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1、精密儀器課程設計 激光干涉納米級位移測量系統(tǒng)設計 姓名： 薛重飛 學號： B10340130 專業(yè)：測控技術與儀器 2013年12月 目 錄 1. 國內外發(fā)展現(xiàn)狀概述 4 2. 總體方案設計 6 3. 測量方法設計 6 3.1測量方案框圖 6 3.2 測量原理 7 3.2.1激光干涉原理 7 3.2.2光電傳感器的信號 8 3.2.3移相系統(tǒng) 10 3.2.4 辨向及可逆計數(shù) 11 3.2.5量化細分 13 3.2.6模數(shù)及數(shù)模轉換 17 3.2.7比較器的參考電壓 18 3.3硬件電路的實現(xiàn) 19 3.3.1

2、信號整形及低通濾波 19 3.3.2單片機系統(tǒng) 19 3.3.3數(shù)模模數(shù)轉換芯片與單片機連接 20 3.3.4整體電路設計 20 3.4軟件程序的設計 21 4總結及展望 23 5參考文獻 23  激光干涉納米級微位移系統(tǒng)設計 1. 國內外發(fā)展現(xiàn)狀概述 隨著現(xiàn)代化國防建設、工業(yè)生產(chǎn)和科學技術的飛躍發(fā)展，無論是元件生產(chǎn)的設備正向超大型化、微型化、精密化和自動化方向發(fā)展。因此，精密測量的工作顯得越來越重要。 多年來單頻激光干涉儀的研究主要集中在光學系統(tǒng)結構改良和非線性修正 方面。前者的目標是通過改進干涉儀的結構，以提高系統(tǒng)的分辨率、重復精

3、度以 及對空氣擾動、折射率波動、工作臺振動等環(huán)境噪聲的抗干擾能力。后者通過研 究各具體干涉儀的非線性環(huán)節(jié)，提出補償或校正策略(一般是基于軟件實現(xiàn))， 來改善系統(tǒng)在整個測量范圍內的線性度、重復精度等。由于缺乏概念性突破，改 進干涉儀結構方面的研究未能取得顯著成績，因而非線性誤差校正(或稱誤差補 償)成為單頻激光干涉儀研究中相對較為活躍的領域[1]。 RENISHAW新型單頻激光干涉儀采用偏振光移相方法，獲得三路位相依次 相差的光干涉信號，經(jīng)光電接收并放大后，使和，和信號分別 輸入兩個比較器電路，生成兩路錯相的交變方波信號，推動可逆計數(shù)器計數(shù)。 這種結構可以實現(xiàn)兩個目的

4、：一是去掉直流分量和實現(xiàn)共模抑制；二是因三個信 號是完全共路的，有效地去掉了外界震動等噪聲，保證了干涉儀低頻的穩(wěn)定性， 從而實現(xiàn)了雙頻激光干涉儀的各種功能[1]。 我國于七十年代開始了激光測量系統(tǒng)的研制，1975年由中國計量科學研究 院與陜西機械學院研制出我國第一臺國產(chǎn)雙頻激光干涉儀樣機。量程為60m，測 量精度為。到目前為止，清華大學、哈爾濱工業(yè)大學、華中理工大學 等也相繼開展了對激光干涉儀及相關技術的研究。哈爾濱工業(yè)大學精密儀器系九 十年代研制的光電接觸式干涉儀，其分辨力為，儀器的總誤差為(工為被測長度)。成都科技大學研制的雙頻激光干涉儀[1]，分辨力為，測量不確定

5、度為。此外，清華大學在激光調諧絕對距離的測量方面、外差干涉的相位檢測電路方面，華中理工大學在聲光調制外差干涉的光路方面等做了相當好的研究工作。 為提高單頻激光干涉儀的抗干擾性能以及測量精度，清華大學的薛實福等人 研究了一種在邁克遜單頻激光干涉儀的基礎上采用自掃描光電二極管列陣(SSPDA)接收器件，將直流信號轉換成交流信號、微處理機處理，具有波長自動 補償功能的新型激光干涉儀。實驗證明它比一般單頻激光干涉儀具有較高的抗干 擾性及測量精度[1]。 傳統(tǒng)的邁克耳孫測量方法受限于光源單色性差和人眼計數(shù)的誤差,再加上分束鏡界面反射形成的干涉和環(huán)境噪聲的存在,給條紋的細分造成困

6、難.為了提高了測量精度,研究人員不斷地提出了多種新的條紋細分方法,趙育良等[2]利用CCD作為條紋拾取工具,系統(tǒng)理論誤差僅為CCD的1個像元,楊仕廣等[3]人以邁克耳孫干涉儀的光路為基礎,利用CCD實時采集干涉條紋的光強信息,通過精確測量條紋的偏移量,測出物體的微位移.與傳統(tǒng)微位移測量方法相比,He-Ne激光器、CCD等器件的使用和FFT、互相關運算等信號處理方法的運用,使得測量精度和靈敏度有較大提高,借助虛擬儀器手段還實現(xiàn)了微位移的全自動測量。 激光干涉儀通常采取 Machelson(邁克爾遜 )干涉儀形式，由于反射器的作用 ，直接接收的脈沖當量為 (約 0．3um)，對于精密測

7、量來說，顯然是不夠的。如何提高激光干涉儀系統(tǒng)的分辨率是激光干涉儀中的重要技術 ，有多種激光干涉儀的細分方法 ，概括起來為光學細分和電子細分兩大類在精細計量技術中，干涉條紋的記數(shù)與細分是基礎技術之一。目前干涉條紋的記數(shù)技術已 日 趨成熟．而細分技術還有待于進一步發(fā)展[4]。 現(xiàn)在已有的細分條紋技術有電子學倍頻法、光學倍頻法、CCD 細分法等。倍頻法多采用四倍頻、八倍頻，可以記錄到四分之一、八分之一的干涉條紋的移動。這在細分精度上顯然是不夠的[6]?，F(xiàn)在常用的高倍細分法有微機細分等，此外激光干涉儀的細分方法還有很多,例如在單頻激光干涉儀中,可以用電阻鏈細分方法;在基于聲光頻移的雙頻激光

8、干涉儀中,可以將測量信號與頻差信號,測量信號與移相90的頻差信號分別混頻,得到相位差為90的兩路信號,然后按單頻激光干涉儀的細分方法處理;在基于塞曼效應的雙頻激光干涉儀中,可以采用測量剩余相位的方法實現(xiàn)細分等,利用兩個相互垂直偏振光相干,其干涉信號為一個旋轉的線偏振光的特點實現(xiàn)細分[6],在國內亦有大量的研究,并取得很好的效果。 2. 總體方案設計 用邁克爾遜干涉系統(tǒng)得到干涉條紋，用相差的移相系統(tǒng)進行一移相,然后用線性光電探測器探測光強變化，然后將得到的兩路周期性信號濾除高頻噪聲，然后將兩路信號中的直流分量濾除，得到正弦信號，然后信號進行辨向和可逆計數(shù)，將計數(shù)器的所得值傳入單片機，同時

9、采用量化細分的辦法，將第一個值的相位和最后一個值的相位，采入單片機，然后通過查表，就能完成細分，與此同時，單片機通過采樣計算的方法，得出每一周期的直流分量值，和最后的顯示工作。 3. 測量方法設計 3.1測量方案框圖 放大電整形路 可逆計數(shù)器 光電傳感器 辨向電路 干涉條紋 移相電路 光電傳感器 放大電整形路 8 0 5 1 單 片 機 顯示電路 AD AD 3.2 測量原理 3.2.1激光干涉原理

10、 圖1 邁克爾遜干涉光路 圖2 同心圓環(huán)干涉條紋 激光器采用單模穩(wěn)頻He-Ne激光器，波長為623.8nm。激光干涉測長的基本光路是一個邁克爾遜干涉儀（如圖1示）,用干涉條紋來反映被測量的信息。干涉條紋是接收面上兩路光程差相同的點連成的軌跡。激光器發(fā)出的激光束到達半透半反射鏡P后被分成兩束，當兩束光的光程相差激光半波長的偶數(shù)倍時，它們相互加強形成亮條紋；當兩束光的光程相差半波長的奇數(shù)倍時，它們相互抵消形成暗條紋。兩束光的光程差可以表示為

11、 (1) 式中： 分別為干涉儀兩支光路的介質折射率； 分別為干涉儀兩支光路的幾何路程。 將被測物與其中一支光路聯(lián)系起來，使反光鏡M2沿光束2方向移動，每移動半波長的長度，光束2的光程就改變了一個波長，于是干涉條紋就產(chǎn)生一個周期的明、暗變化。通過對干涉條紋變化的測量就可以得到被測長度 空氣的折射率n=1。因為加了補償板所以 (2) 被測長度與干涉條紋變化的次數(shù)和干涉儀所用光源波長之間的關系是

12、 (3) 所當?shù)人僖苿訒r，光電傳感器輸出信號的周期 ， （4） 式中：為動鏡移動速度， （5） 3.2.2光電傳感器的信號 光電傳感器采用光敏二極管，因為光敏二極管線性度好，光電傳感器將光強的變化轉化為電壓信號， 理論上傳感器輸出的信號為

13、 （6） 式中：為直流分量 為輸出信號幅值 為周期 為角頻率 將上述信號通過比較器濾除直流分量得 （7） 同時將上述信號轉換為方波，如圖5 圖3 光電傳感器輸出信號 圖4濾除直流分量后的信號

14、 圖5 轉換后的方波 3.2.3移相系統(tǒng) 干涉儀在實際測量位移時，由于測量反射鏡在測量過程中可能需要正反兩個方向的移動，或由于外界振動，導軌誤差等干擾，使反射鏡在正向移動中，偶然有反向移動，所以干涉儀中需設計方向判別部分，將計數(shù)脈沖分為加和減兩種脈沖。當測量鏡正向移動時所產(chǎn)生的脈沖為正脈沖，而反向移動時所產(chǎn)生的脈沖為減脈沖。將這兩種脈沖送入可逆計數(shù)器進行可逆計算就可以獲得真正的位移值。如果測量系統(tǒng)沒有判向能力，光電接收器接收的信號是測量鏡正反兩方向移動的總和，就不代表真正的位移值。另外為了提高儀器分辨力，還要對干涉條紋進行細分。為達到這

15、些目的，干涉儀必須有兩個位相差為90度的電信號輸出，一個按光程的正弦變化，一個按余弦變化。所以，移相器也是干涉儀測量系統(tǒng)的重要組成部分。本系統(tǒng)采用機械法移相，如圖6 圖6 移相系統(tǒng)原理 放大后如圖7，在經(jīng)過整形后得圖8，整形采用比較器，參考電壓由單片機提供。 圖7 放大濾波后的信號

16、 圖 8 整形后的信號 3.2.4 辨向及可逆計數(shù) 本文采用四細分辨向電路，相位差的兩路方波信號?；趦陕贩讲ㄔ谝粋€周期內具有兩個上升沿和兩個下降沿，通過對邊沿的處理實現(xiàn)四細分。根據(jù)兩路方波相位的相對導前和滯后的關系作為判別依據(jù)。根據(jù)和的不同，來辨別方向。 圖9 四細分辨向原理 同時經(jīng)判向電路后，將一個周期的干涉信號變成四個脈沖輸出信號。實現(xiàn)干涉條紋的四倍頻計數(shù)，相應的測量方程變?yōu)?

17、 (8) 式中： N為可逆計數(shù)器的數(shù)值 L是可逆計數(shù)器所記錄的位移 四分辨向芯片采用HCTL-2000。此芯片有集成的12位可逆計數(shù)器和辨向功能。HCTL-2000原理如圖 圖10 HCTL2000原理圖 因為HCTL2000是12位的，所以最大位移323.7，可以滿足設計的要求。 3.2.5量化細分 信號可分為三

18、段，如圖11所示 圖11 三段信號 這三部分要分別計算，要達到要求的3nm精度，需要細分120倍。對于不滿一個整數(shù)周期的信號第一段和第三段，要用單片機細分來計算出長度。對于整數(shù)周期的信號第二段要通過計數(shù)器進行大的計數(shù)。 現(xiàn)已有的細分條紋技術有電子倍頻法、光學倍頻法、CCD

19、細分法等。倍頻法多采用四倍頻、八倍頻，可以記錄到四分之一、八分之一的干涉條紋的移動。這在細分精度上顯然是不夠的，因此本課程設計采用微機細分。量化細分原理框圖如圖12 圖12量化細分原理框 圖13 卦限圖 表1 八細分表 本文采用整周期量化細分，微機通過判斷兩信號的極性和絕對值的大小，實現(xiàn)8倍細分。圖13中把

20、一個信號分為8個區(qū)間，或者稱卦限，每卦。由表1可列出兩信號的極性和絕對值的大小。 在一個卦限內，按信號絕對值比值大小還可以實現(xiàn)更小的細分。兩信號|u1|、|u2|的比值可按 （9） 或 （10） 計算，在1、4、5、8用公式7，在2、3、6、7用公式8，上述卦限中的值或值都在0~1之間變化，因而可用間的來表示。這樣，在計算機中固化一個表，每卦限細分數(shù)為15，這樣就實現(xiàn)了120倍的細分，用15個存儲單元固化的1

21、5個正切值，微機在此表中查詢已算的值或值最近的存儲單元，如果該存儲單元的第k個單元，則相位角對應的細分數(shù)x由下列公式?jīng)Q定 第1卦限，x=k 第2卦限，x=30-k 第3卦限，x=30+k 第4卦限，x=60-k 第5卦限，x=60+k 第6卦限，x=90-k 第7卦限，x=90+k 第8卦限，x=120-k 由如下公式計算屬于非整數(shù)周期的位移第一段s1

22、 （11） 由 （12） 得到第三段的位移 由可逆計數(shù)器計算得到第二段的位移。因為可逆計數(shù)器是四細分后再計數(shù)的，所以具體的位移要根據(jù)第一段和第三段所處的卦象和進行計算。計數(shù)器的值 K1 S2 K2 一 二 三 四 五 六 七 八 一 N-4 N-4 N-5 N-5 N-6 N-6 N-7 N-7 二 N-4 N-4 N-5 N-5 N-6 N-6 N-7 N-7 三 N-3 N-3

23、N-4 N-4 N-5 N-5 N-6 N-6 四 N-3 N-3 N-4 N-4 N-5 N-5 N-6 N-6 五 N-2 N-2 N-3 N-3 N-4 N-4 N-5 N-5 六 N-2 N-2 N-3 N-3 N-4 N-4 N-5 N-5 七 N-1 N-1 N-2 N-2 N-3 N-3 N-4 N-4 八 N-1 N-1 N-2 N-2 N-3 N-3 N-4 N-4 表2 第二段位移補償表 由此得到總位移 因為是120倍的細分，那么分辨率就為2.63，這樣就滿足了

24、設計的要求。 3.2.6模數(shù)及數(shù)模轉換 為了減少采樣過程造成的相位誤差，AD轉換至少需用12位，轉換應速度較大，本課程設計采用AD574，轉換精度12位，轉換速度一次16us。 比較器的參考電壓由單片機實時提供，關于參考電壓由軟件計算得到，先通 過軟件計算找到信號中斜率最大的點，此點就是直流分量點，此點的電壓值代表直流分量的大小，將這個電壓作為比較器的參考電壓。參考電壓需由數(shù)字量轉換為模擬量得來，因此數(shù)模轉換芯片的分辨力要高，因此選用DAC1208，DAC1208精度12位，可以滿足要求。 3.2.7比較器的參考電壓

25、 圖14 采樣點 因為信號的直流分量點必然是斜率最大的點，因此在單片機中開辟一個六位的數(shù)組b[6]。然后將采樣6個數(shù)據(jù)，依次放到數(shù)組中，然后比較 |b[2]-b[1]|,|b[3]-b[2]|,|b[4]-b[3]|,|b[5]-b[4]|,|b[6]-b[5]| 的大小，如果 |b[2]-b[1]| < |b[3]-b[2]| < |b[4]-b[3]| < |b[5]-b[4]|< |b[6]-b[5]| 或者 |b[2]-b[1]| > |b[3]-b[2]| > |b[4]-b[3]| > |b[5]-b[4]| > |b[6]-b[5]|

26、 ，則采樣點中沒有斜率最大的點。那么清空數(shù)組，在進行采樣直到出現(xiàn)不滿足上述兩個不等式的數(shù)組，然后找出最大的b[i+1]-b[i]，然后求取兩個數(shù)的平均值，這個平均值就是直流分量點。然后將這個值通過DAC1208給出就是參考電壓。 3.3硬件電路的實現(xiàn) 3.3.1信號整形及低通濾波 圖15 光電傳感器輸出信號的整形及濾波 U1為放大，U2為低通濾波采用低通濾波是為了濾除高頻的噪音，不直接濾除直流分量是因為，如果直接濾除直流分量必然造成在初始采樣階段有較大的誤差，所以不采用直接濾出的辦法。通過由AD790AQ組成比較器，濾除直流分量。 3

27、.3.2單片機系統(tǒng) 圖16 8051與外部元件的連接 本課程設計采用單片機最小系統(tǒng)，將單片機與外的AD和DA以及顯示器連接，實現(xiàn)本文要達到的要求。 3.3.3數(shù)模模數(shù)轉換芯片與單片機連接 圖17 AD574 采樣用的AD用的是AD574，AD574是12位逐次逼近型AD轉換器，轉換時間25，轉換精度0.05%，由于芯片有三態(tài)輸出緩沖電路，因而可以直接和各種典型的8位和16位的微處理器相連，而無需附加邏輯接口電路，且能與CMOS和TTL兼容。

28、 圖18 DA1208 因為DAC1208內部沒有基準電壓，所以有AD581來提供10V的基準電壓，AD1208的工作方式采用雙緩沖方式，在送入數(shù)據(jù)時要先送12位的高8位，然后再送入低4位，而不能按相反的方向，因為在送高8位的同時，低4位寄存器是打開的，如果先送低4位后送高8位，結果就會不正確。在圖18中，DAC1208 的電流輸出端外接兩個運放LF356，其中運放1運作電流電壓轉換器，運放2用作裝換極性，R22定零點，R24定滿度。 3.3.4整體電路設計 圖19 整體電路 3.4軟件程序的設計

29、 開始 初始化計數(shù)器和單片機，設定采樣頻率和DAC1208的初始參考電壓 采集兩路正交信號，記錄初始值 計算并判斷是否有斜率最大值 N Y 記錄此值，轉換為參考電壓VEF Y N 運動是否停止 從可逆計數(shù)器取值，并計算查表非整數(shù)周期的位移

30、 顯示 4總結及展望 本文通過激光干涉來實現(xiàn)微位移的測量，通過微機細分和軟件查表的辦法，實現(xiàn)3的分辨率和300的量程。要實現(xiàn)3的分辨率就必須至少將細分120倍。因為在后來的計數(shù)過程中，采用的是四細分，所以要實現(xiàn)300的量程，就采用了12位的計數(shù)器，這樣就能達到大約實現(xiàn)300的量程。在細分的過程中，要采樣，為了避免造成過大的采樣誤差，本文采用了12位的AD 芯片，同時參考電壓也是12位的DA芯片提供的，這樣帶來的誤差就會小很多。 在本微位移測量系統(tǒng)中，用8051單片機來實現(xiàn)數(shù)據(jù)處理，細分以及查表的功能，以得到最終的位移。本系統(tǒng)采用跟蹤查找直流分量點，這

31、樣就能減小由于光源不穩(wěn)定帶來的誤差。 單頻激光干涉儀比雙頻激光干涉儀具有結構緊湊、裝置相對簡單、成本較低、 沒有限制反射鏡運動速度的因素(除了電子系統(tǒng)通過能力所決定的自然因素外)等優(yōu)點，而被廣泛地應用于精密測量，它以靈敏度和精度高的優(yōu)點，引起大家地重視。但其是基于對直流調幅信號處理的干涉儀，它對環(huán)境光的抗干擾能力較差，因而它對環(huán)境條件的要求較高，而且當信號減小50％時，裝置就會完全停止工作。單頻激光干涉儀存在的這些弊端，使它只能局限在條件優(yōu)良的環(huán)境中使用而無法進入車間 本系統(tǒng)還有許多需要改進的地方，首先，由于光電傳感器輸出來的信號有許多的噪音，雖然用了低通濾波，但是依然會造成誤差。同時激

32、光干涉系統(tǒng)也會帶來誤差，無論是光源的不穩(wěn)定，還是激光干涉通路中擾動都會帶來誤差。再者，由于AD轉換和DA轉換也會帶來誤差，要減小這種誤差只有選用更高位數(shù)的芯片，還有就是在尋找直流分量點過程中，由于每次只連續(xù)采樣6個數(shù)據(jù)，這樣就會在進行數(shù)據(jù)處理的過程，不能采樣，這樣可能會造成采樣的數(shù)據(jù)錯誤，要減少誤差就必須提高采樣速率。5參考文獻 [1]薛江榮.單頻激光干涉測長系統(tǒng)抗干擾性及細分技術的研究[D].南京理工大學.2004. [2]趙育良，許兆林,李開端.基于CCD的激光微位移測量系統(tǒng)的研究[J].激光技術.2003,27(1):73-75 [3]楊仕廣,刁維寧,李彬.采用光電計數(shù)的

33、激光微位移測量實驗系統(tǒng)[J].物理實驗.2009.9 [4]鄧上.激光干涉儀的細分技術[J]，工具技術，39(7):94-95. [5]肖國紅,黃麗清.用計算機細分干涉條紋技術的研究[J],激光雜志，1999,20(1):53-54. [6]羨一民,王科峰.激光干涉儀技術及發(fā)展[J].工具技術.2003,37:68-73. [7]高田孝次.激光干涉測長的基礎[J].國外計測.1993(2)：37—42． [8]張國雄.測控電路[M]. 4. 高機械工業(yè)出版社, 2011. [9]韓旭東,艾華．一種新型單頻激光干涉系統(tǒng)的研 究 [J]．光電工程 ，2002，29(5)：49-51

34、[10]段小艷,任冬梅等.激光干涉法微位移測量技術綜述[J].計測技術,2012,32(6). [11]趙曉艷，閆海濤，甄志強，孟偉東.用干涉條紋圖像對比法測量微位移[J].2012.29(1):30 [12]劉芳元.關于邁克爾遜干涉條紋的理論分析[J].中南工學院科技通訊.1995.11(1):33. [13]劉小為,黃強先.基于VC++6.0的單頻激光干涉位移測量系統(tǒng)[J].工具技術.2010.4(2):100. [14]段小艷,任冬梅,朱振宇,等.基于法布里-珀羅干涉儀的微位移測量方法研究[J].技術,2013,33(1). [15]陳本永,李達成,朱若谷.基于干涉條紋跟蹤實現(xiàn)

35、納米級位移測量的方法研究[J].2001,5.27(3):193. [16]趙育良,王淑娟.基于邁克爾遜干涉儀的激光CCD微位移測量系統(tǒng)研究[J].2010,10(7):1628. [17]馮慶玉,彭首軍,龔勝平.外差干涉高幀速采樣微位移的測量及誤差分析[J].西安工業(yè)大學學報2011,31(3)：225. [18]童詩白. 華成英.模擬電子技術[M]. 4. 高等教育出版社, 2006. [19]劉日龍,殷德奎.激光干涉儀光電檢測電路的設計[J].半導體光學.2012,2. [20]張毅剛,彭喜元,等.MCS-51單片機運用設計[M].3.哈爾濱工業(yè)大學出版社,2013. [21

36、]閻石.數(shù)字電路基礎[M].5.高等教育出版社.2011. [22]G.E.Sommargren. A new laser measurement system for precision metrology[J]. Precision Engineering.1987.9(4):179-184. [23]N Bobroff. Recent advances in displacement measuring interferometry[J]. Measurement Science and Technology. 1993,4(9):907-926. [24]Jeongmin Le

37、e,Hosang Yoon,Tai Hyun Yoon. High resolution parallel multi-pass laser interferometer with an interference fringe spacing of 15nm[J]. Optics Communications,2011. [25]C.W. Hee,B.K.A.Ngoi,L.E.N. Limetal. Effect of polarization on femtosecond pulsed laser ablation of surface relief gratings using a no

38、vel interferometer[J]. Optics & Laser Technology.2005. [26]Matsumoto H. Recent interferometric measurements using stabilized laser．Precision Engineering.1984，6(2)：87—93． [27]Peggs G N，Yacoot A. A review of recent work in sub-nanometer displacement measurement using optical and X-ray interferomet

39、ry[J].The Royal Society ( Philosophical Transactions),2002,360. [28]Charles R Steinmetz. Performance evaluation of laser displacement interfereometry Oil precision coordinate measuring ma—chine[J]. Industry Metrology. 1991(1)：165—191. [29]Ki-Nam Joo, Joanthan D Ellis, Jow Spronck, et al. Design o

40、f a folded multi-pass Fabry-Perot cavity for displacement metrology[J]. Measurement Science and Technology. 2009,20:1-5. [30]Giulio D Emilia. Evaluation of measurement characterist icsof a laser Doppler vibrometer with fiber optic components[J]. Proc SPIE, 1994, 2358: 240-246. [31]Z.F.Zhou. Micr

41、o interferometer system for measuring the profiler of fine structure[J] . Proceeding of IMEKO XI international conference. 1998,49- 57. [32]Tomasz Podzorny, Grzegorz Budzyn, Janusz Rzepka. Linearization methods of laser interferometers for pico/nano positioning stages[J]. Optik, 2013. [33]Krish

42、naswamy S. Algorithm for computer tracing of interference fringe[J]. 1991(13) [34]Hubin N，Louam M L，SarazinM，et al. New challenges for adaptive optics：the OWL 100m telescope[J].Proceedings of SPIE. 2000.4007. [35]John R Lawall. Fabry-Perot metrology for displacements up to 50mm[J]. Optical society of America.2005.12(22):2786-2789. [36]Haitjema H,Schellekens P H J, et al. Calibration of displacement sensors up to 300 with nanometre accuracy and direct traceability to a primary standard of length[J],Metrologia 2000,37:25-33.