《激光在精密測(cè)量中的應(yīng)用-激光干涉測(cè)長(zhǎng).ppt》由會(huì)員分享，可在線閱讀，更多相關(guān)《激光在精密測(cè)量中的應(yīng)用-激光干涉測(cè)長(zhǎng).ppt（4頁(yè)珍藏版）》請(qǐng)?jiān)谘b配圖網(wǎng)上搜索。

1、上一頁(yè) 回首頁(yè) 下一頁(yè) 回末頁(yè) 回目錄 第 六 章 激 光 在 精 密 測(cè) 量 中 的 應(yīng) 用 6. 1 激 光 干 涉 測(cè) 長(zhǎng) 6.1.1 干涉測(cè)長(zhǎng)的基本原理 1. 激光干涉測(cè)長(zhǎng)的基本光路是一個(gè)邁克爾遜干涉儀 ,如圖 6-1示 ,用干涉條紋來(lái)反 映被測(cè)量的信息。兩束光的光程差可以表示為 j M J j N i ii lnln 11 圖 6-1 激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀的原理圖 2NL 2.被測(cè)長(zhǎng)度與干涉條紋變化的次數(shù)和干涉儀所用光源波長(zhǎng)之間的關(guān)系是 3.從測(cè)量方程出發(fā)可以對(duì)激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)進(jìn)行基本誤差分析 NLNNLL 即 上一頁(yè) 回首頁(yè) 下一頁(yè) 回末頁(yè) 回目錄 第 六

2、章 激 光 在 精 密 測(cè) 量 中 的 應(yīng) 用 6. 1 激 光 干 涉 測(cè) 長(zhǎng) 6.1.2 激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)的組成 1. 除了邁克爾遜干涉儀以外，激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)還包括激光光源，可移動(dòng)平臺(tái)， 光電顯微鏡，光電計(jì)數(shù)器和顯示記錄裝置。 2.邁克爾遜干涉儀是激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)的核心部分，其分光器件、反射器件和總 體布局有若干可能的選擇。 3. 移相器也是干涉儀測(cè)量系統(tǒng)的重要組成部分。常用的移相方法有機(jī)械移相（圖 6-4），翼形板移相，金屬膜移相和偏振法移相。 圖 6-4 機(jī)械法移相原理圖 上一頁(yè) 回首頁(yè) 下一頁(yè) 回末頁(yè) 回目錄 第 六 章 激 光 在 精 密 測(cè) 量 中 的 應(yīng) 用

3、 6. 1 激 光 干 涉 測(cè) 長(zhǎng) 6.1.2 激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)的組成 7.干涉條紋計(jì)數(shù)時(shí)，通過(guò)移相獲得兩路相差 /2的干涉條紋的光強(qiáng)信號(hào)，該信號(hào) 經(jīng)放大，整形，倒向及微分等處理 ,可以獲得四個(gè)相位依次相差 /2的脈沖信號(hào) （圖 6-5）。 圖 6-5 判向計(jì)數(shù)原理框圖 上一頁(yè) 回首頁(yè) 下一頁(yè) 回末頁(yè) 回目錄 第 六 章 激 光 在 精 密 測(cè) 量 中 的 應(yīng) 用 6. 1 激 光 干 涉 測(cè) 長(zhǎng) 6.1.3 激光干涉測(cè)長(zhǎng)的其它方法 1. 第三反射鏡系統(tǒng)的激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀 圖 6-6 第三反射鏡系統(tǒng)儀的激光干涉 2.利用兩個(gè)激光器輸出的兩束激光的干涉來(lái)測(cè)量非常微小的移動(dòng)的測(cè)量裝置。 圖 6-7 利用兩束激光的干涉測(cè)量微小移動(dòng)