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1、 昆明理工大學畢業(yè)設計（論文） 開 題 報 告 題 目： 靜電梳狀驅(qū)動器的設計與建模 學 院： 理學院 專 業(yè)： 電子信息科學與技術(shù) 學生姓名： 指導教師： 日 期：

2、 2007年3月 畢業(yè)設計（論文）的主要內(nèi)容：MEMS簡介，MEMS工藝簡介，表面加工的介紹，MUMPs工藝介紹，EDA工具的使用， ANSYS軟件的建模與仿真 靜電梳狀結(jié)構(gòu)作為驅(qū)動部件或檢測部件，已在微機電系統(tǒng)特別是在表面微機械器件中得到廣泛的應用，如諧振器、微夾持器、微振動電動機等等。在微機械領域已經(jīng)成為靜電驅(qū)動的首選結(jié)構(gòu)。這種微驅(qū)動器是目前MOEMS中使用最廣泛的一種驅(qū)動器 ,可用于驅(qū)動可移動微鏡 、微掃描器等。本文對10對梳尺的驅(qū)動器，給以設計參數(shù)，進行建模與仿真。 設計（論文）的技術(shù)路線及預期目標： 通過查閱各類參考資料

3、，使自己對驅(qū)動器有一定的了解，并著重對靜電梳狀驅(qū)動器有一定的研究。然后設計出自己的靜電梳狀驅(qū)動器，形狀，尺寸，材料，以及工藝。用ANSYS軟件先對其進行結(jié)構(gòu)建模，然后再對其進行仿真。預期目標使靜電梳狀驅(qū)動器能夠與真實的器件一樣，實現(xiàn)自身基本功能。 課題進度計劃 開學時與指導老師交流討論擬定畢業(yè)設計題目并進行初步的資料收集把開題報告做好以及翻譯好3000字的外文資料. 接下來就要對我所用的軟件進行了解和掌握，為接下來的具體操作作好理論的保障。同時進一步查閱建模和仿真方面以及其他相關(guān)的資料，并對所查資料進行分析，并組織相關(guān)資料，使其使自己知道每一個知識點的大體位置，為后面的工作做好充實的準備

4、。 大概在3月份末 4月份初的時候，就必須開始進行設計，建模與仿真了。在制作過程中，要一邊自己動手實際操作，同時還要把結(jié)合現(xiàn)有的資源進行整合，遇到不懂得問題要及時和老師及同學進行請教和探討，所作課題必須滿足其應該具有的基本功能，要使其能夠順利，流暢地運行。最好能在老師和同學的幫助下，把自己制作的課題做出自己的風格于特色，能夠達到一定的水平。要清楚自己的整個制作過程，要能清楚、明了的知道每一個知識點的來源和制作步奏，為接下來寫論文和答辯作好準備。同時每隔一定時間主動向老師匯報畢業(yè)設計進展狀況以得到老師及時的指導。 論文撰寫完成后應該是在6月份了，離交論文的時間已經(jīng)沒有幾天了，根據(jù)指導老師和評

5、閱人的指導意見對論文進行修改完善，在保證論文沒有比較大的失誤下，還要對論文進行比較認真的核查和消化，為后面的畢業(yè)答辯做好充分的準備。 完成課題所需條件及落實措施： 需要安裝有相應環(huán)境的可以上網(wǎng)的計算機一臺。其次就是所需要的軟件，ANSYS 10.0。這個軟件，我已經(jīng)在網(wǎng)上下載，而相關(guān)的一些資料在陳老師處給我們一定的提供，這個軟件我以前沒有接觸過，很難上手，這些問題我會在課題完成過程中，通過自己看書學習和向老師請教克服完成。 學校為我們提供了制作課題的計算機，相關(guān)的環(huán)境已經(jīng)安裝和調(diào)試完畢，我們自己也有計算機，所以這些硬件的問題都可以得到良好的解決。學院對于我們資料的查找和論文的寫作還提供了

6、一定的經(jīng)費，使我們能更好的完成自己的畢業(yè)設計，使我們能順利畢業(yè)。 參考文獻、資料： [1] LauKY．MEM's the Word for Optical Beam Manipulation [J1．IEEE Circuits&Devices，1997, (7)：11~18 [2] W Huang，G Lu．Analysis of Lateral Instability of in-plane Comb Drive MEMS Actuators Based on a Two—dimensional Mode1．Sensors and Actuators，2004, (113)：78

7、~85 [3] C Chen，C Lee．Design and ModeKng for Comb Drive Actuator with Enlarged Static Displacement．Sensors and Ac—tuators，2004, (115)：530~539 [4] R Le~enberg，A W Groeneveld，M Elwenspoek．Comb —drive Actuators for Large Displacements．J．Micromech．Microeng，1996，(6)：320~329 [5] T Hirano，T Furuhata，K

8、J Gabrial，H Fujita．Design，F(xiàn)abrication and'Operation of Submicron Gap Comb-drive Microactuators．IEEE J．Microelectromech.1992.1：52~60 [6] G Zhou，P Dowd．Tilted Folded-beam Suspension for Extending The Stable Travel Range of Comb-drive Actuators. J . Micromech . Microeng . 2003 (13) 178~183 指導教師

9、意見： 指導教師（簽字）： 年 月 日 學院畢業(yè)設計（論文）工作領導小組意見： 組長（簽字）： 年 月 日