 的 BPP 分別為 100 mm mrad 和 1 200 mm mrad. 25 mm x 4mrnd= 10() mm rnrnd I mm x 4mrad !?! LD 5tark mi ??? III! ? ? ? III III: III HL | —— I mm ? mrad 100 mm ? mra(l== Haxi f * ▲ imalor 「 Slow-axis collim ator * -J 200 mm ? mrml （h）初

32、步整形之后的光束 形狀和快、慢軸力向1： 的光參積BPP Brain sliHiirr I 17 ⑴結構示意圖 為了耦合這樣的光到光纖中去?首先必須調(diào)整 2個方向上的光參積為近似對稱.調(diào)節(jié)技術依然為 上面描述過的整形技術,如上文提到的兩步整形法. 這里使用棱鏡組法作為例子.從圖17b中得知?經(jīng) 過光束壓縮后的光束的快慢軸方向上的理想的BPP 分別是100 nini mrad和1 200 mm mb rad.但由于壓 縮效果的限制?快軸方向上的BPP實際大致為130 mm -mrad.若想使得快慢軸方向上對稱.可以把光 束在慢軸方向上切成3份然后在快軸方向重排. 如圖18所示的採用3

33、塊直角棱鏡疊加在一起 組成的重排模塊實現(xiàn)一個方向上的重排.2個這樣 的模塊即可實現(xiàn)所需的光束整形?此時的快、慢軸上 的BPP分別被調(diào)整為390 mm "mrad和400 nun ? mrad ?近似于對稱?這樣的光經(jīng)過合適焦距的透鏡 聚焦后?就可以耦合到光纖中了. 18 4多個二極管Bai?條或Stack堆與光 纖的耦合技術 接下來介紹一種在多個二極管Bar條或Stack 堆與光纖的耦合中應用的比較多的偏振合束法?該 方法是在第4節(jié)的基礎上進行的?主要由2個光束 整形的二維堆棧組成?其中一個堆棧的輸出經(jīng)過一 個半波片后偏振方向發(fā)生90旋轉.再使用偏振合 束器對2路堆棧輸出的光束進行合束

34、?最后經(jīng)過光 學聚焦系統(tǒng)實現(xiàn)光纖耦合. 其實不論是條形巴還是堆棧都可以使用偏振合 束法結合前面提到的各種整形耦合法實現(xiàn)多個激光 器巴/堆棧的單光纖耦合.如Apollo公司就是利用 3.2節(jié)提到的光束整形法將每個Bai?條的出射光先 進行初步的重排監(jiān)形后?再結合2. 3節(jié)提到的微透 鏡耦合法實現(xiàn)了 10個二極管Bar條的整形耦合?最 后再利用偏振合束法實現(xiàn)了 2組共20個Bar條出 射激光的耦合?最后經(jīng)過光學聚焦系統(tǒng)實現(xiàn)了與 400M m光纖的耦合.輸出功率高達400 W.另外、這 種偏振合束法還可用在多個帶尾纖的光纖激光器的 輸出功率合成中?考慮到技術的共通性?這里就不再 展開介紹. 5結

35、束語 隨著半導體激光二級管(LD)及其應用技術的 發(fā)展，大功率半導體激光二級管的光纖耦合技術也 在不斷的發(fā)展?人們還在向著更新的整形技術?更細 的光纖耦合?更高亮度的光纖輸出等研究方向進行 著不斷的開拓和探究?也取得了顯蓍的進步?在美 國、德國已經(jīng)出現(xiàn)了 40 WJOOp m光纖輸出的半導 體激光器組件?國內(nèi)受限于制作工藝的不足?目前還 局限在實驗室小批量研究階段?暫時還沒發(fā)現(xiàn)自主 研制的可供實用化批量生產(chǎn)的相關產(chǎn)品?因此?激光 工作者們?nèi)孕杓訌妼Π雽w激光器光纖耦合技術的 研究. 11］李鵬?張全?沈詩哲?等柱狀楔形微透備光纖與半導體 澈光器耦合效率研究［J I-光學儀器，2006 .2

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