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1 英文資料譯文 : 具有信號調(diào)理功能的± 1g 到± 5g 單片集成加速度計特點： 五千分之一 噪聲水平比 12倍， 用戶可選擇的滿刻度范圍是± 15g， 單片集成加速度測量系統(tǒng)， 數(shù)字指令自檢功能， +5 應用： 用于振動測量的低成本傳感器， 比電解質(zhì)和水銀傳感器更快地響應傾角變化， 高靈敏的報警系統(tǒng)， 提供速度和位置的慣性檢測。 總體描述： 能夠測量的加速度范圍是±51型的噪聲水平是 500μ g/ 2倍），能夠檢測到低于五千分之一 動）又能夠測量直流加速度（如慣性力和重力）的電容性加速度計。三個外部電容器和一個 +55個電阻用于設定輸出緩沖放大器的輸出范圍從 200Mv/V/g。內(nèi)部電容可以被加在電阻網(wǎng)絡中以提供 1級或 2級的濾波。不需要額外的敏感元 12 件直接連接模數(shù)轉(zhuǎn)換器件。這個裝置以可與 個功能可以通過任何時候旋轉(zhuǎn)傳感器的橫梁來檢測傳感器和它的電特性 是否正常作用。 0管腳的金屬容器內(nèi)，指定的商用溫度范圍是 0℃到 +70℃，工業(yè)應用的溫度范圍是 +85℃。 功能簡圖 規(guī)格明細表 （ A=+25℃ /J,5V,a=0g） 參數(shù) 狀態(tài) 最小值 典型值 最大值 單位 傳感器輸入 測量范圍 非線性 誤差較正 橫向靈敏度 +5 1 ± 2 g 滿量程的 百分比 度數(shù) 百分比 靈敏度 +25℃ +25℃， 1=5 175 200 225 mV/g V/g 13 溫度漂移 ± 數(shù)的百分比 0初始補償 溫度 供電電壓 s= 25/40 10 32 V mV 噪聲情況 電壓噪聲密度 100赫茲帶寬噪聲 10赫茲帶寬噪聲 W=400 1000 5 g/ mg mg 率響應 3 分貝帶寬 3 分貝帶寬 傳感器諧振頻率 1000 1600 4 12 Hz 檢輸入 邏輯“ 1” 邏輯“ 0” 輸入電阻 0”到“ 1” 0 V V V +輸出電壓 輸出溫度漂移 電源反饋 輸出回路 5V 1 10 500 V mV μ A 前置放大器輸出 電壓范圍 當前輸出 電容負載 來源和補償 0 80 100 V μ A 14 緩沖放大器 輸入補償電壓 輸出偏差 開環(huán)增益 聯(lián)合增益帶寬 輸出電壓范圍 電容負載 電源反饋 標準屬性 C 100μ A 10 ± 25 5 20 80 200 000 1 10 mV nA dB 電源 工作電壓范圍 靜態(tài)供應電壓 度范圍 工作范圍 指定范圍 自動范圍 0 +70 +85 +125 ℃ ℃ ℃ 系統(tǒng)操作說明 —— 耦合連接（滿量程范圍± 12 （如無特殊說明 0g 偏差水平 = +， 參數(shù) 狀態(tài) 最小值 典型值 最大值 單位 緩沖放大倍數(shù) 滿量程范圍 靈敏度 溫度漂移 G = 1 +25℃ +75 1000 1125 ± 0.5 g mV/g 讀數(shù)的百分比 0溫度漂移 +25℃ +25℃～ ， 1 1000 明：電阻公差將影響系統(tǒng)的準確度。推薦使用± 1%（或更高）的金屬膜電阻 。 直流耦合連接（滿量程范圍± 2g） （如無特殊說明 0g 偏差水平 = +， 13 參數(shù) 狀態(tài) 最小值 典型值 最大值 單位 緩沖放大倍數(shù) 滿量程范圍 靈敏度 溫度漂移 G = 1 +25℃ +2 250 400 450 ± g mV/g 讀數(shù)的百分比 0溫度漂移 +25℃ +25℃～ 50/80 V 率響應 1000 明：電阻公差將影響系統(tǒng)的準確度。推薦使用± 1%（或更高）的金屬膜電阻。 絕對的最大等級 * 加速度（任何軸 力作用） ?? 1000g 加速度（任何軸 力作用） ?? 500g + +出短路持續(xù)時間 ?? 不確定 工作溫度 ?? +125℃ 儲藏溫度 ?? +150℃ 些只是參數(shù)等級，芯片長期工作在這種情況下是不允許的，可能會影響芯片的可靠性。 封 裝 14 封裝 θ 片質(zhì)量 100 130℃ /W 30℃ /W 5克 序列指南 模型 溫度范圍 ℃～ 70℃ 85℃ 警告： 敏感的裝置 000V，累積在人體和檢測儀器上，可以自動放電。 雖然 專有的 護電路為特色 ，但是在遭受高能放電的設備上可能發(fā)生永久的損壞。因此推薦使用適當?shù)?在堅硬的表面會導致其所受振動加速度大于 1000g，從而超出芯片的絕對最 大等級，所以取用時要小心以防損壞。 連接電路圖 15 管腳說明： +5V 電源輸入管腳 接一個外部的旁路電容用來阻止振動轉(zhuǎn)換噪聲干擾 統(tǒng) ，一般為 接解調(diào)電容，一般為 地端 部 字自檢輸入端，既與 平相容。 置放大器輸出提供 200mV/沖放大器輸出端 環(huán)緩沖放大器的反相輸入端 作原理： 由微硅表面加工傳感器 16 和具有力平衡控制環(huán)的信號處理電路。 能測量位置，又能測量± 5圍內(nèi)的加速度。 圖 16 平衡狀態(tài)下 感器工作原理簡圖 圖 16是平衡狀態(tài)下 感器的實際結構包含 46 個單元和一個梁。察東電用傳感器由獨立的固定電極和連接在梁上的中心電機組成，梁通過運動來反映加速度的變化。兩個電容連續(xù)連接，形成一個用可動中心 電極隔開的差動電容。傳感器的兩個固定電極分別用 1它們的幅值相等但相位相差 180o。當傳感器平衡時，兩電容值相等，因此輸出電壓為零。 圖 17一定加速度作用下 圖 17 中顯示了傳感器受了一定的加速度。當這種情況發(fā)生時，中心電極或梁移近一個固定電極而遠離另一個固定電極。這將造成兩個電容的容值不同，其結果是中心電極有輸出信號。輸出信號的幅值直接取決于傳感器所受的加速度的大小。 17 圖 18 圖 18描述了 整體結構。傳感器中心電極的輸出電壓通過緩沖被鎖存在同步調(diào)制器中，同時通過相同的振動信號驅(qū) 動傳感器的固定電極。如果鎖存的電壓與參考電壓相位相同，則輸出為正；反之，為負。其他所有的信號都被拒絕。一個外部電容 同步解調(diào)器的輸出用于驅(qū)動前置放大器 —— 一個提供 考電壓的儀表放大緩沖器。前置放大器的輸出電壓 壓 g 位置并且直接測量加速度。 前置放大器的輸出是 200mV/g，對于± 5V 的輸入有± 1V 范圍的輸出。開環(huán)緩沖放大器在很大范圍內(nèi)提供調(diào)整刻度參數(shù)和 0g 補償?shù)哪芰?。?個內(nèi)部參考電壓提供必要的參考電壓以啟動芯片和 +電壓以供外部需要。自檢功能是指給 自檢管腳提供一高電平（大于 它使芯片共給橫梁一個偏置電壓，此電壓將橫梁移動到相當于 片的負向滿量程輸出）。注意± 15%的公差是與靈敏度誤差不成比例的。 圖 19顯示了 輸出刻度因素為 400mV/g， 重力水平附近± 5過電路原理圖 19可見所有 的轉(zhuǎn)換功能關系是： T )]2313 ???? 18 圖 19 00mV/g， + 11 英文資料： ±1 g 5 g —— 23 1 g 5 g 00 mV/g V/g on a C 5 V 000 g 12 is a on a C. 5 g 1 g or 00 (12 × to be is a to ac of or dc as or a +5 is to up 5 g. to to 00 mV/g V/g. be to to of No to to to a at to is in a 0°C 70°C 40°C 85°C of 13 +258C +5 V, @ 0 g, 5 g 5 +5 1 ±2 g % S 25°C +25°C, 1 = 5 175 200 225 0.5 mV/g V/g % g S = 25/40 10 32 V mV 00 0 W = 4 Hz 00 1000 5 1.6 mg mg 1 = ) 1000 1600 14 3 12 1‖ 0‖ o 5 in 0‖ 1‖ – – –50 V V V + 5 1 10 500 V mV 0 80 100 V mA ±100 C, + ±10 ±25 5 20 80 200 000 1 10 mV nA dB pF 15 0 +70 –40 +85 –40 +125 °C °C °C C ±1.5 g (@ ), 0 g +, 3) G = 1* @ +25°C – +75 1000 1125 g mV/g 16 ± g @ +25°C +25°C , 49.9 1000 1% (or is ±2 g (@ ), 0 g +, 3) G = 1* @ +25°C –2 +2 350 400 450 ±0.5 g mV/g % g @ +25°C 17 +25°C +50/80 1000 1% (or is .5 . . . . . . 1000 g .5 . . . . . . . . . . 500 g + . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . – . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . –55°C 125°C . . . . . . . . . . . . . . . . . . –65°C 150°C *to is a of at or in of is to 18 10 5 0°C 70°C –40°C 85°C as 000 V on SD on to SD to or of of 000 g of be in to 0 19 5 V an to on on he he It is TL an 00 mV g of of 20 of F is a on a C. It a a is of to a 5 g. 6 is a of s at of 6 a of to in to an a a s by a 1 80° of at of at at is 21 7 to an to of a in in an at of of by 8 a of of is to a is in of If is in in a If 22 is in 80° of s be be An of of an is 1.8 of is to of a 3 MW PR to g is a of of 0 ?s ± 200 mV/g, an 1 V a ±5 g An to g a An 3.4 A is by a > + to s to a to it an 5 g (of 15% of is to 23 9 to in 5 g an 00 mV/g, a 0 g a ± g, a 3 dB of .6 9, ? ? ? ? ????????????????? ??